一种伸缩式的石英晶舟结构的制作方法

本技术涉及石英晶舟的，具体涉及一种伸缩式的石英晶舟结构。

背景技术：

1、晶舟是典型的用来储存、运送以及加工晶圆的装置。在通常状况下，晶舟被设计成可以承载多片晶圆的结构，更具体地说，如图1所示，晶舟包括两个基板和至少三根支撑杆，支撑杆相互平行地连接于两个基板之间，且每个支撑杆朝向晶舟中心的一侧均设有多个晶圆放置卡槽，每个晶圆放置卡槽可供放置一片晶圆。

2、晶圆的在处理过程中需要浸泡到特定溶剂中进行去胶，现有的晶舟在载满晶圆的情况下对晶圆去胶时，往往只有靠近外侧的晶圆能够去胶干净，而内侧的晶圆则会存在胶体残留。经分析后发现这是由于晶舟在载满晶圆的情况下，晶圆之间的间距较小，氧离子和有机物发生反应后生成的大量的反应气体占据了有限空间而无法及时被泵抽走，导致后续的氧离子无法和有机物发生化学反应，最终造成晶圆去胶不干净。为解决该问题，目前的一种途径是采用大尺寸的晶舟以增大晶圆的间距，但这种方式下晶舟尺寸过大，不利于进行其他的处理；另一种途径是在一般晶舟上间隔放置晶圆，通过增加晶圆之间的间距提升去胶效果的方案，但这种方式下晶舟每次能够承载的晶圆有限，导致了产量的减少。

技术实现思路

1、本实用新型的目的是提供一种伸缩式的石英晶舟结构，能够调整承载的晶圆的间距，从而解决现有技术中的晶舟在承载晶圆时，若晶圆间距过小则去胶不完全，若晶圆间距过大又会导致晶舟尺寸过大或者影响产量的问题。

2、为解决上述问题，本实用新型提供一种伸缩式的石英晶舟结构，包括两个基板和连接于两个基板之间的多个支撑杆，且支撑杆之间相互平行，所述支撑杆的中部由若干石英筒和若干石英棒间隔排布组成，且所述石英筒和石英棒均同轴线设置，所述石英筒的两端均设有沿轴向的供相邻的石英棒滑动插接的开孔，所述开孔内设有用于防止石英棒脱出的限位部，所述石英筒的外侧壁设有用于供晶圆定位的卡槽。

3、上述方案通过对支撑杆的结构进行设计，使得支撑杆的中部由若干石英筒和若干石英棒间隔排布组成，同时将供晶圆定位的卡槽设置在石英筒的外侧壁，从而当需要进行去胶时，只需将支撑杆的端部向外拉动，使得石英棒从相应的开孔伸出，此时晶圆之间的间距即可增大，保证去胶干净；当去胶完成后，只需将支撑杆的端部向中间推动，使得石英棒缩回相应的开孔，此时晶圆之间的间距缩小，同时支撑杆缩短使得整体的尺寸减小，便于进行后续的其他处理。与现有技术相比，本方案的晶舟结构能够承载相当数量的晶圆，在需要去胶时可以通过拉长支撑杆，增加晶圆间距提升去胶效果，而在其他情况下则可以通过压缩支撑杆减少整体尺寸，以便于运输或其他处理。

4、作为优选的，所述卡槽位于相应的石英筒的外侧壁的中部，从而保证卡槽的分布更为均匀。

5、作为优选的，在石英棒从相应的开孔伸出至极限位置的状态下，相邻的石英筒上的卡槽的间距为8～12mm，在该间距下的晶圆能够获得较好的去胶效果。

6、作为优选的，在石英棒向相应的开孔缩回至极限位置的状态下，相邻的石英筒的相对端相互抵接，从而在其他情况下石英筒能够对石英棒进行遮盖防护。

7、作为优选的，所述限位部为凸起的卡圈且卡圈位于开孔的孔口位置，所述石英棒位于开孔内的端部的侧壁设有凸起的卡环，所述卡圈的内径等于所述石英棒的外径，所述卡环的外径等于所述开孔的内径，从而实现石英棒和石英筒之间的稳定滑动。

技术特征：

1.一种伸缩式的石英晶舟结构，包括两个基板(1)和连接于两个基板(1)之间的多个支撑杆(2)，且支撑杆(2)之间相互平行，其特征在于，所述支撑杆(2)的中部由若干石英筒(3)和若干石英棒(4)间隔排布组成，且所述石英筒(3)和石英棒(4)均同轴线设置，所述石英筒(3)的两端均设有沿轴向的供相邻的石英棒(4)滑动插接的开孔(32)，所述开孔(32)内设有用于防止石英棒(4)脱出的限位部，所述石英筒(3)的外侧壁设有用于供晶圆定位的卡槽(31)。

2.根据权利要求1所述的一种伸缩式的石英晶舟结构，其特征在于，所述卡槽(31)位于相应的石英筒(3)的外侧壁的中部。

3.根据权利要求1或2所述的一种伸缩式的石英晶舟结构，其特征在于，在石英棒(4)从相应的开孔(32)伸出至极限位置的状态下，相邻的石英筒(3)上的卡槽(31)的间距为8～12mm。

4.根据权利要求1或2所述的一种伸缩式的石英晶舟结构，其特征在于，在石英棒(4)向相应的开孔(32)缩回至极限位置的状态下，相邻的石英筒(3)的相对端相互抵接。

5.根据权利要求1所述的一种伸缩式的石英晶舟结构，其特征在于，所述限位部为凸起的卡圈(33)且卡圈(33)位于开孔(32)的孔口位置，所述石英棒(4)位于开孔(32)内的端部的侧壁设有凸起的卡环(41)，所述卡圈(33)的内径等于所述石英棒(4)的外径，所述卡环(41)的外径等于所述开孔(32)的内径。

技术总结
一种伸缩式的石英晶舟结构，包括两个基板和连接于两个基板之间的多个支撑杆，且支撑杆之间相互平行，所述支撑杆的中部由若干石英筒和若干石英棒间隔排布组成，且所述石英筒和石英棒均同轴线设置，所述石英筒的两端均设有沿轴向的供相邻的石英棒滑动插接的开孔，所述开孔内设有用于防止石英棒脱出的限位部，所述石英筒的外侧壁设有用于供晶圆定位的卡槽。与现有技术相比，本方案的晶舟结构能够承载相当数量的晶圆，在需要去胶时可以通过拉长支撑杆，增加晶圆间距提升去胶效果，而在其他情况下则可以通过压缩支撑杆减少整体尺寸，以便于运输或其他处理。

技术研发人员：杨灿,赵建村,虞益挺,李文丽,严宇超
受保护的技术使用者：宁波启朴芯微系统技术有限公司
技术研发日：20230428
技术公布日：2024/1/15