退火设备以及退火方法与流程

本申请涉及退火，特别是涉及一种退火设备以及退火方法。

背景技术：

1、在相关技术中，退火常用的技术为氙灯闪光快速退火技术。

2、然而，氙灯闪光快速退火技术对待退火材料进行整体的光照，使得待退火材料的热积累较大，瞬间高温对整个待退火材料产生的应力较大，使得待退火材料容易受到损伤、变形。

技术实现思路

1、本申请实施例提供一种退火设备以及退火方法，能够减少在退火过程中对待退火部件的热积累，降低退火部件的瞬时加热面积，减小对待退火部件产生的应力，避免待退火部件的损伤，防止待退火部件的变形。

2、第一方面，本申请提供一种退火设备，退火设备包括：运输装置，包括沿第一方向延伸的承载部，承载部能够沿第一方向移动，承载部具有承载区，承载区被配置为放置待退火部件；加热装置，设置于运输装置在第二方向的一侧，第二方向与第一方向相交，加热装置能够辐射光斑至承载区。

3、在一些实施例中，承载区包括多个沿第一方向并排设置的运输工位，每个运输工位用于放置待退火部件，沿第一方向，光斑的宽度尺寸小于每个运输工位的宽度尺寸。

4、在一些实施例中，加热装置包括加热基座以及加热灯条，加热灯条设置于加热基座并与加热基座电接触，沿第一方向，加热灯条的宽度尺寸小于承载区的宽度尺寸。

5、在一些实施例中，退火设备还包括预热装置，预热装置设置于运输装置在第二方向的一侧，预热装置位于加热装置的上游，预热装置被配置为对待退火部件预热。

6、在一些实施例中，退火设备还包括降温装置，降温装置设置于运输装置在第二方向的一侧，降温装置位于加热装置的下游，降温装置被配置为对待退火部件冷却。

7、第二方面，本申请提供一种退火方法，包括：提供退火设备，退火设备包括加热装置、运输装置，运输装置包括沿第一方向延伸的承载部，承载部能够沿第一方向移动，承载部具有承载区，承载区被配置为放置待退火部件，加热装置能够辐射光斑至承载区；将多个待退火部件沿第一方向依次安装至承载区；启动加热装置；控制运输装置以第一速度运行，以使得光斑依次辐射至待退火部件。

8、在一些实施例中，启动加热装置的步骤之前，还包括：根据待退火部件的工艺要求获取待退火部件的加热时间；根据加热时间选择加热装置，加热装置的光斑沿第一方向的宽度尺寸适配于加热时间；根据加热时间、宽度尺寸获取运输装置的第一速度。

9、在一些实施例中，加热装置包括加热基座以及加热灯条，加热灯条的数量为一个以上，根据加热时间选择加热装置的步骤包括：根据宽度尺寸在一个以上加热灯条中选择相适配的加热灯条，并将加热灯条与加热基座连接。

10、在一些实施例中，退火设备还包括预热装置，预热装置位于加热装置的上游，预热装置被配置为对待退火部件预热，在启动加热装置的步骤之前，还包括：启动预热装置；将预热装置作用至待退火部件，使得待退火部件温度升温至第一预设温度。

11、在一些实施例中，退火设备还包括降温装置，降温装置位于加热装置的下游，降温装置被配置为对待退火部件冷却，控制运输装置以第一速度运行，以使得光斑依次辐射至待退火部件的步骤之后，还包括：启动降温装置；将降温装置作用至待退火部件，使得待退火部件温度降温至第二预设温度。

12、本申请实施例提供的退火设备，通过运输装置与加热装置的共同组合搭配设置，首先，可以通过更少的加热装置实现对待退火部件的加热，节省了加热装置的数量，节约成本，减少加热装置的瞬时功率。其次，光斑的宽度尺寸小于承载区的宽度尺寸的设置，使得在对待退火部件加热的过程中，对部分待退火部件进行依次加热，使得待退火部件表面的热积累减少，瞬间高温对整个待退火部件产生的应力较小，待退火部件不容易造成损伤、变形，提高待退火部件退火后的质量。此外，通过运输装置与加热装置的共同组合设置，加热装置可以连续处于加热状态，不需要进行开启、关闭等状态的切换，使得对退火设备的控制过程简化，不需要对加热装置进行连续调节。另外，加热装置可以连续处于稳定的加热状态，能够使得各个待退火部件的各个位置得到加热装置的光斑均匀的照射，使得待退火部件的一致性变高，退火效果更均一。

