一种pod晶舟传送开盒装置的制作方法

本技术涉及晶舟晶圆，特别是一种pod晶舟传送开盒装置。

背景技术：

1、晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅；高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅；硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆；国内晶圆生产线以8英寸和12英寸为主。

2、目前使用的晶舟传送盒开启装置操作方式较为复杂繁琐，无法实现全自动化操作，而且pod晶舟传送盒不便于更换，更换操作较为浪费时间，需人工判断pod晶舟传送盒是否放置到位，是否放置正确，并且在开盒或者关盒过程中容易把晶圆片碾碎或者其他原因未放置到位，导致晶舟架或者晶舟损坏，有严重的安全风险，为此，发明人设计了一款全自动开盒和关盒装置，并且在升降过程中，可以实时监测内部晶圆的状态。

技术实现思路

1、本部分的目的在于概述本实用新型的实施例的一些方面以及简要介绍一些较佳实施例。在本部分以及本技术的说明书摘要和发明名称中可能会做些简化或省略以避免使本部分、说明书摘要和发明名称的目的模糊，而这种简化或省略不能用于限制本实用新型的范围。

2、鉴于上述或现有技术中存在的问题，提出了本实用新型。

3、因此，本实用新型的目的是提供一种pod晶舟传送开盒装置，其能够全自动打开晶舟传送盒，在打开或者关闭传送盒过程中，可以通过扫描识别组件实时监测晶舟内的晶圆状态，防止晶舟传送盒压碎晶圆，并可以快速更换传送盒。

4、为解决上述技术问题，本实用新型提供如下技术方案：一种pod晶舟传送开盒装置，其包括包括第一支撑组件、驱动组件、从动支撑组件、第二支撑组件、限位组件、感压组件、扫描识别组件以及固定组件；

5、第一支撑组件对驱动组件和第二支撑组件进行支撑，驱动组件对从动支撑组件进行驱动；

6、第二支撑组件包括外支撑件和内支撑件，外支撑件对内支撑件进行支撑，外支撑件可对关盒状态下的从动支撑组件进行支撑；

7、内支撑件上设置有限位组件，从动支撑组件上设置有扫描识别组件，从动支撑组件上设置有固定组件，固定组件对从动支撑组件进行固定。

8、作为本实用新型pod晶舟传送开盒装置的一种优选方案，其中：驱动组件包括电机、联轴器、连接杆；

9、电机竖向固定在第一支撑组件侧面，电机和连接杆之间通过联轴器连接，联轴器设置在电机上侧的输出端。

10、作为本实用新型pod晶舟传送开盒装置的一种优选方案，其中：从动支撑组件包括滑板、升降架、升降架板、晶舟传送盒、滑块；

11、滑板一侧与滑块固定连接，滑板另一侧与连接杆固定连接，滑块与第一支撑组件竖向滑动连接，升降架与滑板连接，升降架的上端面固定连接有升降架板，升降架板的上端面设置有晶舟传送盒。

12、作为本实用新型pod晶舟传送开盒装置的一种优选方案，其中：外支撑件包括外支撑架、支撑底板；

13、外支撑架与第一支撑组件固定连接，设置于外支撑架上的支撑底板，外支撑架与支撑底板为固定连接。

14、作为本实用新型pod晶舟传送开盒装置的一种优选方案，其中：内支撑件包括内支撑架、晶舟支撑板、晶舟架；

15、内支撑架设置在支撑底板的上端面，内支撑架的上端面连接有晶舟支撑板，晶舟支撑板的上方设置有晶舟架。

16、作为本实用新型pod晶舟传送开盒装置的一种优选方案，其中：感压组件包括设置于晶舟支撑板上的压力传感器和光源感应传感器，压力传感器和光源感应传感器用于判断晶舟传送盒是否放置正确、是否放置到位。

17、作为本实用新型pod晶舟传送开盒装置的一种优选方案，其中：固定组件包括固定电机、压片、压片腔室；

18、固定电机竖向固定在升降架板的下端面，压片腔室内开设有容纳压片的空腔，升降架板上和压片腔室内开设有圆孔，固定电机的伸出端穿过圆孔与压片连接。

19、作为本实用新型pod晶舟传送开盒装置的一种优选方案，其中：晶舟传送盒上设置有台阶，便于压片固定台阶，从而使晶舟传送盒在升降过程中不会发生移动。

20、作为本实用新型pod晶舟传送开盒装置的一种优选方案，其中：还包括设置在升降架板上端面的导向组件；

21、导向组件包括导向块、导向斜坡；

22、导向块与升降架板的上端面固定连接，导向块的上端面设置有导向斜坡，可以使晶舟传送盒快速正确放置到指定位置。

23、作为本实用新型pod晶舟传送开盒装置的一种优选方案，其中：导向块设置为四组，导向块设置在晶舟传送盒四边棱角交汇处。

24、作为本实用新型pod晶舟传送开盒装置的一种优选方案，其中：升降架板的上端面开设有第二槽口，第二槽口内容纳晶舟支撑板。

25、作为本实用新型pod晶舟传送开盒装置的一种优选方案，其中：外支撑件中间为空腔，上端开设有第一槽口，第一槽口内容纳升降架板。

26、作为本实用新型pod晶舟传送开盒装置的一种优选方案，其中：升降架设置在支撑底板的上方。

27、作为本实用新型pod晶舟传送开盒装置的一种优选方案，其中：限位组件包括旋转气缸、销轴；

28、旋转气缸与晶舟支撑板下端面连接，晶舟支撑板内部设置有销轴，销轴与旋转气缸连接，旋转气缸可带动销轴做横向伸缩运动，晶舟传送盒内侧设置有销轴槽，销轴伸出可插进晶舟传送盒上的销轴槽，从而防止误操作导致晶舟传送盒移动。

