一种半导体碳化硅衬底中大尺寸微管检测吸附装置的制作方法

文档序号:35534499发布日期:2023-09-21 18:31阅读:46来源:国知局

本发明涉及半导体碳化硅衬底微管检测,尤其涉及一种半导体碳化硅衬底中大尺寸微管检测吸附装置。


背景技术:

1、半导体碳化硅衬底微管在生产加工中,为了保障产品品质,通常要进行检测,检测包括外观检测等等,目前外观检测多采用ccd拍摄,对拍摄的图像进行分析,来判断外观的优劣;但是传统的拍摄方式,仅仅将产品置于相应的位置直接拍摄,虽能够满足一定的使用需求,但是,由于产品尺寸较小,拍摄时,对于光照的要求较高,若光照条件不稳定,则容易出现特征抓取错误等情况,因此,还有待改进。

2、经检索,中国专利申请号为cn201721524415.4的专利,公开了一种用于出料检测的ccd检测装置,包括:ccd检测支架及设于ccd检测支架上的ccd检测部、检测遮光部;ccd检测支架包括检测固定座、ccd检测固定板和第一检测滑板;ccd检测部包括第二检测滑板、ccd固定支架和ccd检测摄像头;检测遮光部包括检测遮光固定板和检测遮光块;检测遮光固定板固定于ccd检测支架,检测遮光块与检测遮光固定板,检测遮光块具有一检测通孔。上述专利中的ccd检测装置存在以下不足:该ccd检测装置,虽能满足一定的使用需求,但是容易受到外界光照的干扰,影响检测结构,还有待改进。


技术实现思路

1、本发明的目的是为了解决现有技术中存在的缺点,而提出的一种半导体碳化硅衬底中大尺寸微管检测吸附装置。

2、为了实现上述目的,本发明采用了如下技术方案:

3、一种半导体碳化硅衬底中大尺寸微管检测吸附装置,包括:

4、第一安装架,所述第一安装架上通过安装轴安装有传送链组件,第一安装架一侧安装有用于驱动传送链组件的驱动组件;

5、安装框,安装框等距安装于传送链组件上;

6、容纳座,容纳座用于容纳微管,容纳座可拆卸的安装于安装框内;

7、检测机构,检测机构包括安装罩,安装罩的位置与安装框适配,安装罩内部安装有ccd检测组件;

8、吸附机构,吸附机构用于吸附搬运装有微管的容纳座。

9、作为本发明一种优选的:所述安装罩的底部通过环形弹性折皱部连接有压板,压板的位置与安装框适配;压板侧面固定有导向柱,导向柱上下滑动连接于安装罩内壁。

10、作为本发明一种优选的:所述检测机构还包括电动调节缸,电动调节缸的输出端固定于安装罩顶部外壁,所述导向柱外壁滑动连接有限位块,限位块一侧内壁通过螺纹连接有用于固定限位块的顶丝。

11、作为本发明一种优选的:所述安装罩顶部内壁设置有多个安装座,安装座上可拆卸的安装有补光灯。

12、作为本发明一种优选的:所述驱动组件包括:

13、驱动电机,驱动电机通过支架安装于第一安装架上;

14、同步轮传动组件,驱动电机的输出端通过同步轮传动组件与安装轴传动连接。

15、作为本发明一种优选的:所述安装轴上均安装有第一链轮,传送链组件的一侧设置有第二安装架,第二安装架上可转动的安装有联动轮和第二链轮,第一链轮、第二链轮和联动轮通过同一个传动链传动连接;

16、所述联动轮一侧设置有十字状肋条,十字状肋条的拐角处平滑过渡;所述第二安装架上固定有升降导架,升降导架外壁上下滑动连接有联动架,联动架与升降导架之间通过弹簧连接;联动架一端安装有滚轮,滚轮滚动于十字状肋条外壁;电动调节缸固定于联动架上。

17、作为本发明一种优选的:所述联动架内侧固定有两个导电片,升降导架上固定有与导电片相适配的导电条,两个导电片接入驱动电机的控制电路。

18、作为本发明一种优选的:所述容纳座顶部外壁设置有多个滑球。

19、作为本发明一种优选的:所述吸附机构包括:

20、吸附组件,吸附组件包括电动伸缩缸,电动伸缩缸的输出端固定有升降架,升降架底部安装有多个与容纳座相适配的吸盘;

21、平移组件,平移组件用于控制电动伸缩缸平移。

22、作为本发明一种优选的:所述平移组件包括:

23、横向滑轨,横向滑轨设置于传送链组件一侧,横向滑轨一侧安装有平移电机;

24、螺杆,螺杆可转动的安装于横向滑轨内部,螺杆的一端与平移电机的输出端传动连接;

