半导体存储装置的制作方法

本发明涉及一种半导体存储装置，尤其是涉及一种包括有源结构以及浅沟渠隔离的半导体存储装置。

背景技术：

1、随着半导体装置微小化以及集成电路的复杂化，组件的尺寸不断地减小，结构亦不断地变化，因此，维持小尺寸半导体组件的效能为目前业界的主要目标。在半导体制作工艺中，多半是在衬底上定义出多个有源区域作为基础，再于所述有源区域上形成所需组件。一般来说，有源区域为利用光刻及蚀刻等制作工艺在衬底上所形成多个图案，但在尺寸微缩的要求下，有源区域的宽度逐渐缩减，而各个有源区域之间的间距也渐缩小，使得其制作工艺也面临许多限制与挑战，以至于无法满足产品需求。

技术实现思路

1、本发明之一目的在于提供一种半导体存储装置，其设置于外侧的字线系作为虚设字线，以保护设置于内侧的字线，避免设置于内侧的字线透过有源结构而与后续形成的位线直接导通。在此设置下，本发明之半导体存储装置可达到较为优化的组件效能。

2、为达上述目的，本发明之一实施例提供一种半导体存储装置，包括衬底、有源结构、浅沟渠隔离以及多个字线。所述有源结构设置于所述衬底内，并包括多个第一有源片段以及多个第二有源片段，各个所述第一有源片段以及各个所述第二有源片段相互平行地朝着第一方向延伸，所述第二有源片段设置在所有的所述第一有源片段外侧。其中，所述第一有源片段在所述第一方向上具有第一长度，所述第二有源片段在所述第一方向上具有第二长度，所述第二长度大于或小于所述第一长度。所述浅沟渠隔离设置于所述衬底内，以环绕所述有源结构。所述字线相互平行地沿着第二方向延伸并设置于所述衬底内，所述第二方向相交且不垂直于所述第一方向，所述字线中至少一条与至少三个连续排列的所述第二有源片段交错。

3、为达上述目的，本发明之一实施例提供另一种半导体存储装置，包括衬底、有源结构、浅沟渠隔离以及多个字线。所述有源结构设置于所述衬底内，并包括多个第一有源片段以及多个第二有源片段，各个所述第一有源片段以及各个所述第二有源片段相互平行地朝着第一方向延伸，所述第二有源片段设置在所有的所述第一有源片段外侧，所述第一有源片段在所述第一方向上皆具有相同的第一长度，所述第二有源片段在所述第一方向上分别具有不同于所述第一长度的长度。所述浅沟渠隔离设置于所述衬底内，以环绕所述有源结构。所述字线相互平行地沿着不垂直于所述第一方向的第二方向延伸并设置于所述衬底内。所述第二有源片段在远离所述第一有源片段的一端具有第一端部，所述第一端部在第三方向上与所述第二有源片段的另一端部之间的距离为第一距离，所述第一端部在第三方向上与至少一个所述字线远离所述第一端部的一侧之间的距离为第二距离，所述第三方向垂直于所述第二方向，所述第一距离大于所述第二距离。

技术特征：

1.一种半导体存储装置，其特征在于，包括：

2.依据权利要求第1项所述之半导体存储装置，其特征在于，所述字线中至少两条仅与所述第二有源片段交错。

3.依据权利要求第1项所述之半导体存储装置，其特征在于，任两相邻的所述第二有源片段在所述第一方向上具有不相同的所述第二长度以及第三长度。

4.依据权利要求第1项所述之半导体存储装置，其特征在于，所述第一有源片段以及所述第二有源片段在所述第二方向上具有相同的第一间隔，所述第一有源片段以及所述第二有源片段在所述第一方向上具有相同的第二间隔，所述第二间隔大于所述第一间隔，并且，所述浅沟渠隔离包含分别填入所述第一间隔以及所述第二间隔的多个第一部分以及多个第二部分。

5.依据权利要求第4项所述之半导体存储装置，其特征在于，所述字线中至少一条不穿过任何所述第二部分。

6.依据权利要求第1项所述之半导体存储装置，其特征在于，所述有源结构还包括有源区，环绕着所述第一有源片段以及所述第二有源片段设置，所有的所述第二有源片段直接接触所述有源区。

7.一种半导体存储装置，其特征在于，包括：

8.依据权利要求第7项所述之半导体存储装置，其特征在于，所述有源结构还包括有源区，环绕着所述第一有源片段以及所述第二有源片段设置，所有的所述第二有源片段直接接触所述有源区。

9.依据权利要求第8项所述之半导体存储装置，其特征在于，所述有源区包括延伸于所述第二方向上的至少一第一侧边，以及延伸于垂直于所述第二方向的第三方向上的至少一第二侧边，部分的所述第二有源片段同时接触所述第一侧边以及所述第二侧边。

10.依据权利要求第7项所述之半导体存储装置，其特征在于，所述第一端部在第三方向上与至少两个所述字线的远离所述第一端部的一侧之间的距离为第二距离。

技术总结
本发明公开了一种半导体存储装置，包括衬底、有源结构、浅沟渠隔离以及多个字线。有源结构设置于衬底内，并包括多个第一有源片段以及多个第二有源片段，各个第一有源片段以及各个第二有源片段相互平行地朝着第一方向延伸，第二有源片段设置在所有的第一有源片段外侧。浅沟渠隔离设置于衬底内，环绕有源结构并包括多个第一部分以及多个第二部分。字线相互平行地沿着第二方向延伸并设置于所述衬底内。所述字线中至少两条仅与所述第二有源片段交错，或者至少一条不穿过任何第二部分。藉此，可有效地避免字线与位线直接导通。

技术研发人员：张钦福,童宇诚
受保护的技术使用者：福建省晋华集成电路有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/16