一种多尺寸晶片传输检测装置的制作方法

本发明涉及晶片检测相关领域，具体是一种多尺寸晶片传输检测装置。

背景技术：

1、晶片传输系统是半导体专用设备中的重要组成部分，晶片传输系统负责将晶片在不同工艺模块之间快速、高效、可靠的传输，晶片在不同腔室之间往复传递，需要通过机械手将晶片按既定轨迹托送至不同工位，为此，设置一种多尺寸晶片传输检测装置。

2、现有一种多尺寸晶片传输检测装置在使用时，较难改变晶片盒放置位置，导致晶片盒位置固定，且在传输晶片盒的过程中较难达到同时放置两种尺寸晶片盒的能力，使用较为单一；现有一种多尺寸晶片传输检测装置在对晶片盒进行检测时，较难改变检测晶片盒传感器位置，进而导致放置在远处的晶片盒较难进行检测；

3、且部分设备在调节传感器位置时，较难对晶片盒放置位置进行检测，进而可能导致传感器在调节过程中存在误差；现有一种多尺寸晶片传输检测装置在使用时，较难调整传输手臂接、送晶片位置，且晶片大小不一、较难对两种尺寸晶片进行传输。

技术实现思路

1、因此，为了解决上述不足，本发明在此提供一种多尺寸晶片传输检测装置。

2、本发明是这样实现的，构造一种多尺寸晶片传输检测装置，该装置包括安装台，所述安装台顶部中心处滑动连接有输送机构，所述输送机构顶部后端固定连接有调节机构，所述安装台顶部右端固定连接有传输机构；

3、所述输送机构包括第一气缸，所述安装台顶部后端固定连接有第一气缸；移动板，所述第一气缸前端推动杆固定连接有移动板，且移动板与安装台顶部中心处滑动连接；第一传动件，所述移动板底部固定连接有第一传动件；第一滑动块，所述第一传动件顶部固定连接有第一滑动块，且第一滑动块与移动板顶部滑动连接；夹持移动块，所述第一滑动块底部左右两端均通过转动杆转动连接有夹持移动块，且夹持移动块与移动板顶部滑动连接；安装板，所述夹持移动块顶部固定连接有安装板；夹持件，所述安装板右端固定连接有夹持件；工字块，所述安装台顶部通过连接杆固定连接有工字块。

4、优选的，所述调节机构包括第一安装架，所述工字块顶部后端固定连接有第一安装架；第二传动件，所述第一安装架顶部横板的底部固定连接有第二传动件；连接架，所述第二传动件底部固定连接有连接架；第一电机，所述连接架左右两端均固定连接有第一电机；凸轮，所述第一电机右端输出轴通过连接杆固定连接有凸轮，且凸轮上设有弧形滑槽；第二滑动块，所述第二滑动块左右两端均通过滑动块与凸轮上弧形滑槽滑动连接；其中，所述凸轮设有两组，且两组凸轮呈相对设置。

5、优选的，所述调节机构还包括限位杆，所述连接架底部中心处固定连接有便于对第二滑动块起到限位作用的第二滑动块；检测机构，所述第二滑动块底部通过连接杆固定连接有检测机构。

6、优选的，所述检测机构包括安装箱，所述第二滑动块底部通过连接杆固定连接有安装箱；第二电机，所述安装箱顶部右端固定连接有第二电机；转盘，所述安装箱底部通过连接杆转动连接有转盘；传感器，所述转盘底部左端固定连接有传感器；工业相机，所述转盘底部右端固定连接有工业相机；连杆，所述第二电机底部输出轴固定连接有连杆；转动块，所述连杆顶部转动连接有转动块。

7、优选的，所述检测机构还包括卡块，所述转动块上设有空槽，且该空槽内通过弹簧固定连接有卡块；齿轮，所述转动块底部下方转动连接有齿轮，且卡块与齿轮上齿段卡合；其中，所述齿轮底部通过连接杆固定连接有转盘。

8、优选的，所述传输机构包括第二安装架，所述安装台顶部右端固定连接有第二安装架；第三电机，所述第二安装架顶部横板的顶部通过安装架固定连接有第三电机；第三传动件，所述第三电机底部输出轴固定连接有第三传动件；第二气缸，所述第二安装架顶部横板的顶部通过安装架转动连接有第二气缸；固定板，所述第二气缸底部推动杆固定连接有固定板。

9、优选的，所述传输机构还包括固定块，所述固定板底部后端固定连接有固定块；夹持块，所述固定板底部前端通过电磁块滑动连接有夹持块。

10、优选的，所述第三传动件由两组皮带轮和皮带组成，且第二气缸底部推动杆通过平键与第三传动件左端皮带轮滑动连接。

11、优选的，所述第二传动件由安装座、丝杆、电机和移动块组成，且该移动块底部固定连接有连接架。

12、优选的，所述第一传动件包括电机、齿轮和齿板，且齿板顶部通过连接块与第一滑动块固定连接，所述夹持件包括安装壳、钢柱和阻尼杆组成。

13、本发明具有如下优点：本发明通过改进在此提供一种多尺寸晶片传输检测装置，与同类型设备相比，具有如下改进：

14、本发明所述一种多尺寸晶片传输检测装置，通过设置输送机构，通过第一传动件带动两组夹持件做相向运动，然后通过夹持件上阻尼杆和钢柱的配合对不同尺寸的晶片盒进行夹持，再通过第一气缸带动两种不同尺寸晶片盒进行输送，实现使用多能化。

15、本发明所述一种多尺寸晶片传输检测装置，通过设置调节机构，通过第二传动件实现对检测机构的前后移动，再通过两组凸轮的相对设置带动检测机构的上下移动，从而根据不同晶片盒的放置位置对检测机构进行调节。

