一种半导体晶片表面的测试装置的制作方法

本发明涉及半导体测试设备，具体为一种半导体晶片表面的测试装置。

背景技术：

1、半导体，顾名思义就是导电性介于导体和绝缘体之间的一类物体。通过杂质的掺入而改变材料的导电性能，这便是半导体技术的底层基础。以此延展，这一特性可以用来制作出各类具备不同电流电压特性的晶体管。

2、专利cn113909145b的中国发明专利公开了一种半导体晶片表面的测试装置，包括测试台、上下料组件、移动组件、测试组件和不合格品存放组件，所述测试台的顶部对称设置有两个滑槽，所述测试台的顶部设有移动槽，所述移动槽位于两个滑槽之间，所述上下料组件设置在测试台的左侧，所述移动组件滑动安装在两个滑槽上，所述不合格品存放组件设置在测试台的右侧，所述测试组件架设在测试台上，并且测试组件位于上下料组件和不合格品存放组件之间，该发明实现全自动调节探头角度来适用于对不同型号的半导体晶片进行测试，无需人工手动对探头角度进行调整，避免手动调整的误差影响测试结果和测试精度。

3、但是，上述专利在实际使用过程中还存在以下不足之处：其一，该专利需要两个角度调节件工作来对调节盘和探头角度进行自动调节来适用于对不同型号的半导体晶片进行测试，一旦角度调节件中的连接绳断裂，则无法实现对调节盘和探头角度进行调节，影响测试工作；其二，该专利探头在工作一定时间后，探头表面会粘附一些灰尘等杂质，需要人工定期对探头进行手动清理，十分不便。

技术实现思路

1、为了弥补以上不足，本发明提供了一种半导体晶片表面的测试装置，以解决上述背景技术中提出连接绳断裂，则无法实现对调节盘和探头角度进行调节，影响测试工作和需要人工定期对探头进行手动清理，十分不便的问题。

2、本发明的技术方案是：

3、一种半导体晶片表面的测试装置，包括测试桌、测试台、测试框、第一丝杆滑台、移动板、测试机构、分拣机构和两个滑槽，两个所述滑槽对称设置在测试桌的顶部，所述测试台滑动安装在两个滑槽上，所述测试框安装在测试台的顶部，所述第一丝杆滑台水平设置在测试桌的顶端，所述移动板安装在第一丝杆滑台的移动端上，并且移动板的顶部与测试台的底部连接，所述测试桌上设有供移动板穿过的移动槽，所述测试机构和分拣机构间隔设置在测试桌的顶部，所述测试机构包括升降架、第二丝杆滑台、调节板、测试架、翻转板、翻转电机、清理组件、两个竖杆、两个液压推杆、两个翻转轴和两个测试组件，两个所述竖杆对称设置在测试桌的顶部，所述升降架滑动安装在两个竖杆上，两个所述液压推杆对称设置在测试桌的顶部，并且两个液压推杆的输出端分别与升降架的底部两侧连接，所述第二丝杆滑台水平设置在升降架的顶端，所述调节板安装在第二丝杆滑台的移动端上，所述测试架安装在调节板的底部，所述翻转板通过两个翻转轴转动安装在测试架的底端，所述翻转电机水平设置在测试架的底端外壁上，并且翻转电机的输出轴与其中一个翻转轴连接，两个所述测试组件对称设置在翻转板上，所述清理组件安装在测试架的顶端。

4、进一步的，每个所述测试组件均包括固定架、u型架、调节盘、探头、联动轴、第一凸轮、润滑部件、调节电机、主动轮、从动轮、皮带、两个调节轴和两个调节部件，所述固定架安装在翻转板的底部，所述u型架安装在固定架的底端，两个所述调节轴分别转动安装在u型架的底端，并且两个调节轴的一端均延伸至u型架的外部，所述调节盘的两侧分别与两个调节轴连接，所述探头安装在调节盘的底部中心处，两个所述调节部件对称设置在u型架的顶部，并且两个调节部件的底端分别与两个调节轴延伸至u型架外部的一端连接，每个所述调节部件均包括支撑架、第一导轨、第二导轨、第一滑块、第二滑块、第一齿条、第二齿条、连接板、调节柄、扇形齿轮、旋转座、旋转轴和旋转齿轮，所述支撑架安装在u型架的顶部，所述第一导轨和第二导轨对称设置在支撑架的顶端，所述第一滑块和第二滑块分别滑动安装在第一导轨和第二导轨上，所述第一齿条水平设置在第一滑块的顶部，所述第二齿条水平设置在第二滑块的底部，所述连接板的两侧分别与第一滑块和第二滑块连接，所述调节柄的底端安装在调节轴延伸至u型架外部的一端，所述扇形齿轮安装在调节柄的顶部，并且扇形齿轮与第二齿条啮合，所述旋转座安装在支撑架的顶部，所述旋转轴转动安装在旋转座上，所述旋转齿轮安装在旋转轴的头端，并且旋转齿轮与第一齿条啮合，所述联动轴的两端分别与两个调节部件中的旋转轴的尾端连接，所述第一凸轮安装在联动轴的中部，所述润滑部件安装在u型架的顶部，并且润滑部件的顶端与第一凸轮的底端抵触，所述润滑部件用于对两个调节部件中的旋转齿轮和扇形齿轮进行润滑，所述调节电机水平设置在u型架的顶部，所述主动轮安装在调节电机的输出轴上，所述从动轮安装在其中一个调节部件中的旋转轴上，所述皮带套设在主动轮和从动轮的外部。

