一种微发光元件阵列、微发光元件的转移方法和显示装置与流程

本发明实施例涉及显示，尤其涉及一种微发光元件阵列、微发光元件的转移方法和显示装置。

背景技术：

1、迷你型发光二极管(mini light-emitting diode，mini led)和微型发光二极管(micro light-emitting diode，micro led)显示技术是指在衬底上以高密度集成的微小发光二极管阵列为像素实现发光显示的技术。随着显示技术的发展，mini led显示装置或micro led显示装置在市场中的应用逐渐增多。

2、mini led显示装置或micro led显示装置在制造工艺中包括芯片的巨量转移工艺。目前，在芯片的巨量转移工艺后，会有较大面积系链结构残留在芯片上，对后续工艺产生不良影响。

技术实现思路

1、有鉴于此，本发明提供了一种微发光元件阵列、微发光元件的转移方法和显示装置，以减小微发光元件巨量转移后残留其上的系链结构的尺寸，减少残留结构对后续工艺制程的影响，提升显示装置的可靠性。

2、第一方面，本发明实施例提供了一种微发光元件阵列，包括：

3、基板、锚定结构、多个待转移微发光元件以及系链结构；锚定结构设置于基板和系链结构之间，系链结构连接待转移微发光元件；

4、系链结构包括第一连接部，第一连接部位于相邻两个待转移微发光元件之间并连接相邻的两个待转移微发光元件；

5、锚定结构包括第一锚定部，第一锚定部在基板上的正投影位于第一连接部在基板上的正投影内，第一锚定部朝向第一连接部的一侧表面包括第一位点和第二位点；在垂直于基板表面的方向上，第一位点到第一连接部之间的间距为d1，第二位点到第一连接部之间的间距为d2，第一位点位于第二位点靠近待转移微发光元件的一侧；其中，d1<d2。

6、第二方面，本发明还实施例提供了一种微发光元件的转移方法，包括：

7、提供微发光元件阵列；微发光元件阵列包括基板、锚定结构、多个待转移微发光元件以及系链结构；锚定结构设置于基板和系链结构之间，系链结构连接待转移微发光元件；系链结构包括第一连接部，第一连接部位于相邻两个待转移微发光元件之间并连接相邻的两个待转移微发光元件；锚定结构包括第一锚定部，第一锚定部在基板上的正投影位于第一连接部在基板上的正投影内，第一锚定部朝向第一连接部的一侧表面包括第一位点和第二位点；在垂直于基板表面的方向上，第一位点到第一连接部之间的间距为d1，第二位点到第一连接部之间的间距为d2，第一位点位于第二位点靠近待转移微发光元件的一侧；其中，d1<d2；

8、利用转移装置抓取待转移微发光元件并下压，使得第一连接部在与第一锚定部的第一位点接触的区域断裂；

9、拾取待转移微发光元件并转移待转移微发光元件至接收基板。

10、第三方面，本发明还实施例提供了一种显示装置，利用本发明第二方面的微发光元件的转移方法制备。

11、本申请实施例中，微发光元件阵列包括：基板、锚定结构、多个待转移微发光元件以及系链结构；锚定结构设置于基板和系链结构之间，系链结构连接待转移微发光元件；系链结构包括第一连接部，第一连接部位于相邻两个待转移微发光元件之间并连接相邻的两个待转移微发光元件；锚定结构包括第一锚定部，第一锚定部在基板上的正投影位于第一连接部在基板上的正投影内，第一锚定部朝向第一连接部的一侧表面包括第一位点和第二位点；在垂直于基板表面的方向上，第一位点到第一连接部之间的间距为d1，第二位点到第一连接部之间的间距为d2，第一位点位于第二位点靠近待转移微发光元件的一侧；其中，d1<d2。通过上述方案，在巨量转移工艺中，第一连接部断裂后残留在发光元件边缘上的残留结构的尺寸较小，可大大减少残留结构对后续工艺制程的影响，提升后续制程良率，进而提高显示装置的可靠性。

技术特征：

1.一种微发光元件阵列，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的微发光元件阵列，其特征在于，相邻两个所述待转移微发光元件包括第一待转移微发光元件和第二待转移微发光元件，所述第一位点位于所述第二位点靠近所述第一待转移微发光元件的一侧；

