一种可调节的旋转升降设备的制作方法

本发明涉及半导体设备，尤其涉及一种可调节的旋转升降机构。

背景技术：

1、在半导体的加工工艺中，晶圆一般采用机械手抓取转移至各个工艺腔体中进行处理。其中，机械手包括旋转升降机构，目前旋转升降机构还大多数为单轴的调节方式，有的甚至没有调节空间只是靠机械加工和产品材料刚度来保障旋转升降机构的精准度。现有的这种调节方式使旋转升降机构的垂直度和水平度很难得到保障，并且在装配的时候需要靠零部件的加工精度和技术要求来保证我们所需的精度，大大提高了生产加工的成本。另外，如果旋转升降机构的精准度无法调节，旋转升降机构在旋转升降的过程中会存在不同心的风险，导致其在运行的过程中就会存在摩擦产生粉尘(particle)污染，大大减少机构的使用寿命。

技术实现思路

1、本发明的目的在于提供一种可调节的旋转升降设备，实现了对旋转升降设备自身位置的调整，保证了其自身的装配精准度，大大提高了使用寿命。

2、为实现上述目的，第一方面，本发明提供了一种可调节的旋转升降设备，包括升降机构、连接件、调整组件和旋转机构；

3、所述升降机构与所述连接件的第一侧壁连接，所述升降机构用于带动所述连接件升降；

4、所述调整组件设于所述连接件上并与所述旋转机构连接，所述调整组件用于带动所述旋转机构在x轴、y轴和z轴所在的方向进行位置调整。

5、在一些实施例中，所述调整组件包括x轴调整部、y轴调整部和z轴调整部；

6、所述x轴调整部设于所述连接件的第二侧壁，所述y轴调整部设于所述x轴调整部，所述z轴调整部设于所述y轴调整部，所述旋转机构与所述z轴调整部连接；

7、当所述x轴调整部调节时，可带动所述y轴调整部、所述z轴调整部和所述旋转机构在x轴所在的方向进行位置调整；

8、当所述y轴调整部调节时，可带动所述z轴调整部和所述旋转机构在y轴所在的方向进行位置调整；

9、当所述z轴调整部调节时，可带动所述旋转机构在z轴所在的方向进行位置调整。

10、在一些实施例中，所述x轴调整部包括x轴调整器和固定件；

11、所述固定件固定设于所述第二侧壁的底部；

12、所述x轴调整器活动的设于所述固定件，且所述x轴调整器的一端为第一抵接端，所述第一抵接端与所述y轴调整部连接；

13、当所述x轴调整器活动时，所述第一抵接端可带动所述y轴调整部沿x轴方向移动。

14、在一些实施例中，所述y轴调整部包括y轴调整器、活动件和调整件；

15、所述活动件和所述调整件依次设于所述固定件的底部，且所述调整件与所述固定件连接，以夹紧固定所述活动件；

16、所述第一抵接端的部分位于所述活动件和所述调整件之间，并抵接所述活动件和所述调整件；

17、所述y轴调整器活动的设于所述调整件，所述y轴调整器的一端为第二抵接端，所述第二抵接端的部分位于所述固定件和所述活动件之间，并抵接所述活动件和所述调整件；

18、当所述x轴调整器活动时，所述第一抵接端带动所述活动件和所述调整件沿x轴方向移动，当所述y轴调整器活动时，所述第二抵接端抵接所述固定件和所述活动件，以使所述调整件沿y轴方向移动。

