一种硅晶片覆膜机上翻转组件的制作方法

本技术涉及覆膜机，具体而言，涉及一种硅晶片覆膜机上翻转组件。

背景技术：

1、硅晶片又称晶圆片，是由硅锭加工而成的，通过专门的工艺可以在硅晶片上刻蚀出数以百万计的晶体管，被广泛应用于集成电路的制造。硅晶片在生产完成后，还需利用覆膜机对其进行覆膜保护。覆膜机由多个部分组成，其中就包含有上翻转组件，对硅晶片完成取料后进行翻转，现有技术中，部分厂家通过人工手动操作进行翻转，容易对硅晶片表面造成损伤，并且效率低下，影响整个加工流程的速度。

2、例如：中国实用新型专利：202120462031.4，所公开的“一种硅片翻转机构”，其说明书公开：现有的硅片呈圆盘状，加工后需要对其表面进行镀层操作，直接手动操作很容易对硅片的表面造成划痕，影响硅片的正常使用，现有的硅片翻转机构，不能将硅片进行快速稳定的翻转，使得机构的使用效果较差。上述专利可以佐证现有技术存在的缺陷。

3、因此我们对此做出改进，提出一种硅晶片覆膜机上翻转组件。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于：针对目前存在的人工手动操作进行翻转，容易对硅晶片表面造成损伤，并且效率低下，影响整个加工流程速度的问题。

2、为了实现上述发明目的，本实用新型提供了以下技术方案：

3、硅晶片覆膜机上翻转组件，以改善上述问题。

4、本申请具体是这样的：

5、移动组件，所述移动组件包括y轴滑台与z轴滑台，所述z轴滑台固定安装于y轴滑台的移动平台上，所述z轴滑台的移动平台上固定连接有安装台，所述安装台远离z轴滑台的一侧固定安装有机壳，所述机壳远离安装台的一侧设置有吸盘组件。

6、作为本实用新型提供的所述的硅晶片覆膜机上翻转组件的一种优选实施方式，所述z轴滑台的基座上固定连接有加强梁。

7、作为本实用新型提供的所述的硅晶片覆膜机上翻转组件的一种优选实施方式，所述吸盘组件包括安装支架，所述安装支架一端且相反的两边侧分别设置有二号电机与吸盘，所述二号电机的输出轴穿过安装支架与吸盘传动连接。

8、作为本实用新型提供的所述的硅晶片覆膜机上翻转组件的一种优选实施方式，所述机壳的外部设置有驱动组件，所述机壳的内部设置有减速组件与传动组件。

9、作为本实用新型提供的所述的硅晶片覆膜机上翻转组件的一种优选实施方式，所述减速组件包括主动轮与从动轮，且主动轮与从动轮均转动安装于机壳的内壁，所述主动轮与从动轮之间通过皮带传动连接，所述主动轮为凸轮。

10、作为本实用新型提供的所述的硅晶片覆膜机上翻转组件的一种优选实施方式，所述驱动组件具体为一号电机，所述一号电机的输出轴穿过机壳与主动轮传动连接。

11、作为本实用新型提供的所述的硅晶片覆膜机上翻转组件的一种优选实施方式，所述传动组件包括传动连接于从动轮后端的一号锥形齿轮，所述一号锥形齿轮的一侧啮合设置有与安装支架固定连接的二号锥形齿轮。

12、作为本实用新型提供的所述的硅晶片覆膜机上翻转组件的一种优选实施方式，所述一号锥形齿轮与二号锥形齿轮均为斜齿锥齿轮。

13、作为本实用新型提供的所述的硅晶片覆膜机上翻转组件的一种优选实施方式，所述机壳的内部设置有张紧组件，所述张紧组件包含有延长杆，所述延长杆的一端固定连接于机壳的内壁，所述延长杆的另一端固定连接有支撑臂，所述支撑臂的上方设置有张紧轮，且张紧轮的皮带槽与皮带接触。

14、作为本实用新型提供的所述的硅晶片覆膜机上翻转组件的一种优选实施方式，所述支撑臂的内部设置有弹簧，所述弹簧的顶端设置有滑块，所述滑块的顶部固定连接有伸缩臂，所述伸缩臂远离滑块的一端穿过支撑臂与张紧轮转动连接。

15、与现有技术相比，本实用新型的有益效果：

16、在本申请的方案中：

17、通过设置的减速组件、驱动组件与传动组件，驱动组件输出扭矩，并通过减速组件与传动组件传递至吸盘组件，使吸盘组件进行翻转运动，自动完成翻转操作，有效提高工作效率，无需人工直接对硅晶片进行操作，避免对硅晶片表面造成损伤；