3.根据权利要求2所述的微发光元件阵列，其特征在于，d1＝d3。

4.根据权利要求2所述的微发光元件阵列，其特征在于，沿平行所述基板表面的方向，所述第一位点与所述第二位点之间的距离等于所述第三位点与所述第二位点之间的距离。

5.根据权利要求1所述的微发光元件阵列，其特征在于，所述第一锚定部包括第一分部和第二分部；所述第一位点位于所述第一分部朝向所述第一连接部的一侧表面，所述第二位点位于所述第二分部朝向所述第一连接部的一侧表面；

6.根据权利要求5所述的微发光元件阵列，其特征在于，沿所述第一锚定部指向所述第一连接部的方向，所述第一分部在所述基板所在平面的正投影的面积逐渐减小。

7.根据权利要求6所述的微发光元件阵列，其特征在于，所述第一分部在所述基板所在平面正投影的面积小于所述第二分部在所述基板所在平面正投影的面积。

8.根据权利要求5所述的微发光元件阵列，其特征在于，所述基板包括第一区和第二区，所述第二区至少部分包围所述第二区；所述第一连接部包括第一子连接部和第二子连接部，所述第一子连接部位于所述第一区，所述第二子连接部位于所述第二区；

9.根据权利要求1所述的微发光元件阵列，其特征在于，沿垂直所述基板所在平面的方向，所述待转移微发光元件包括层叠设置的电极层以及功能层，所述功能层位于所述电极层背离所述基板的一侧；

10.根据权利要求9所述的微发光元件阵列，其特征在于，所述锚定结构还包括第二锚定部，所述第二锚定部位于所述基板和多个所述第一锚定部之间；多个所述第一锚定部背离所述第一连接部的一侧表面与所述第二锚定部背离所述基板的一侧表面一体连接。

11.根据权利要求1所述的微发光元件阵列，其特征在于，所述系链结构还包括第二连接部，位于所述发光元件背离所述锚定结构的一侧，所述第二连接部用于连接任意相邻两个所述第一连接部。

12.根据权利要求1所述的微发光元件阵列，其特征在于，还包括牺牲层，所述牺牲层填充于所述锚定结构和所述待转移微发光元件之间。

13.根据权利要求12所述的微发光元件阵列，其特征在于，所述锚定结构采用金属材料制备。

14.一种微发光元件的转移方法，其特征在于，包括：

15.根据权利要求14所述的微发光元件的转移方法，其特征在于，相邻两个所述待转移微发光元件包括第一待转移微发光元件和第二待转移微发光元件，所述第一位点位于所述第二位点靠近所述第一待转移微发光元件的一侧；所述第一锚定部朝向所述第一连接部的一侧表面还包括第三位点；所述第三位点位于所述第二位点靠近所述第二待转移微发光元件的一侧；在垂直于所述基板表面的方向上，所述第三位点到所述第一连接部之间的间距为d3；其中，d3<d2；

16.根据权利要求14所述的微发光元件的转移方法，其特征在于，所述第一锚定部包括第一分部和第二分部；所述第一位点位于所述第一分部朝向所述第一连接部的一侧表面，所述第二位点位于所述第二分部朝向所述第一连接部的一侧表面；在垂直于所述基板表面的方向上，所述第一分部的高度大于所述第二分部的高度；

17.根据权利要求14所述的微发光元件的转移方法，其特征在于，所述微发光元件阵列还包括牺牲层，所述牺牲层填充于所述锚定结构和所述待转移微发光元件之间；

18.一种显示装置，其特征在于，利用上述权利要求14～17任一项所述的微发光元件的转移方法制备。

技术总结
本发明公开了一种微发光元件阵列、微发光元件的转移方法和显示装置。微发光元件阵列包括：基板、锚定结构、多个待转移微发光元件以及系链结构；锚定结构设置于基板和系链结构之间；系链结构包括第一连接部，第一连接部位于相邻两个待转移微发光元件之间并连接相邻的两个待转移微发光元件；锚定结构包括第一锚定部，第一锚定部朝向第一连接部的一侧表面包括第一位点和第二位点；在垂直于基板表面的方向上，第一位点到第一连接部之间的间距为D1，第二位点到第一连接部之间的间距为D2，第一位点位于第二位点靠近待转移微发光元件的一侧；D1<D2。通过上述方案，可减小巨量转移后发光元件边缘残留结构的尺寸，避免影响显示装置后续制程。

技术研发人员：霍思涛
受保护的技术使用者：天马新型显示技术研究院（厦门）有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/13