13、本申请实施例提供的退火方法，通过控制所述运输装置以第一速度运行，以使得所述光斑依次辐射至所述待退火部件的步骤，通过运输装置与加热装置的光斑的同时作用实现对待退火部件的加热，并且能够通过对第一速度以及光斑的宽度、功率等实现对于待退火部件的加热，能够实现对待退火部件的精确温度调控，并且能够减少加热装置的数量，节约成本，减少加热装置的瞬时功率。其次，在对待退火部件加热的过程中，对部分待退火部件进行依次加热，使得待退火部件表面的热积累减少，瞬间高温对整个待退火部件产生的应力较小，待退火部件不容易造成损伤、变形，提高待退火部件退火后的质量。

14、上述说明仅是本申请技术方案的概述，为了能够更清楚了解本申请的技术手段，而可依照说明书的内容予以实施，并且为了让本申请的上述和其它目的、特征和优点能够更明显易懂，以下特举本申请的具体实施方式。

技术特征：

1.一种退火设备，其特征在于，所述退火设备包括：

2.根据权利要求1所述的退火设备，其特征在于，所述承载区包括多个沿所述第一方向并排设置的运输工位，每个所述运输工位用于放置待退火部件，沿所述第一方向，所述光斑的宽度尺寸小于每个所述运输工位的宽度尺寸。

3.根据权利要求1所述的退火设备，其特征在于，所述加热装置包括加热基座以及加热灯条，所述加热灯条设置于所述加热基座并与所述加热基座电接触，沿所述第一方向，所述加热灯条的宽度尺寸小于所述承载区的宽度尺寸。

4.根据权利要求1至3任意一项所述的退火设备，其特征在于，所述退火设备还包括预热装置，所述预热装置设置于所述运输装置在所述第二方向的一侧，所述预热装置位于所述加热装置的上游，所述预热装置被配置为对所述待退火部件预热。

5.根据权利要求1至3任意一项所述的退火设备，其特征在于，所述退火设备还包括降温装置，所述降温装置设置于所述运输装置在所述第二方向的一侧，所述降温装置位于所述加热装置的下游，所述降温装置被配置为对所述待退火部件冷却。

6.一种退火方法，其特征在于，包括：

7.根据权利要求6所述的退火方法，其特征在于，启动所述加热装置的步骤之前，还包括：

8.根据权利要求7所述的退火方法，其特征在于，所述加热装置包括加热基座以及加热灯条，所述加热灯条的数量为一个以上，

9.根据权利要求6所述的退火方法，其特征在于，所述退火设备还包括预热装置，所述预热装置位于所述加热装置的上游，所述预热装置被配置为对所述待退火部件预热，在所述启动所述加热装置的步骤之前，还包括：

10.根据权利要求6所述的退火方法，其特征在于，所述退火设备还包括降温装置，所述降温装置位于所述加热装置的下游，所述降温装置被配置为对所述待退火部件冷却，所述控制所述运输装置以第一速度运行，以使得所述光斑依次辐射至所述待退火部件的步骤之后，还包括：

技术总结
本申请涉及一种退火设备以及退火方法，退火设备包括：运输装置，包括沿第一方向延伸的承载部，承载部能够沿第一方向移动，承载部具有承载区，承载区被配置为放置待退火部件；加热装置，设置于运输装置在第二方向的一侧，第二方向与第一方向相交，加热装置能够辐射光斑至承载区。本申请提供的退火设备，能够减少在退火过程中对待退火部件的热积累，降低瞬间产生的温度，减小对待退火部件产生的应力，避免待退火部件的损伤，防止待退火部件的变形，也能够对待退火部件光照强度保持均匀，进一步使得待退火部件退火效果更加均匀，减少退火设备的操作繁琐性，提高退火效率。

技术研发人员：童富
受保护的技术使用者：苏州华太电子技术股份有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/15