5、进一步的，所述润滑部件包括润滑筒、活塞、推柱、承载块、承载座、第一滚轮、第一弹簧、补充件和两个喷射件，所述润滑筒竖直设置在u型架的顶部，所述活塞滑动安装在润滑筒内，所述推柱的底端与活塞连接，所述推柱的顶端延伸至润滑筒的顶部上方，所述承载块安装在推柱的顶端，所述承载座安装在承载块的顶部，所述第一滚轮转动安装在承载座内，并且第一滚轮的顶端与第一凸轮的底端抵触，所述第一弹簧套设在推柱的外部，并且第一弹簧的两端分别与润滑筒的顶部和承载块的底部连接，两个所述喷射件对称设置在润滑筒上，并且两个喷射件分别延伸至两个调节部件中的旋转齿轮和扇形齿轮旁侧，两个所述喷射件均与润滑筒的内部底端相连通，所述补充件安装在u型架的顶部，并且补充件与润滑筒的内部底端相连通。

6、进一步的，每个所述喷射件均包括第一喷管、第一喷嘴、第二喷管和第二喷嘴，所述第一喷管和第二喷管的尾端均与润滑筒的内部底端相连通，所述第一喷管的头端穿过旋转座延伸至旋转齿轮的旁侧，所述第一喷嘴安装在第一喷管的头端，并且第一喷嘴朝向旋转齿轮设置，所述第二喷管的头端穿过支撑架延伸至扇形齿轮的旁侧，所述第二喷嘴安装在第二喷管的头端，并且第二喷嘴朝向扇形齿轮设置，所述第一喷管和第二喷管上均设有第一单向阀。

7、进一步的，所述补充件包括补充罐、补充管和第二单向阀，所述补充罐水平设置在u型架的顶部，所述补充管的两端分别与补充罐的内部底端和润滑筒的内部底端相连通，所述第二单向阀安装在补充管上，所述补充罐的顶部设有与其内部相连通的添加管，所述添加管上设有控制阀。

8、进一步的，所述清理组件包括第一气缸、清理架、清理箱、除尘电机、转盘、扇叶组、凹槽、滑动架、第一电动推杆、除尘架、除尘板、微型电机、清灰部件和两个竖轴，所述第一气缸竖直设置在测试架的顶端，所述清理架安装在第一气缸的输出端上，所述清理箱安装在清理架的底部，所述清理箱的底部设有圆孔，所述清理箱的底部设有若干个绕圆孔等间距设置的排气槽，所述排气槽内设有滤网，所述清理箱的一侧外壁上设有与其内部相连通的通槽，所述除尘电机竖直设置在清理箱的顶部，并且除尘电机的输出轴延伸至清理箱的内部，所述转盘和扇叶组间隔设置在除尘电机的输出轴上，并且转盘位于扇叶组的上方，所述凹槽开设在转盘的底部，所述滑动架的顶端滑动安装在凹槽上，所述第一电动推杆水平设置在转盘的底部，并且第一电动推杆的输出端与滑动架的顶端连接，所述除尘架安装在滑动架的底端，所述除尘板通过两个竖轴转动安装在除尘架内，所述除尘板上对称设置有两组毛刷头，所述微型电机竖直设置在除尘架的底部，并且微型电机的输出轴与其中一个竖轴连接，所述清灰部件安装在清理箱的外壁上。

9、进一步的，所述清灰部件包括底板、吸尘斗、收集箱、风机、第一连接管、第二连接管和两个抖动件，所述底板安装在清理箱的底端外壁上，所述吸尘斗安装在底板的顶部，所述收集箱和风机间隔设置在清理箱的顶部，所述第一连接管的两端分别与风机的输入端和吸尘斗相连通，所述第二连接管的两端分别与风机的输出端和收集箱的内部顶端相连通，两个所述抖动件对称设置在清理箱的底端外壁上。

