一种涂金硅片保护装置的制作方法

本技术属于半导体器件加工辅助设备，尤其涉及一种涂金硅片保护装置。

背景技术：

1、在半导体器件中，二极管是最简单也是最基础的器件，随着电子电路应用的多样化，器件的功能页需要随之多样化，比如许多高频电路要求开关速度快、功率大、漏电流小等优点，目前应用于此类电路的二极管主要是快恢复二极管，快恢复二极管具有反向恢复时间短、开关特性好、工作电流大、反向漏电小等特点，被广泛应用于脉宽调制器、交流电机变频调速器、开关电源、不间断电源等装置中，作高频、高压、大电流整流、续流及保护作用。

2、作为快恢复二极管的基础工艺，硅片表面涂金扩散工艺是整个工艺的关键过程步骤，具体的是将硅片放在真空旋转器上，在硅片表面涂上金水，晾干后进入高温密闭的扩散炉中，通进适量的气体进行扩散，从而达到设计的电性要求。该工艺的重点是要求硅片不掉落且涂片均匀，在涂片过程中具有良好的流畅性与稳定性且不能中断，只有保证涂片均匀一致，才能使其在扩散的过程中电性要求一致性好；在现有工件生产加工过程中，硅片需稳定的吸在旋转器中，但由于缺少适配性的防护组件，一方面工件在发生旋转时，易使所涂金液溅出，不仅造成了资源的浪费，还在一定程度上影响了硅片上所扩散的金液量，影响工件成型的一致性，另一方面硅片放置的稳定性也是需要考虑的，若是其发生偏移而出现掉落，不仅使得工作进程受限，而且工件存在受损的可能，不能较好的满足生产使用需求。

技术实现思路

1、本实用新型针对上述所存在的技术问题，提出一种设计合理、结构简单、加工方便且能够实现对硅片的限位保护，降低其发生掉落的可能，同时，有效防止涂金液出现溅出而发生生产资料的浪费，从而稳定硅片的均匀性、改善涂金片的一致性，保障工件成型品质，充分满足使用需求的一种涂金硅片保护装置。

2、为了达到上述目的，本实用新型采用的技术方案为一种涂金硅片保护装置，包括保护装置本体，所述保护装置本体包括自外向内依次设置的放置罩、外圈壳和内圈滤纸，位于所述放置罩内侧的下端设置有对外圈壳放置起限位作用且呈l形状设计的环板，所述外圈壳内侧开设有便于内圈滤纸放置的环槽，所述放置罩上端的一侧设置有便于外圈壳取放的槽口，与所述槽口相对的外圈壳上设置有便于内圈滤纸取放的卡槽，所述放置罩的上端设置有对外圈壳起限位作用的端盖，所述端盖的下端一侧设置有与卡槽相适配卡接的卡块。

3、作为优选，所述外圈壳上端的内侧边角处呈锥形状设计，所述端盖横截面呈l形状设计，且其短边处的外侧与外圈壳内侧相适配。

4、作为优选，所述端盖下端的外周设置多个限位杆，与所述限位杆相对应的放置罩上端内开设有限位孔。

5、作为优选，所述放置罩的下端设置有防滑条。

6、与现有技术相比，本实用新型的优点和积极效果在于，

7、1、本实用新型提供的一种涂金硅片保护装置，通过设置的放置罩，其用于对硅片所处位置的有效限位，确保放置位置的准确性；通过设置的外圈壳，配合着放置罩完成对硅片的稳定放置，并用于承载内圈滤纸，稳定装置结构，降低其发生掉落的可能，保护性能良好；通过在外圈壳内所设置的内圈滤纸，其能够有效配合外圈壳实现对涂金液的阻隔，吸附多余的涂金液，并防止其溅出而影响工件成型品质，满足使用需求；通过设置的环板，实现对外圈壳所处位置的有效限位；通过设置的端盖，完成对设备部件的进一步限定，防止其发生偏移，确保生产加工的有效进行；本装置设计合理、结构简单、加工方便且能够实现对硅片的限位保护，降低其发生掉落的可能，同时，有效防止涂金液出现溅出而发生生产资料的浪费，从而稳定硅片的均匀性、改善涂金片的一致性，保障工件成型品质，充分满足使用需求。

技术特征：

1.一种涂金硅片保护装置，包括保护装置本体，其特征在于，所述保护装置本体包括自外向内依次设置的放置罩、外圈壳和内圈滤纸，位于所述放置罩内侧的下端设置有对外圈壳放置起限位作用且呈l形状设计的环板，所述外圈壳内侧开设有便于内圈滤纸放置的环槽，所述放置罩上端的一侧设置有便于外圈壳取放的槽口，与所述槽口相对的外圈壳上设置有便于内圈滤纸取放的卡槽，所述放置罩的上端设置有对外圈壳起限位作用的端盖，所述端盖的下端一侧设置有与卡槽相适配卡接的卡块。

2.根据权利要求1所述的一种涂金硅片保护装置，其特征在于，所述外圈壳上端的内侧边角处呈锥形状设计，所述端盖横截面呈l形状设计，且其短边处的外侧与外圈壳内侧相适配。

3.根据权利要求2所述的一种涂金硅片保护装置，其特征在于，所述端盖下端的外周设置多个限位杆，与所述限位杆相对应的放置罩上端内开设有限位孔。

4.根据权利要求3所述的一种涂金硅片保护装置，其特征在于，所述放置罩的下端设置有防滑条。

技术总结
本技术属于半导体器件加工辅助设备技术领域，尤其涉及一种涂金硅片保护装置，包括保护装置本体，所述保护装置本体包括自外向内依次设置的放置罩、外圈壳和内圈滤纸，位于所述放置罩内侧的下端设置有对外圈壳放置起限位作用且呈L形状设计的环板，所述外圈壳内侧开设有便于内圈滤纸放置的环槽，所述放置罩上端的一侧设置有便于外圈壳取放的槽口，与所述槽口相对的外圈壳上设置有便于内圈滤纸取放的卡槽，所述放置罩的上端设置有对外圈壳起限位作用的端盖，所述端盖的下端一侧设置有与卡槽相适配卡接的卡块。本技术能实现对硅片的限位保护，避免涂金液溅出，稳定硅片的均匀性、改善涂金片的一致性，保障工件成型品质，满足使用需求。

技术研发人员：刘谦,魏兴政
受保护的技术使用者：济南兰星电子有限公司
技术研发日：20230523
技术公布日：2024/1/14