舟结构的制作方法

本技术涉及半导体加工设备，尤其涉及一种舟结构。

背景技术：

1、半导体或光伏材料的加工，通常是将片状材料送入炉中在一定温度和压力并通入工艺气体源的条件下进行反应来实现，在对半导体或者光伏材料加工的过程中，通常采用一些装置来装载或移动待加工的、加工中的或者加工后的材料，行业内通常把这种装载或者移动的装置称为石英小舟、石墨舟、小舟或者花篮。

2、在现有光伏的设备中，小舟的结构如下图1-图2所示，小舟包括两个端板1和连接于两个端板1之间的多个槽棒2，槽棒2上设有凹槽21，在工作过程中，硅片3需要插入凹槽21中，即现有的小舟通过凹槽21来承放硅片3。

3、半导体及泛半导体行业的硅片3加工通常在热场内会通入工艺气体，小舟的原材料通常为石英碳化硅等耐高温耐腐蚀的材料。硅片3承载于槽棒2的凹槽21内，硅片3四周边与凹槽21侧壁接触处通常会产生气流印、舟齿印等问题，给硅片3镀膜带来影响，并且凹槽21的中部位置的气流以及热流流通不充分，导致镀膜均匀性较差。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提出一种舟结构，该舟结构能够较好地改善工艺进行过程中在片材上产生气流印和舟齿印的缺陷，从而提升片材的制造良率。

2、为实现上述技术效果，本实用新型的技术方案如下：

3、本实用新型公开了一种舟结构，包括：端板，所述端板为两个，且两个所述端板间隔设置；槽棒，所述槽棒为多个，每个所述槽棒的两端分别与两个所述端板相连，每个所述槽棒上设有多个沿其长度方向间隔设置的齿槽，所述齿槽用于容纳片材，每个所述槽棒上还设有沿其长度方向贯穿多个所述齿槽的流通槽。

4、在一些实施例中，在槽底朝向槽口的方向上，所述流通槽的宽度逐渐增大。

5、在一些实施例中，所述流通槽的中线与所述齿槽的中线重合设置。

6、在一些实施例中，所述齿槽为弧形槽。

7、在一些实施例中，所述齿槽的底壁上设有沿所述槽棒径向延伸的凹槽。

8、在一些实施例中，所述槽棒上设有多个一体成型的舟齿，多个所述舟齿沿所述槽棒的高度方向间隔设置，两个所述舟齿之间限定出所述齿槽，所述流通槽贯穿所述舟齿设置。

9、在一些具体的实施例中，所述舟齿与所述槽棒的连接处设有倒角。

10、在一些实施例中，两个所述端板分别为顶板和底板，所述底板上设有避空槽，多个所述槽棒环绕所述避空槽设置。

11、在一些实施例中，所述舟结构还包括把手件，所述把手件连接于所述端板或者所述槽棒。

12、在一些具体的实施例中，所述把手件包括连接部和把手部，所述连接部的两端分别与两个所述槽棒相连，所述把手部连接于所述连接部的中部位置；或者：所述把手件包括凸起部，所述凸起部设在所述端板上。

13、本实用新型的舟结构的有益效果：由于槽棒上设有沿其长度方向贯穿多个齿槽的流通槽，流通槽的存在一方面缩小了齿槽与片材的接触面积，在确保片材能够得到稳定支撑的前提下，使得片材暴露出来的面积更大，有利于改善工艺进行过程中在片材上产生气流印和舟齿印的缺陷，另一方面流通槽能够使得齿槽内的气流以及热流流通较为充分，能够进一步地改善工艺进行过程中在片材上产生气流印和舟齿印的缺陷，工艺进行过程中片材四周边的扩散或者镀膜更加的均匀，从而提升产品质量及良品率。

14、本实用新型的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本实用新型的实践了解到。

技术特征：

1.舟结构，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的舟结构，其特征在于，在槽底朝向槽口的方向上，所述流通槽(220)的宽度逐渐增大。

3.根据权利要求1所述的舟结构，其特征在于，所述流通槽(220)的中线与所述齿槽(210)的中线重合设置。

4.根据权利要求1-3中任一项所述的舟结构，其特征在于，所述齿槽(210)为弧形槽。

5.根据权利要求1-3中任一项所述的舟结构，其特征在于，所述齿槽(210)的底壁上设有沿所述槽棒(200)径向延伸的凹槽(211)。

6.根据权利要求1-3中任一项所述的舟结构，其特征在于，所述槽棒(200)上设有多个一体成型的舟齿(230)，多个所述舟齿(230)沿所述槽棒(200)的高度方向间隔设置，两个所述舟齿(230)之间限定出所述齿槽(210)，所述流通槽(220)贯穿所述舟齿(230)设置。

7.根据权利要求6所述的舟结构，其特征在于，所述舟齿(230)与所述槽棒(200)的连接处设有倒角(240)。

8.根据权利要求1-3中任一项所述的舟结构，其特征在于，两个所述端板(100)分别为顶板(110)和底板(120)，所述底板(120)上设有避空槽(121)，多个所述槽棒(200)环绕所述避空槽(121)设置。

9.根据权利要求1-3中任一项所述的舟结构，其特征在于，所述舟结构还包括把手件(300)，所述把手件(300)连接于所述端板(100)或者所述槽棒(200)。

10.根据权利要求9所述的舟结构，其特征在于，所述把手件(300)包括连接部(310)和把手部(320)，所述连接部(310)的两端分别与两个所述槽棒(200)相连，所述把手部(320)连接于所述连接部(310)的中部位置；或者：

技术总结
本技术公开了一种舟结构，该舟结构包括端板和槽棒，端板为两个，且两个端板间隔设置。槽棒为多个，每个槽棒的两端分别与两个端板相连，每个槽棒上设有多个沿其长度方向间隔设置的齿槽，齿槽用于容纳片材，每个槽棒上还设有沿其长度方向贯穿多个齿槽的流通槽。由于槽棒上设有沿其长度方向贯穿多个齿槽的流通槽，使得片材暴露出来的面积更大，有利于改善工艺进行过程中在片材上产生气流印和舟齿印的缺陷，另一方面流通槽能够使得齿槽内的气流以及热流流通较为充分，能够进一步地改善工艺进行过程中在片材上产生气流印和舟齿印的缺陷，工艺进行过程中片材四周边的扩散或者镀膜更加的均匀，从而提升产品质量及良品率。

技术研发人员：万林,朱太荣,肖阳,林佳继
受保护的技术使用者：拉普拉斯新能源科技股份有限公司
技术研发日：20230423
技术公布日：2024/1/15