装载端口及用于打开/关闭储存容器的方法与流程

本发明涉及一种与被配置为输送基板的输送部件连接并且用于在输送部件与储存基板的储存容器之间进行基板的搬入/搬出的装载端口，以及一种用于打开/关闭储存基板的储存容器的方法。

背景技术：

1、在半导体制造工艺等中需要高度洁净的环境。近年来，小型环境系统已经越来越多地用于代替下流式系统在半导体制造工厂等中形成洁净环境。微环境系统是仅在作为待处理的对象的基板周围形成局部洁净环境并且与使用整个工厂作为洁净环境的下流式系统相比能够以低成本形成高度洁净的环境的系统。

2、在微环境系统中，基板被储存在被保持在比外部气氛洁净度高的储存容器中以进行运输、储存等，并且被称为设备前端模块(efem)的模块被用于在储存容器与对储存容器和基板进行各种处理的处理设备之间进行基板传送。efem包括输送部件和装载端口，输送部件包括输送室和安装在输送室中的输送机器人，装载端口与输送部件连接。装载端口是用于在储存基板的储存容器与输送部件之间进行基板的搬入/搬出的接口，并且储存在储存容器中的基板在储存容器与输送部件(以及因此处理设备)之间传送，而不会穿过装载端口而暴露于外部气氛(参见专利文献1)。

3、[现有技术文献]

4、专利文献

5、专利文献1：日本专利公开第2016-178133号

技术实现思路

1、将参照图18来描述相关技术中的一般的装载端口。图18是示意性示出传统一般的装载端口900的配置例的视图。

2、装载端口900包括板状的基座901，该基座901构成与其连接的输送部件800的壁的一部分。在基座901的一侧设置有载台902，在载台902的顶表面上安装储存基板(例如，晶圆90)的储存容器9。载台902设置有锁定爪(未被示出)等，并且储存容器9以不从载台902移位的方式进行固定。另外，与载台902连接有被配置为使载台902在朝向或远离基座901的方向上移动的驱动机构(载台驱动机构)903。同时，在基座901的表面中形成有开口901a，并且设置有门904来关闭开口901a。与门904连接有被配置为使门904在关闭位置(门904关闭开口901a的位置)与打开位置(门904打开开口901a的位置)之间移动的驱动机构(门驱动机构)905。

3、具有上述配置的装载端口900的操作的例子如下。首先，当储存晶圆90的储存容器9通过诸如amhs、pgv等外部输送机器人而安装在载台902上时，使载台902在接近基座901的方向上移动，从而使安装在载台902上的储存容器9和基座901例如彼此接触。在这种状态下，储存容器9的盖子92足够靠近被配置为关闭开口901a的门904，然后门904与盖子92连接。然后，门904与盖子92一起从关闭位置移动到打开位置。因此，储存容器9的容器主体91的内部通过开口901a与输送部件800的内部连通。之后，储存在容器主体91中的晶圆90(例如，未经处理的晶圆90)由输送部件800的输送机器人取出并装到处理设备等中。另外，输送机器人将晶圆90(例如，经处理设备处理的处理后的晶圆)储存到容器主体91中。当预定数量的晶圆90被储存在容器主体91中时，门904与盖子92一起从打开位置移动到关闭位置。此时，门904被朝向开口901a(即，朝向安装在载台902上的容器主体91)按压，由此，由门904保持的盖子92附接到容器主体91。当盖子92附接到容器主体91时，门904与盖子92之间的连接被释放。之后，使载台902在远离基座901的方向上移动，外部输送机器人将安装在载台902上的储存容器9搬走。

4、在一般的储存容器9中，由于在盖子92的内表面上设置有作为晶圆按压构件的保持器，该作为晶圆按压构件的保持器是被配置为对容纳在容器主体91中的晶圆90进行保持使得晶圆90不移位的晶圆按压构件，因此在盖子92附接到容器主体91时，保持器弹性变形以按压晶圆90。因此，在将盖子92附接到容器主体91时，必须以至少大于保持器的反作用力的力将盖子92压靠在容器主体91上。即，必须以至少大于保持器的反作用力的力(门关闭力)将保持盖子92的门904朝向放置在载台902上的容器主体91按压。

5、尤其是近年来，为了抑制颗粒进入储存容器9，存在增大保持器的反作用力的倾向。另外，与工厂内用作用于基板(例如，晶圆90)的储存容器9的前开式传送盒(foup)相比，作为通常用于工厂间的输送的储存容器9的类型的前开式运输箱(fosb)具有更大的反作用力。因此，在装载端口900中对打开/关闭fosb的需求正在增加。为了应对这些情况，门关闭力倾向于增大。