18、通过设置的减速组件与传动组件，在动力传递过程中，扭矩传递至减速组件，继而由皮带将扭矩传递至传动组件，减速组件结构中的主动轮为凸轮结构，连续等速转动时，通过边缘至轴的距离变化达到传动速度变化的效果，吸盘组件翻转至垂直角度时，翻转速度达到最低，从而提高翻转过程中稳定性最弱阶段的稳定性，解决了翻转组件在翻转过程中缺乏稳定性的问题。

技术特征：

1.一种硅晶片覆膜机上翻转组件，其特征在于，包括移动组件（1），所述移动组件（1）包括y轴滑台（101）与z轴滑台（102），所述z轴滑台（102）固定安装于y轴滑台（101）的移动平台上，所述z轴滑台（102）的移动平台上固定连接有安装台（103），所述安装台（103）远离z轴滑台（102）的一侧固定安装有机壳（2），所述机壳（2）远离安装台（103）的一侧设置有吸盘组件（4）。

2.根据权利要求1所述的一种硅晶片覆膜机上翻转组件，其特征在于，所述z轴滑台（102）的基座上固定连接有加强梁。

3.根据权利要求1所述的一种硅晶片覆膜机上翻转组件，其特征在于，所述吸盘组件（4）包括安装支架（401），所述安装支架（401）一端且相反的两边侧分别设置有二号电机（402）与吸盘（403），所述二号电机（402）的输出轴穿过安装支架（401）与吸盘（403）传动连接。

4.根据权利要求3所述的一种硅晶片覆膜机上翻转组件，其特征在于，所述机壳（2）的外部设置有驱动组件，所述机壳（2）的内部设置有减速组件（3）与传动组件。

5.根据权利要求4所述的一种硅晶片覆膜机上翻转组件，其特征在于，所述减速组件（3）包括主动轮（301）与从动轮（302），且主动轮（301）与从动轮（302）均转动安装于机壳（2）的内壁，所述主动轮（301）与从动轮（302）之间通过皮带（303）传动连接，所述主动轮（301）为凸轮。

6.根据权利要求5所述的一种硅晶片覆膜机上翻转组件，其特征在于，所述驱动组件具体为一号电机（6），所述一号电机（6）的输出轴穿过机壳（2）与主动轮（301）传动连接。

7.根据权利要求6所述的一种硅晶片覆膜机上翻转组件，其特征在于，所述传动组件包括传动连接于从动轮（302）后端的一号锥形齿轮（304），所述一号锥形齿轮（304）的一侧啮合设置有与安装支架（401）固定连接的二号锥形齿轮（305）。

8.根据权利要求7所述的一种硅晶片覆膜机上翻转组件，其特征在于，所述一号锥形齿轮（304）与二号锥形齿轮（305）均为斜齿锥齿轮。

9.根据权利要求8所述的一种硅晶片覆膜机上翻转组件，其特征在于，所述机壳（2）的内部设置有张紧组件（5），所述张紧组件（5）包含有延长杆（501），所述延长杆（501）的一端固定连接于机壳（2）的内壁，所述延长杆（501）的另一端固定连接有支撑臂（502），所述支撑臂（502）的上方设置有张紧轮（503），且张紧轮（503）的皮带槽与皮带（303）接触。

10.根据权利要求9所述的一种硅晶片覆膜机上翻转组件，其特征在于，所述支撑臂（502）的内部设置有弹簧（506），所述弹簧（506）的顶端设置有滑块（505），所述滑块（505）的顶部固定连接有伸缩臂（504），所述伸缩臂（504）远离滑块（505）的一端穿过支撑臂（502）与张紧轮（503）转动连接。

技术总结
本申请提供了一种硅晶片覆膜机上翻转组件，包括移动组件，移动组件包括Y轴滑台与Z轴滑台，Z轴滑台固定安装于Y轴滑台的移动平台上，Z轴滑台的移动平台上固定连接有安装台，安装台远离Z轴滑台的一侧固定安装有机壳，机壳远离安装台的一侧设置有吸盘组件。通过设置的减速组件、驱动组件与传动组件，驱动组件输出扭矩，并通过减速组件与传动组件传递至吸盘组件，使吸盘组件进行翻转运动，自动完成翻转操作，有效提高工作效率，无需人工直接对硅晶片进行操作，避免对硅晶片表面造成损伤。

技术研发人员：刘勇,袁凡
受保护的技术使用者：深圳市利和兴股份有限公司
技术研发日：20230414
技术公布日：2024/1/15