飞秒激光器光栅对压缩器可调爬高模块的制作方法

本发明涉及压缩器，特别是涉及一种飞秒激光器光栅对压缩器可调爬高模块。

背景技术：

1、飞秒激光器是一种能够产生飞秒级别的超短脉冲的激光器。与传统的纳秒激光器相比，飞秒激光器具有更短的脉冲宽度和更高的光学能量密度。光栅压缩器是一种用于飞秒激光器脉冲压缩的关键元件。为实现将大于100mj(毫焦)，100hz的激光脉冲压缩至飞秒级，需要保证光栅对压缩器的光栅对之间的间距大于2米。考虑到一般反射镜的单边余量一般不超过2毫米，若实现光栅对之间的间距大于2米，需要求光栅对压缩器的爬高模块(用于调高或调低光栅对之间平行光高度的结构)的镜架上反射镜出入光的平行度必须小于1微米，因此镜架上用于分别固定两面反射镜的两个定位面的垂直度要求极高，加工难度较大，成本较高。

技术实现思路

1、基于此，有必要针对上述技术问题，提供一种可减小加工难度、降低成本的飞秒激光器光栅对压缩器可调爬高模块。

2、本发明提供的一种飞秒激光器光栅对压缩器可调爬高模块，包括：

3、第一镜架，具有用于固定反射镜的第一定位面；

4、第二镜架，安装在所述第一镜架上，具有用于固定另一反射镜的第二定位面，所述第二定位面垂直于所述第一定位面；

5、连接组件，用于连接第一镜架与第二镜架，并调整所述第一镜架的第一定位面与第二镜架的第二定位面之间的垂直度。

6、在其中一个实施例中，所述连接组件包括多个连接件与多个调节件，所述连接件用于将所述第二镜架连接并稳定在所述第一镜架上，所述调节件用于调整所述第二镜架相对所述第一镜架的间距和/或角度，以调整所述第二定位面与第一定位面之间的垂直度。

7、在其中一个实施例中，所述连接件包括塞打螺钉与弹性件，所述第二镜架具有通孔，所述第一镜架具有与所述通孔对应的螺孔，所述弹性件套设于所述塞打螺钉上，所述塞打螺钉穿过所述通孔固定在所述螺孔上，且所述弹性件压设于所述第二镜架上。

8、在其中一个实施例中，所述调节件包括螺纹杆与螺母件，所述螺母件旋拧在所述螺纹杆上，所述螺母件的一端具有凸缘部，所述第二镜架具有调节孔，所述调节孔相对所述第一镜架的一侧具有沉台部，所述螺母件的表面与所述调节孔间隙配合且所述凸缘部收纳在所述沉台部，所述螺纹杆相对所述第一镜架的一端抵靠在所述第一镜架上。

9、在其中一个实施例中，所述螺纹杆相对所述第一镜架的一端具有球状部，所述第一镜架与所述球状部相对处具有球形槽，所述球状部抵靠在所述球形槽内。

10、在其中一个实施例中，所述螺纹杆背向所述球状部的一端具有内六角槽，且端部外径小于所述螺母件内径。

11、在其中一个实施例中，所述凸缘部的顶端具有凸起，所述沉台部的侧壁设置有用于收纳所述凸起的凹槽。

12、在其中一个实施例中，所述沉台部的侧壁设置多个沿调节孔轴向深度不同的所述凹槽。

13、在其中一个实施例中，所述凹槽的尺寸大于所述凸起的尺寸，所述螺母件与所述调节孔间隙配合部分的表面具有多个刻度线，且带有刻度线的部分延伸至调节孔的外侧。

14、在其中一个实施例中，所述第一镜架具有第一收纳槽，所述第一收纳槽的底部为所述第一定位面，所述第二镜架具有与所述第一收纳槽相对的第二收纳槽，所述第二收纳槽的底部为所述第二定位面。

15、上述飞秒激光器光栅对压缩器可调爬高模块，通过分别加工第一镜架与第二镜架，使第一镜架的第一定位面与第二镜架的第二定位面垂直，该垂直的垂直度精度要求较低，加工难度较小，加工完成的第一镜架与第二镜架通过连接组件连接后，通过连接组件调整第一定位面与第二定位面之间的垂直度精度，以使固定反射镜后的镜面的出入光的平行度满足需求。第一镜架与第二镜架的加工难度较小，成本较低，且连接组件的对垂直精度的调整也较简单。