25、平移座,电动伸缩缸固定于平移座内部,平移座滑动连接于横向滑轨内壁,平移座通过螺纹连接于螺杆外壁。

26、本发明的有益效果为:

27、本发明通过设置传送链组件、检测机构等结构,能够利用传送链组件工作,对装有微管的容纳座进行输送,输送至检测机构下方时,能够利用ccd检测组件对微管进行检测,安装罩能够防止外界光照干扰,提升了实用性,保障了检测的可靠性。

28、本发明通过设置压板、环形弹性折皱部等结构,能够进一步提升遮光效果;通过设置限位块等结构,能够根据需求,调整限位块的位置,并通过顶丝固定,从而达到对压板进行限位的目的,提升了实用性。

29、本发明通过设置联动轮、十字状肋条等等,能够基于传送链组件的运行,通过安装轴带动第一链轮转动,进而通过传动链带动联动轮转动,十字状肋条转动,基于十字状肋条的形状,从而使联动架周期性升降,联动架下降至底部时,压板刚好压合于容纳座顶面,从而达到遮蔽的目的,以满足检测需求。

30、本发明通过设置导电片和导电条等结构,在联动架下降到工作位时,导电片与导电条接触,导电条导通两个导电片电路,基于电信号,系统控制驱动电机暂定工作若干秒,以便于ccd检测组件进行检测,提升了可靠性。



技术特征:

1.一种半导体碳化硅衬底中大尺寸微管检测吸附装置,其特征在于,包括:

2.根据权利要求1所述的一种半导体碳化硅衬底中大尺寸微管检测吸附装置,其特征在于,所述安装罩(19)的底部通过环形弹性折皱部(25)连接有压板(24),压板(24)的位置与安装框(35)适配;压板(24)侧面固定有导向柱(22),导向柱(22)上下滑动连接于安装罩(19)内壁。

3.根据权利要求2所述的一种半导体碳化硅衬底中大尺寸微管检测吸附装置,其特征在于,所述检测机构还包括电动调节缸(18),电动调节缸(18)的输出端固定于安装罩(19)顶部外壁,所述导向柱(22)外壁滑动连接有限位块(23),限位块(23)一侧内壁通过螺纹连接有用于固定限位块(23)的顶丝(26)。

4.根据权利要求3所述的一种半导体碳化硅衬底中大尺寸微管检测吸附装置,其特征在于,所述安装罩(19)顶部内壁设置有多个安装座(34),安装座(34)上可拆卸的安装有补光灯(33)。

5.根据权利要求4所述的一种半导体碳化硅衬底中大尺寸微管检测吸附装置,其特征在于,所述驱动组件包括:

6.根据权利要求5所述的一种半导体碳化硅衬底中大尺寸微管检测吸附装置,其特征在于,所述安装轴(6)上均安装有第一链轮(7),传送链组件(2)的一侧设置有第二安装架(17),第二安装架(17)上可转动的安装有联动轮(10)和第二链轮(9),第一链轮(7)、第二链轮(9)和联动轮(10)通过同一个传动链(8)传动连接;

7.根据权利要求6所述的一种半导体碳化硅衬底中大尺寸微管检测吸附装置,其特征在于,所述联动架(30)内侧固定有两个导电片(29),升降导架(16)上固定有与导电片(29)相适配的导电条(27),两个导电片(29)接入驱动电机(4)的控制电路。

8.根据权利要求1所述的一种半导体碳化硅衬底中大尺寸微管检测吸附装置,其特征在于,所述容纳座(3)顶部外壁设置有多个滑球(36)。

9.根据权利要求1-8任一项所述的一种半导体碳化硅衬底中大尺寸微管检测吸附装置,其特征在于,所述吸附机构包括:

10.根据权利要求9所述的一种半导体碳化硅衬底中大尺寸微管检测吸附装置,其特征在于,所述平移组件包括:


技术总结
本发明公开了一种半导体碳化硅衬底中大尺寸微管检测吸附装置,涉及半导体碳化硅衬底微管检测技术领域;包括:第一安装架,所述第一安装架上通过安装轴安装有传送链组件,第一安装架一侧安装有用于驱动传送链组件的驱动组件;安装框,安装框等距安装于传送链组件上;容纳座,容纳座用于容纳微管,容纳座可拆卸的安装于安装框内;检测机构,检测机构包括安装罩,安装罩的位置与安装框适配。本发明通过设置传送链组件、检测机构等结构,能够利用传送链组件工作,对装有微管的容纳座进行输送,输送至检测机构下方时,能够利用CCD检测组件对微管进行检测,安装罩能够防止外界光照干扰,提升了实用性,保障了检测的可靠性。

技术研发人员:奚衍罡
受保护的技术使用者:南通罡丰科技有限公司
技术研发日:
技术公布日:2024/1/15
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1