一种晶盒自动启盖设备的制作方法

本发明涉及晶圆传输盒处理设备领域，尤其涉及一种晶盒自动启盖设备。

背景技术：

1、晶圆传输盒俗称水晶盒、硅片盒，应用在光刻设备上，常见的晶圆传输盒一般内置有25个晶圆插槽，晶圆传输盒通常采用带有弹片卡勾的密封盖为晶圆片提供无尘的传输环境，其盒体与密封盖之间设密封圈可提高密封性。晶圆传输盒传输就位后需要通过人工操作启盖，虽然启盖过程在无尘车间进行，但不可避免地会有微尘污染到晶圆。

技术实现思路

1、本发明主要解决的技术问题是提供一种晶盒自动启盖设备，采用无气驱动方式构建无尘环境，配备有引拨勾爪以实现高精度解锁操作，配备有提盖勾爪以实现开盖操作，利用行程限位套筒提高引拨勾爪可靠性，使晶盒开盖操作达成无污染、自动化目的。

2、为解决上述技术问题，本发明采用的一个技术方案是：提供一种晶盒自动启盖设备，包括作业平台、下线轨、正反牙丝杆、支座、伺服、晶盒平台、伺服丝杆升降台、引拨勾爪、伺服丝杆升降机、上限压板、提盖勾爪，所述作业平台上设置有平行排布的下线轨和正反牙丝杆，所述下线轨上承载有一对支座，所述支座对称挂载在由伺服驱动的正反牙丝杆两端，所述支座间居中设置有晶盒平台，每一支座顶部设置有由伺服丝杆升降台驱动的引拨勾爪，所述晶盒平台正上方设置有由伺服丝杆升降机驱动的上限压板，所述上限压板两侧对称外挂有一对间距可变的提盖勾爪，所述提盖勾爪与引拨勾爪上下对齐匹配在晶盒平台边缘。

3、在本发明一个较佳实施例中，所述上限压板上设置有上线轨，所述上线轨两端设置有水平延长臂，所述提盖勾爪吊挂在水平延长臂上。

4、在本发明一个较佳实施例中，所述上限压板上设置有居中垂直于上线轨的丝杆步进电机，所述丝杆步进电机上居中安装有联动控制臂，所述联动控制臂两端通过轴承摆臂对称连接到水平延长臂。

5、在本发明一个较佳实施例中，所述引拨勾爪呈e形并具有一体成型的左勾爪、右勾爪和中置抵唇。

6、在本发明一个较佳实施例中，所述提盖勾爪是由吊板和垂直设置在吊板下端的勾柄组成，所述勾柄的端面分别同左勾爪、右勾爪的勾面在不同高度上适时以正反向错位匹配。

7、在本发明一个较佳实施例中，所述支座包括一背板，所述背板两侧设置有一对连接下线轨的抱臂，所述背板上开设有轴孔并同轴设置有穿套正反牙丝杆的行程限位套筒，所述行程限位套筒周面开设有行程调试口，所述行程调试口一端设置有连接正反牙丝杆的丝杆螺母。

8、在本发明一个较佳实施例中，所述作业平台承载在一中空旋转平台上，所述中空旋转平台的外围设置有水平光电传感器。

9、本发明的有益效果是：本发明提供的一种晶盒自动启盖设备，采用无气驱动方式构建无尘环境，配备有引拨勾爪以实现高精度解锁操作，配备有提盖勾爪以实现开盖操作，利用行程限位套筒提高引拨勾爪可靠性，使晶盒开盖操作达成无污染、自动化目的。

技术特征：

1.一种晶盒自动启盖设备，其特征在于，包括作业平台、下线轨、正反牙丝杆、支座、伺服、晶盒平台、伺服丝杆升降台、引拨勾爪、伺服丝杆升降机、上限压板、提盖勾爪，所述作业平台上设置有平行排布的下线轨和正反牙丝杆，所述下线轨上承载有一对支座，所述支座对称挂载在由伺服驱动的正反牙丝杆两端，所述支座间居中设置有晶盒平台，每一支座顶部设置有由伺服丝杆升降台驱动的引拨勾爪，所述晶盒平台正上方设置有由伺服丝杆升降机驱动的上限压板，所述上限压板两侧对称外挂有一对间距可变的提盖勾爪，所述提盖勾爪与引拨勾爪上下对齐匹配在晶盒平台边缘。

2. 根据权利要求1 所述的晶盒自动启盖设备，其特征在于，所述上限压板上设置有上线轨，所述上线轨两端设置有水平延长臂，所述提盖勾爪吊挂在水平延长臂上。

3.根据权利要求2所述的晶盒自动启盖设备，其特征在于，所述上限压板上设置有居中垂直于上线轨的丝杆步进电机，所述丝杆步进电机上居中安装有联动控制臂，所述联动控制臂两端通过轴承摆臂对称连接到水平延长臂。

4.根据权利要求1所述的晶盒自动启盖设备，其特征在于，所述引拨勾爪呈e形并具有一体成型的左勾爪、右勾爪和中置抵唇。

5.根据权利要求4所述的晶盒自动启盖设备，其特征在于，所述提盖勾爪是由吊板和垂直设置在吊板下端的勾柄组成，所述勾柄的端面分别同左勾爪、右勾爪的勾面在不同高度上适时以正反向错位匹配。

6.根据权利要求1所述的晶盒自动启盖设备，其特征在于，所述支座包括一背板，所述背板两侧设置有一对连接下线轨的抱臂，所述背板上开设有轴孔并同轴设置有穿套正反牙丝杆的行程限位套筒，所述行程限位套筒周面开设有行程调试口，所述行程调试口一端设置有连接正反牙丝杆的丝杆螺母。

7.根据权利要求1所述的晶盒自动启盖设备，其特征在于，所述作业平台承载在一中空旋转平台上，所述中空旋转平台的外围设置有水平光电传感器。

技术总结
本发明公开一种晶盒自动启盖设备，包括作业平台、下线轨、正反牙丝杆、支座、伺服、晶盒平台、伺服丝杆升降台、引拨勾爪、伺服丝杆升降机、上限压板、提盖勾爪，所述作业平台上设置有平行排布的下线轨和正反牙丝杆，所述下线轨上承载有一对支座，所述支座对称挂载在由伺服驱动的正反牙丝杆两端，所述支座间居中设置有晶盒平台，每一支座顶部设置有由伺服丝杆升降台驱动的引拨勾爪。通过上述方式，本发明提供一种晶盒自动启盖设备，采用无气驱动方式构建无尘环境，配备有引拨勾爪以实现高精度解锁操作，配备有提盖勾爪以实现开盖操作，利用行程限位套筒提高引拨勾爪可靠性，使晶盒开盖操作达成无污染、自动化目的。

技术研发人员：李海新,薄原厂,黄灿
受保护的技术使用者：苏州美仪自动化设备有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/15