19、在一些实施例中，所述固定件上开设有贯穿其表面的第一调节口；

20、所述x轴调整器包括第一转动杆、第一传动块和第一抵接块；其中，

21、所述第一转动杆沿x轴方向延伸并可转动的穿设于所述固定件，且一端延伸至所述第一调节口；

22、所述第一传动块位于所述第一调节口内并与所述第一转动杆的一端螺纹连接；

23、所述第一抵接块位于所述活动件和所述调整件之间，并抵接所述活动件和所述调整件，且所述第一抵接块与所述第一传动块连接；

24、当转动所述第一转动杆时，所述第一传动块移动以带动所述活动件和所述调整件移动。

25、在一些实施例中，所述活动件和所述调整件相对的表面均开设有第一安装槽，以形成第一容纳腔，所述第一抵接块设于所述第一容纳腔内。

26、在一些实施例中，所述调整件上开设有贯穿其表面的第二调节口；

27、所述y轴调整器包括第二转动杆、第二传动块和第二抵接块；其中，

28、所述第二转动杆沿y轴方向延伸并可转动的穿设于所述调整件，且一端延伸至所述第二调节口；

29、所述第二传动块位于所述第二调节口内并与所述第二转动杆的一端螺纹连接；

30、所述第二抵接块位于所述活动件和所述固定件之间，并抵接所述活动件和所述固定件，且所述第二抵接块与所述第二传动块连接；

31、当转动所述第二转动杆时，所述第二传动块带动所述第二抵接块抵接所述活动件和所述固定件，以使所述调整件沿y轴方向移动。

32、在一些实施例中，所述活动件和所述固定件相对的表面均开设有第二安装槽，以形成第二容纳腔，所述第二抵接块设于所述第二容纳腔内。

33、在一些实施例中，所述z轴调整部包括z轴调整器和连接板；

34、所述连接板设于所述调整件的底部与所述调整件连接，且所述z轴调整器设于所述连接板上，用于调节所述连接板与所述调整件之间的间距；

35、所述旋转机构设于所述连接板。

36、在一些实施例中，所述z轴调整器包括若干第一螺栓和若干第二螺栓；

37、所述连接板上开设有第一通孔和第一螺纹孔，所述调整件对应所述第一通孔开设有第二螺纹孔，所述第一螺栓穿过所述第一通孔与所述第二螺纹孔螺纹连接；

38、所述第二螺栓与所述第一螺纹孔螺纹连接，且所述第二螺栓的一端抵接所述调整件。

39、在一些实施例中，所述连接板、所述调整件、所述活动件、所述固定件、所述第二侧壁均同轴设置有第二通孔；

40、所述旋转机构包括旋转轴，所述旋转轴依次穿设于所述第二通孔，并延伸出所述第二侧壁。

41、在一些实施例中，还包括连接架，所述连接架包括相邻且垂直设置的第一连接板和第二连接板；

42、所述升降机构设于所述第一连接板且靠近所述第二连接板的一侧；

43、所述第二连接板上开设有第三通孔，所述旋转轴延伸出所述第三通孔。

44、在一些实施例中，还包括具有弹性的防护套；

45、所述防护套位于所述第二连接板和所述第二侧壁之间套设于所述旋转轴。

46、本发明提供的一种可调节的旋转升降设备的有益效果如下：

47、1、通过设置x轴调整部、y轴调整部和z轴调整部，实现对旋转机构在x轴、y轴和z轴所在的方向进行位置调整，从而提高了旋转升降设备装配的精准度，保证了旋转升降设备与外部设备连接的同心度，大大提高了旋转升降设备的使用寿命。

48、2、结构简单，体积较小。

技术特征：

1.一种可调节的旋转升降设备，其特征在于，包括升降机构、连接件、调整组件和旋转机构；

2.根据权利要求1所述的可调节的旋转升降设备，其特征在于，所述调整组件包括x轴调整部、y轴调整部和z轴调整部；

3.根据权利要求2所述的可调节的旋转升降设备，其特征在于，所述x轴调整部包括x轴调整器和固定件；

4.根据权利要求3所述的可调节的旋转升降设备，其特征在于，所述y轴调整部包括y轴调整器、活动件和调整件；

5.根据权利要求4所述的可调节的旋转升降设备，其特征在于，所述固定件上开设有贯穿其表面的第一调节口；

6.根据权利要求5所述的可调节的旋转升降设备，其特征在于，所述活动件和所述调整件相对的表面均开设有第一安装槽，以形成第一容纳腔，所述第一抵接块设于所述第一容纳腔内。

7.根据权利要求4所述的可调节的旋转升降设备，其特征在于，所述调整件上开设有贯穿其表面的第二调节口；

8.根据权利要求7所述的可调节的旋转升降设备，其特征在于，所述活动件和所述固定件相对的表面均开设有第二安装槽，以形成第二容纳腔，所述第二抵接块设于所述第二容纳腔内。

9.根据权利要求4至8任一项所述的可调节的旋转升降设备，其特征在于，所述z轴调整部包括z轴调整器和连接板；

10.根据权利要求9所述的可调节的旋转升降设备，其特征在于，所述z轴调整器包括若干第一螺栓和若干第二螺栓；

11.根据权利要求9所述的可调节的旋转升降设备，其特征在于，所述连接板、所述调整件、所述活动件、所述固定件、所述第二侧壁均同轴设置有第二通孔；

12.根据权利要求11所述的可调节的旋转升降设备，其特征在于，还包括连接架，所述连接架包括相邻且垂直设置的第一连接板和第二连接板；

13.根据权利要求12所述的可调节的旋转升降设备，其特征在于，还包括具有弹性的防护套；

技术总结
本发明提供了一种可调节的旋转升降机构，包括升降机构、连接件、调整组件和旋转机构；所述升降机构与所述连接件的第一侧壁连接，所述升降机构用于带动所述连接件升降；所述调整组件设于所述连接件上并与所述旋转机构连接，所述调整组件用于带动所述旋转机构在X轴、Y轴和Z轴所在的方向进行位置调整。本发明提供的可调节的旋转升降机构通过设置X轴调整部、Y轴调整部和Z轴调整部，实现对旋转机构在X轴、Y轴和Z轴所在的方向进行位置调整，从而提高了旋转升降设备装配的精准度，保证了旋转升降设备与外部设备连接的同心度，大大提高了旋转升降设备的使用寿命。

技术研发人员：吴威威,吴跃,王祥
受保护的技术使用者：宸微设备科技（苏州）有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/3/5