技术特征：

1.一种飞秒激光器光栅对压缩器可调爬高模块，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的飞秒激光器光栅对压缩器可调爬高模块，其特征在于，所述连接组件包括多个连接件与多个调节件，所述连接件用于将所述第二镜架连接并稳定在所述第一镜架上，所述调节件用于调整所述第二镜架相对所述第一镜架的间距和/或角度，以调整所述第二定位面与第一定位面之间的垂直度。

3.根据权利要求2所述的飞秒激光器光栅对压缩器可调爬高模块，其特征在于，所述连接件包括塞打螺钉与弹性件，所述第二镜架具有通孔，所述第一镜架具有与所述通孔对应的螺孔，所述弹性件套设于所述塞打螺钉上，所述塞打螺钉穿过所述通孔固定在所述螺孔上，且所述弹性件压设于所述第二镜架上。

4.根据权利要求2或3所述的飞秒激光器光栅对压缩器可调爬高模块，其特征在于，所述调节件包括螺纹杆与螺母件，所述螺母件旋拧在所述螺纹杆上，所述螺母件的一端具有凸缘部，所述第二镜架具有调节孔，所述调节孔相对所述第一镜架的一侧具有沉台部，所述螺母件的表面与所述调节孔间隙配合且所述凸缘部收纳在所述沉台部，所述螺纹杆相对所述第一镜架的一端抵靠在所述第一镜架上。

5.根据权利要求4所述的飞秒激光器光栅对压缩器可调爬高模块，其特征在于，所述螺纹杆相对所述第一镜架的一端具有球状部，所述第一镜架与所述球状部相对处具有球形槽，所述球状部抵靠在所述球形槽内。

6.根据权利要求5所述的飞秒激光器光栅对压缩器可调爬高模块，其特征在于，所述螺纹杆背向所述球状部的一端具有内六角槽，且端部外径小于所述螺母件内径。

7.根据权利要求4所述的飞秒激光器光栅对压缩器可调爬高模块，其特征在于，所述凸缘部的顶端具有凸起，所述沉台部的侧壁设置有用于收纳所述凸起的凹槽。

8.根据权利要求7所述的飞秒激光器光栅对压缩器可调爬高模块，其特征在于，所述沉台部的侧壁设置多个沿调节孔轴向深度不同的所述凹槽。

9.根据权利要求7所述的飞秒激光器光栅对压缩器可调爬高模块，其特征在于，所述凹槽的尺寸大于所述凸起的尺寸，所述螺母件与所述调节孔间隙配合部分的表面具有多个刻度线，且带有刻度线的部分延伸至调节孔的外侧。

10.根据权利要求1所述的飞秒激光器光栅对压缩器可调爬高模块，其特征在于，所述第一镜架具有第一收纳槽，所述第一收纳槽的底部为所述第一定位面，所述第二镜架具有与所述第一收纳槽相对的第二收纳槽，所述第二收纳槽的底部为所述第二定位面。

技术总结
本发明涉及一种飞秒激光器光栅对压缩器可调爬高模块，包括：第一镜架，具有用于固定反射镜的第一定位面；第二镜架，安装在第一镜架上，具有用于固定另一反射镜的第二定位面，第二定位面垂直于第一定位面；连接组件，用于连接第一镜架与第二镜架，并调整第一镜架的第一定位面与第二镜架的第二定位面之间的垂直度。本发明通过分别加工第一镜架与第二镜架，使第一镜架的第一定位面与第二镜架的第二定位面垂直，该垂直的垂直度精度要求较低，加工难度较小，加工完成的第一镜架与第二镜架通过连接组件连接后，通过连接组件调整第一定位面与第二定位面之间的垂直度精度，以使固定反射镜后的镜面的出入光的平行度满足需求，加工难度较小，成本较低。

技术研发人员：王睿,刘俊,汤丽萍,王汉琛,刘成
受保护的技术使用者：上海镱镭飞秒激光技术有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/3/27