29、作为本实用新型pod晶舟传送开盒装置的一种优选方案，其中：扫描识别组件包括保护盒识别传感器、晶圆凸片扫描传感器、片盒在位检测传感器、片盒凸出检测传感器以及晶圆扫描传感器；

30、保护盒识别传感器设置在升降架板的上端面，保护盒识别传感器用以扫描晶舟传送盒的id信息；

31、晶圆凸片扫描传感器设置在升降架板的下端面上，晶圆凸片扫描传感器用以扫描晶圆片是否凸出出来；

32、片盒在位检测传感器设置在升降架下方内侧，片盒在位检测传感器用以检测晶舟架是否在特定位置；

33、片盒凸出检测传感器设置在升降架板的下端面上，片盒凸出检测传感器用于检测晶舟架是否发生位移；

34、晶圆扫描传感器设置在升降架板的下端面上，晶圆扫描传感器用于检测晶圆是否在晶舟架上。

35、作为本实用新型pod晶舟传送开盒装置的一种优选方案，其中：保护盒识别传感器设置在升降架板的前端或后端或前后端均设置；晶圆凸片扫描传感器设置为两组，设置在升降架板下端面的前端和后端；片盒在位检测传感器设置为两组，设置在升降架的左端和右端；片盒凸出检测传感器和晶圆扫描传感器均设置为两组，片盒凸出检测传感器在升降架板下端面的左端和右端，晶圆扫描传感器设置升降架板的下端面上的前后两端。

36、作为本实用新型pod晶舟传送开盒装置的一种优选方案，其中：第一支撑组件包括侧支撑架、底侧支撑架、感应门、机器手感应传感器、导轨以及滚轮；

37、侧支撑架的侧面设置有导轨，导轨与滑块进行滑动连接，侧支撑架与外支撑架进行固定连接，底侧支撑架设置在外支撑架的下方并与侧支撑架连接，侧支撑架上设置有感应门，感应门设置在晶舟架的侧方，感应门底侧设置有机器手感应传感器，底侧支撑架下方连接有滚轮。

38、本实用新型的pod晶舟传送开盒装置的有益效果：本实用新型通过驱动组件可以带动从动支撑组件上的晶舟传送盒进行上下运动，带动晶舟传送盒打开或者关闭，在打开或者上升过程中，可以对晶舟架上的晶圆进行各种数据分析，打开晶舟传送盒后，机器手臂可以夹取晶舟架上的晶圆。

39、本实用新型还提供一种晶圆扫描运算方法，其包含一种pod晶舟传送开盒装置，以及，本方法能够提供一种对晶舟内的晶圆进行扫描运算，监测具体的状态，并实时传送到控制中心。

40、作为本实用新型晶圆扫描运算方法的一种优选方案，其中：打开晶舟传送盒步骤

41、s1:中央控制系统控制旋转气缸旋转销轴从而打开晶舟传送盒的限位；

42、s2:接着中央控制系统控制电机驱动连接杆带动滑板上的滑块沿着导轨上升，滑板带动升降架，升降架带动升降架板上升，保护盒液随之上升；

43、s3:在上升过程中，晶圆扫描传感器会陆续扫描晶舟架上每一层的晶圆状态，晶圆凸片扫描传感器扫描晶圆片是否凸出出来，片盒在位检测传感器检测晶舟架是否在特定位置，片盒凸出检测传感器检测晶舟架是否发生位移，并依次把结果传送至中央控制系统，由中央处理系统进行分析处理；

44、s4：当晶舟传送盒到指定位置后，电机停止运动，中央控制系统控制感应门开启；

45、s5:随后机器手臂会对晶舟架上的晶圆进行送取，当机器手感应传感器检测到机器手臂进来之后，会把结果送至中央控制系统，中央控制系统会控制电机禁止转动，避免了晶舟传送盒压到机器手臂从而挤压到晶圆。。

46、本实用新型的晶圆扫描运算方法的有益效果：本实用新型在传送盒开启或者关闭时通过晶圆扫描传感器可以扫描每一层晶圆的状态，通过晶圆凸片扫描传感器扫描晶圆片是否凸出出来，片盒在位检测传感器检测晶舟架是否在特定位置，片盒凸出检测传感器检测晶舟架是否发生位移，并依次把结果传送至中央控制系统，由中央处理系统进行分析处理，从而下达命令。