10、进一步的，每个所述抖动件均包括滑动杆、抖动板、固定块、固定座、第二滚轮、第二弹簧、安装架、驱动电机、第二凸轮和两个滑动套，两个所述滑动套间隔设置在清理箱的底端外壁上，所述滑动杆滑动安装在两个滑动套上，所述抖动板安装在滑动杆的头端，所述固定块安装在滑动杆的尾端，所述固定座安装在固定块的外壁上，所述第二滚轮转动安装在固定座内，所述第二弹簧套设在滑动杆的外部，并且第二弹簧的两端分别与其中一个滑动套和固定块连接，所述安装架设置在清理箱的底端外壁上，所述驱动电机水平设置在安装架的外壁上，所述第二凸轮安装在驱动电机的输出轴上，并且第二凸轮的一端与第二滚轮抵触。

11、进一步的，所述分拣机构包括龙门架、第三丝杆滑台、第二气缸、分拣板和两个存放组件，所述龙门架架设在测试桌的顶部，所述第三丝杆滑台水平设置在龙门架的顶端，所述第二气缸竖直设置在第三丝杆滑台的移动端上，所述分拣板安装在第二气缸的输出端上，所述分拣板的底部设有四个矩形分布的吸盘，两个所述存放组件对称设置在测试桌的顶部。

12、进一步的，每个所述存放组件均包括存放箱、存放板和第二电动推杆，所述存放箱安装在测试桌的顶部，所述存放板滑动安装在存放箱内，所述第二电动推杆竖直设置在测试桌的顶端，并且第二电动推杆的输出端与存放板的底部连接。

13、与现有技术相比，本发明的有益效果是：

14、其一：本发明通过调节电机工作带动主动轮转动，主动轮利用皮带带动从动轮转动，从动轮带动其中一个调节部件中的旋转轴转动，这个旋转轴利用联动轴带动另一个调节部件中的旋转轴同步转动，两个调节部件中的旋转轴带动旋转齿轮转动，旋转齿轮带动第一齿条和第一滑块水平移动，第一滑块利用连接板带动第二滑块和第二齿条同步水平移动，第二齿条利用扇形齿轮带动调节柄实现转动，调节柄最后利用调节轴带动调节盘转动，调节盘带动探头实现转动进行角度调节，未采用连接绳结构来进行角度调节，避免发生连接绳断裂无法对探头进行角度调节的情况，不会影响探头的测试工作，在联动轴转动的同时带动第一凸轮转动，第一凸轮转动带动润滑部件工作，润滑部件工作对两个调节部件中的旋转齿轮和扇形齿轮进行润滑，确保探头进行角度调节时，两个调节部件中的旋转齿轮、扇形齿轮、第一齿条和第二齿条之间能够有润滑油充分润滑确保正常工作。

15、其二：本发明通过第一气缸工作带动清理架向下移动，清理架带动清理箱向下移动，位于翻转板上方的这个测试组件中的探头经过圆孔进入至清理箱的内部，然后第一电动推杆工作带动滑动架在凹槽上水平滑动，滑动架带动除尘架和除尘板同步移动，除尘板带动靠近探头的这组毛刷头移动至与探头表面接触，接着除尘电机工作带动转盘和扇叶组转动，扇叶组转动吹动探头表面的灰尘等杂质落入至清理箱的内部底端，转盘带动靠近探头的这组毛刷头转动对探头表面的灰尘等杂质进行刷除清理，无需手工定期对探头进行清理，十分便捷。

16、其三：本发明当活塞远离润滑筒内部底端进行移动时，活塞将补充罐内的润滑油经过补充管流入至润滑筒内，实现对润滑筒的补充润滑油的目的，第二单向阀确保补充管内的液体只能单向流向润滑筒，在补充件位于翻转板下方工作状态下，控制阀控制添加管的内部与补充罐的内部处于连通状态，防止补充罐内处于密闭状态无法让活塞抽取补充罐内的润滑油，同时也方便人工利用添加管向补充罐内添加新的润滑油，在补充件位于翻转板上方时，控制阀控制添加管的内部与补充罐的内部处于不连通状态，防止补充罐内的润滑油经过添加管流出。

17、其四：本发明驱动电机工作带动第二凸轮转动，第二凸轮利用第二滚轮带动滑动杆在两个滑动套上往复水平滑动一定距离，滑动杆带动抖动板往复水平移动一定距离，在抖动板往复移动的过程中实现对毛刷头的往复撞击接触，毛刷头实现抖动，毛刷头上粘附的灰尘等杂质随着抖动落入至吸尘斗中。