6、另一方面，在通过按压门904而将盖子92附接到容器主体91时，为了防止在容器主体91被推动时固定地安装有容器主体91的载台902移动(脱离)，需要通过例如作为设置在载台驱动机构903中的驱动源的气缸来朝向基座901按压载台902。即，需要将载台902以不小于门关闭力的力朝向基座901按压。

7、然而，在将载台902朝向基座901按压的力(对接力)增大时，门904可能会被安装在载台902上的储存容器9以较大的力推回，存在门904变形的风险。例如，在门904以悬臂状态被支撑的结构的情况下，被储存容器9推动的门904可能从被支撑的端侧在远离开口901a的方向上朝向非被支撑的端侧弯折。在门904中发生这种变形(弯折)时，例如，由门904保持的盖子92可能脱落而不附接到容器主体91。

8、在需要增大门关闭力的最近情况下，对接力也不可避免地增大，因而门904的变形可能性逐渐增加。

9、已经做出本发明来解决上述问题，本发明提供了一种能够避免施加引起门变形的过大的力的技术。

10、鉴于上述内容，本发明采取以下措施。

11、即，根据本发明，一种与输送部件连接的装载端口包括：板状的基座，其构成输送部件的壁的一部分；载台，储存容器安装在该载台上；载台驱动机构，其被配置为使载台在朝向或远离基座的方向上移动；门，其被配置为能够对在基座上设置在面对安装在载台上的储存容器的盖子的位置处的开口进行打开/关闭，并且能够对在关闭开口的状态下设置为面对开口的盖子进行保持；门驱动机构，其被配置为使门在门打开开口的打开位置与门关闭开口的关闭位置之间移动；以及移动限制部件，其被配置为在门被朝向开口按压并且由门保持的盖子附接到储存容器的容器主体时，通过抵靠在载台上而限制载台在远离基座的方向上的移动。

12、通过这种配置，例如，在将由门保持的盖子附接到容器主体时，由于将载台朝向基座按压的力(对接力)小于将门朝向开口按压的力(门关闭力)，因此即使载台在远离基座的方向上移动，移动限制部件也抵靠在载台上，从而限制载台的移动，使得盖子可以附接到安装在载台上的容器主体。即，即使对接力不是与门关闭力平衡的大的力，也可以将盖子附接到容器主体。因此，可以减小对接力，从而可以避免施加引起门变形的过大的力。

13、优选地，在装载端口中，在平面图中，移动限制部件在与载台的移动方向垂直的方向上在载台的中心位置处抵靠在载台上。

14、通过这种配置，可以稳定地限制载台在远离基座的方向上的移动。

15、优选地，在装载端口中，移动限制部件在通过抵靠在载台上而限制载台的移动的限制状态与不限制载台的移动的释放状态之间切换。

16、通过这种配置，可以容易且可靠地实现载台的移动的限制或限制的释放。

17、在根据上述实施方式的装载端口中，移动限制部件包括：旋转部件，其被设置为能围绕旋转轴旋转，该旋转轴沿着与载台的移动方向相交的方向延伸；以及切换部件，其被配置为通过使旋转部件旋转而在限制状态与释放状态之间切换。

18、通过这种配置，可以用简单的配置来实现载台的移动的限制和移动的释放。

19、优选地，在装载端口中，在门被朝向开口按压并且由门保持的盖子附接到容器主体时，载台驱动机构朝向基座按压载台的力小于门驱动机构朝向开口按压门的力。

20、通过这种配置，可以充分避免向门施加引起变形的过大的力。

21、在本发明的另一方面，一种用于打开/关闭储存基板的储存容器的方法：载台移动操作，其使安装有储存容器的载台在朝向基座的方向上移动，以使在基座上设置在面对安装在载台上的储存容器的盖子的位置处的开口与盖子彼此更靠近；盖子保持操作，其使关闭开口的门对设置为面对开口的盖子进行保持；打开操作，其使门与由门保持的盖子一起从门关闭开口的关闭位置移动到门打开开口的打开位置；关闭操作，其使门与由门保持的盖子一起从打开位置移动到关闭位置；以及移动限制操作，其在门被朝向开口按压并且由门保持的盖子在关闭操作中附接到储存容器的容器主体时，使移动限制部件通过抵靠在载台上而限制载台在远离基座的方向上的移动。

22、通过这种配置，在将由门保持的盖子附接到容器主体时，移动限制部件抵靠在载台上，从而限制载台的移动。因此，可以减小对接力，从而可以避免施加引起门变形的过大的力。

23、根据本发明，可以避免施加引起门变形的不合理的力。