用于线圈和变压器的有源下屏蔽的制作方法

本公开涉及用于电感电路装置的屏蔽，该电路装置诸如是具有电感器、线圈或变压器的集成电路。

背景技术：

1、诸如线圈和变压器的电感电路装置生成电磁场。电场和磁场可以耦合到电路的其他层，并且在电路装置中引起不期望的行为，以及降低电感电路装置的性能。对于在集成电路上实现的电感电路装置，电场可能耦合到衬底。在线圈下放置平面金属层可以屏蔽电场和磁场两者，但会减少或消除线圈结构的电感，并且在金属层中产生涡流。

技术实现思路

1、总的来说，本公开描述了在线圈下实现有源或无源电路装置的技术，使得线圈下的电路装置的每一个导电层都遵循图案化屏蔽件的形状。在一些示例中，有源或无源电路装置可以用作图案化屏蔽件。在其他示例中，有源或无源电路装置可以包括一个或多个导电层，该一个或多个导电层与图案化屏蔽件共同定位，并且具有与图案化屏蔽件相同或相似的形状。在任一示例中，有源或无源电路装置的金属条或导电层和/或屏蔽件被配置为使得金属条与线圈结构中的导体成直角交叉。

2、在集成电路(ic)的示例中，被图案化为屏蔽件的有源或无源电路装置可以位于线圈结构下方，从而打开ic上的可用空间，以在相同裸片尺寸上添加附加的电路装置，或者减小裸片的尺寸。例如，缓冲电容器(可以连接在电源轨之间，以用于纹波抑制或稳定提供给ic的功率)可以消耗ic的显著体积。缓冲电容器可以被实现为例如在多个层上的导电条，其中导电条符合与图案化屏蔽件相同的形状，该导电条垂直于或大致垂直于线圈结构中的导体。缓冲电容器在本公开中也可以被称为旁路电容器。

3、在一个示例中，本公开描述了一种电路，该电路包括：至少位于集成电路(ic)的第一层上的线圈结构；以及包括导电路径的电路组件，其中导电路径位于与第一层分开的一个或多个层上，第一层和一个或多个层形成平行平面，电路组件的导电路径被取向为避免导电路径中由通过线圈结构的电流引起的涡流，导电路径中的至少一些导电路径限定一区域，并且线圈结构位于所限定的区域内。

4、在另一个示例中，本公开描述了一种方法，该方法包括：在集成电路(ic)的第一层上形成线圈结构，其中线圈结构被配置为运载电流；在与第一层分开的一个或多个层上形成包括导电路径的电路组件，其中：第一层和一个或多个层形成平行平面，电路组件的导电路径被取向为避免导电路径中由通过线圈结构的电流引起的涡流，导电路径中的至少一些导电路径限定一区域，并且线圈结构位于所限定的区域内。

5、在另一个示例中，本公开描述了一种电路，该电路包括：至少位于集成电路(ic)的第一层上的线圈结构；位于与第一层分开的第二层上的图案化屏蔽件，其中：第一层和第二层形成平行平面，图案化屏蔽件包括多个第一导电路径，多个第一导电路径被取向为避免由通过线圈结构的电流引起的涡流，多个第一导电路径限定第一区域；以及包括多个第二导电路径的电路组件，其中：多个第二导电路径位于与第一层分开并且与第二层分开的一个或多个组件层上，并且与图案化屏蔽件电隔离，第一层、第二层和一个或多个组件层形成平行平面，电路组件的多个第二导电路径被取向为：避免第二导电路径中由通过线圈结构的电流引起的涡流，多个第二导电路径中的至少一些第二导电路径限定第二区域，并且线圈结构位于所限定的第二区域内且位于所限定的第一区域内。

6、本公开的一个或多个示例的细节在附图和下面的描述中进行阐述。本公开的其他特征、目的和优点将从描述和附图以及权利要求变得明显。

技术特征：

1.一种电路，包括：

2.根据权利要求1所述的电路，其中所述电路组件的所述导电路径被取向成大致垂直于通过所述线圈结构的所述电流。

3.根据权利要求1所述的电路，其中所述区域是第一区域，所述电路还包括图案化屏蔽件，所述图案化屏蔽件位于与所述第一层分开的第二层上，其中：

4.根据权利要求3所述的电路，其中所述电路组件的所述导电路径包括所述图案化屏蔽件的所述多个导体。

5.根据权利要求1所述的电路，

6.根据权利要求1所述的电路，其中所述电路组件包括晶体管。

7.根据权利要求1所述的电路，其中所述电路组件包括电容器。

8.根据权利要求1所述的电路，其中所述线圈结构包括变压器。

9.根据权利要求1所述的电路，其中所述线圈结构包括电感器。

10.一种方法，包括：

11.根据权利要求10所述的方法，其中所述电路组件的所述导电路径被取向成大致垂直于通过所述线圈结构的所述电流。

12.根据权利要求10所述的方法，其中所述区域是第一区域，所述ic还包括图案化屏蔽件，所述图案化屏蔽件位于与所述第一层分开的第二层上，其中：

13.根据权利要求10所述的方法，其中所述电路组件包括晶体管。

14.根据权利要求10所述的方法，其中所述线圈结构包括变压器。

15.一种电路，包括：

16.根据权利要求15所述的电路，其中在所述多个第二导电路径中的导电路径与所述线圈结构交叉的每个位置处，所述电路组件的所述第二导电路径被取向成大致垂直于通过所述线圈结构的所述电流。

17.根据权利要求15所述的电路，

18.根据权利要求15所述的电路，其中所述电路组件包括晶体管。

19.根据权利要求15所述的电路，其中所述电路组件包括电容器。

20.根据权利要求15所述的电路，其中所述线圈结构包括电感器。

技术总结
本公开涉及一种用于线圈和变压器的有源下屏蔽，其中示例电路包括：至少位于集成电路(IC)的第一层上的线圈结构；以及包括导电路径的电路组件。导电路径位于与第一层分开的一个或多个层上，并且第一层和该一个或多个层形成平行平面。电路组件的导电路径被取向为避免导电路径中由通过线圈结构的电流引起的涡流，并且形成图案化屏蔽件。导电路径中的至少一些导电路径限定一区域，并且线圈结构位于所限定的区域内。

技术研发人员：M·努博林,M·拉克基
受保护的技术使用者：英飞凌科技股份有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/16