基板处理装置的制作方法

技术特征：

1.一种基板处理装置，其连续进行一并处理多张基板的分批处理和逐张处理基板的单片处理，其特征在于，

2.根据权利要求1所述的基板处理装置，其特征在于，

3.根据权利要求1所述的基板处理装置，其特征在于，

4.根据权利要求1所述的基板处理装置，其特征在于，

5.根据权利要求1所述的基板处理装置，其特征在于，

6.根据权利要求1所述的基板处理装置，其特征在于，

7.根据权利要求1所述的基板处理装置，其特征在于，

8.根据权利要求1所述的基板处理装置，其特征在于，

9.根据权利要求1所述的基板处理装置，其特征在于，

10.根据权利要求1所述的基板处理装置，其特征在于，

11.根据权利要求1所述的基板处理装置，其特征在于，

技术总结
本发明通过重新审视具备分批式模块和单片式模块的装置的结构，提供一种一边可靠地搬送基板一边抑制了制造成本的基板处理装置。本发明着注目于基板处理装置(1)中的特别是取出成为铅垂姿势的基板(W)的排列中的一张基板(W)，使基板(W)的姿势成为水平姿势，并将基板(W)搬送到设于单片基板搬送区域(R3)的附近的预定位置的过程。本发明通过单独执行取出基板的过程和变更基板(W)的姿势的过程，使基板拾取部(80)的结构简单化，能够降低使基板拾取部(80)动作时产生的位置上的误差。

技术研发人员：伊豆田崇
受保护的技术使用者：株式会社斯库林集团
技术研发日：
技术公布日：2024/3/24