16、本发明所述一种多尺寸晶片传输检测装置，通过设置检测机构，通过卡块与齿轮上齿段卡合，使齿轮通过连接杆带动转盘进行一百八十度转动，从而使传感器和工业相机位置进行置换，从而减少检测误差。

17、本发明所述一种多尺寸晶片传输检测装置，通过设置传输机构，通过第二气缸和第三传动件的配合并将晶片放置在晶片盒内，便于对不同晶片大小进行夹持放置。

技术特征：

1.一种多尺寸晶片传输检测装置，包括安装台(1)，所述安装台(1)顶部中心处滑动连接有输送机构(2)，所述输送机构(2)顶部后端固定连接有调节机构(3)，所述安装台(1)顶部右端固定连接有传输机构(4)；

2.根据权利要求1所述一种多尺寸晶片传输检测装置，其特征在于：所述调节机构(3)包括：第一安装架(31)，所述工字块(28)顶部后端固定连接有第一安装架(31)；第二传动件(32)，所述第一安装架(31)顶部横板的底部固定连接有第二传动件(32)；连接架(33)，所述第二传动件(32)底部固定连接有连接架(33)；第一电机(34)，所述连接架(33)左右两端均固定连接有第一电机(34)；凸轮(35)，所述第一电机(34)右端输出轴通过连接杆固定连接有凸轮(35)，且凸轮(35)上设有弧形滑槽；第二滑动块(36)，所述第二滑动块(36)左右两端均通过滑动块与凸轮(35)上弧形滑槽滑动连接；其中，所述凸轮(35)设有两组，且两组凸轮(35)呈相对设置。

3.根据权利要求2所述一种多尺寸晶片传输检测装置，其特征在于：所述调节机构(3)还包括：限位杆(37)，所述连接架(33)底部中心处固定连接有便于对第二滑动块(36)起到限位作用的第二滑动块(36)；检测机构(38)，所述第二滑动块(36)底部通过连接杆固定连接有检测机构(38)。

4.根据权利要求3所述一种多尺寸晶片传输检测装置，其特征在于：所述检测机构(38)包括：安装箱(381)，所述第二滑动块(36)底部通过连接杆固定连接有安装箱(381)；第二电机(382)，所述安装箱(381)顶部右端固定连接有第二电机(382)；转盘(383)，所述安装箱(381)底部通过连接杆转动连接有转盘(383)；传感器(384)，所述转盘(383)底部左端固定连接有传感器(384)；工业相机(385)，所述转盘(383)底部右端固定连接有工业相机(385)；连杆(386)，所述第二电机(382)底部输出轴固定连接有连杆(386)；转动块(387)，所述连杆(386)顶部转动连接有转动块(387)。

5.根据权利要求4所述一种多尺寸晶片传输检测装置，其特征在于：所述检测机构(38)还包括：卡块(388)，所述转动块(387)上设有空槽，且该空槽内通过弹簧固定连接有卡块(388)；齿轮(389)，所述转动块(387)底部下方转动连接有齿轮(389)，且卡块(388)与齿轮(389)上齿段卡合；其中，所述齿轮(389)底部通过连接杆固定连接有转盘(383)。

6.根据权利要求5所述一种多尺寸晶片传输检测装置，其特征在于：所述传输机构(4)包括：第二安装架(41)，所述安装台(1)顶部右端固定连接有第二安装架(41)；第三电机(42)，所述第二安装架(41)顶部横板的顶部通过安装架固定连接有第三电机(42)；第三传动件(43)，所述第三电机(42)底部输出轴固定连接有第三传动件(43)；第二气缸(44)，所述第二安装架(41)顶部横板的顶部通过安装架转动连接有第二气缸(44)；固定板(45)，所述第二气缸(44)底部推动杆固定连接有固定板(45)。

7.根据权利要求6所述一种多尺寸晶片传输检测装置，其特征在于：所述传输机构(4)还包括：固定块(46)，所述固定板(45)底部后端固定连接有固定块(46)；夹持块(47)，所述固定板(45)底部前端通过电磁块滑动连接有夹持块(47)。

8.根据权利要求7所述一种多尺寸晶片传输检测装置，其特征在于：所述第三传动件(43)由两组皮带轮和皮带组成，且第二气缸(44)底部推动杆通过平键与第三传动件(43)左端皮带轮滑动连接。

9.根据权利要求8所述一种多尺寸晶片传输检测装置，其特征在于：所述第二传动件(32)由安装座、丝杆、电机和移动块组成，且该移动块底部固定连接有连接架(33)。

10.根据权利要求9所述一种多尺寸晶片传输检测装置，其特征在于：所述第一传动件(23)包括电机、齿轮和齿板，且齿板顶部通过连接块与第一滑动块(24)固定连接，所述夹持件(27)包括安装壳、钢柱和阻尼杆组成。

技术总结
本发明公开了一种多尺寸晶片传输检测装置，涉及晶片检测相关领域，包括安装台、输送机构、调节机构和传输机构，所述安装台顶部中心处滑动连接有输送机构，所述输送机构顶部后端固定连接有调节机构，所述安装台顶部右端固定连接有传输机构，设置输送机构，通过第一传动件带动两组夹持件做相向运动，然后通过夹持件上阻尼杆和钢柱的配合对不同尺寸的晶片盒进行夹持，再通过第一气缸带动两种不同尺寸晶片盒进行输送，实现使用多能化，设置调节机构，通过第二传动件实现对检测机构的前后移动，再通过两组凸轮的相对设置带动检测机构的上下移动，从而根据不同晶片盒的放置位置对检测机构进行调节。

技术研发人员：程焕鹏,姚舜捷,沈绍海
受保护的技术使用者：上海图双精密装备有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/15