一种气动吸盘送料机构

本技术属于晶圆送料，具体涉及一种气动吸盘送料机构。

背景技术：

1、晶圆的原始材料是硅，而地壳表面有用之不竭的二氧化硅。二氧化硅矿石经由电弧炉提炼，盐酸氯化，并经蒸馏后，制成了高纯度的多晶硅，晶圆制造厂再把此多晶硅融解，再于融液里种入籽晶，然后将其慢慢拉出，以形成圆柱状的单晶硅晶棒，由于硅晶棒是由一颗晶面取向确定的籽晶在熔融态的硅原料中逐渐生成，此过程称为“长晶”。硅晶棒再经过切段，滚磨，切片，倒角，抛光，激光刻，包装后，即成为积体电路工厂的基本原料——硅晶圆片。

2、经检索，中国专利申请号为cn201921118271.1 的中国实用新型专利申请文件公开了，一种自由装夹气动吸盘，包括：吸盘底座、阀体和盖板；阀体设置多个；吸盘底座顶部开设多条通气凹槽，且通气凹槽相互连通；吸盘底座侧壁开设抽气孔，抽气孔连通凹槽；阀体包括压杆、阀芯和弹簧，压杆固定在阀芯顶部，阀芯开设有以压杆为中心阵列布置的气孔；气孔贯穿阀芯的顶部和底部；弹簧一端固定在阀芯底部，另一端固定在通气凹槽底部；盖板底部设置有多个阀芯孔，多个阀芯孔的底面开设贯穿盖板的压杆孔；盖板安装在吸盘底座顶部，阀芯与阀芯孔配合安装，压杆贯穿压杆孔，并且该端凸出盖板顶部端面。

3、针对上述中的相关技术，该气动吸盘，设置的阀体设置多个，开设多条通气凹槽，在实际工作中，如有阀体或阀芯孔出现堵塞，会造成吸盘无法正常工作造成失效，无法进行正常的维护，所以亟需设计一种气动吸盘送料机构来处理这些问题。

技术实现思路

1、针对现有技术的不足，本实用新型公开了一种气动吸盘送料机构。

2、本实用新型通过以下技术方案来实现上述目的：

3、一种气动吸盘送料机构，包括底座，所述底座上方设置有移动送料机构，所述移动送料机构上方设置有气动吸盘执行机构。

4、所述气动吸盘执行机构包括横向固定设置在所述移动送料机构上方的气动吸盘承载架，所述气动吸盘承载架上方前后侧设置有第一升降液压缸，所述第一升降液压缸动力伸缩端固定设置有气动吸盘承载板，所述气动吸盘承载板下方设置有气动吸盘支撑组件，所述气动吸盘支撑组件内侧设置有气动吸盘执行组件。

5、优选地，所述移动送料机构包括固定设置在所述底座上方前后侧的传输支撑架，所述传输支撑架内侧设置有送料组件，所述送料组件前后侧设置有横向移动组件。

6、优选地，所述气动吸盘支撑组件包括固定设置在所述气动吸盘承载板下方的上接板，所述上接板下方设置有下接板，所述上接板与所述下接板之间通过隔台连接，所述隔台一侧设置有转套，所述转套连接在转动电机动力端，所述转套一侧固定连接有u型卡，所述u型卡内设置有调节板。

7、优选地，所述气动吸盘执行组件包括固定设置在所述调节板上方一侧的距离调节电动缸，所述距离调节电动缸动力伸缩端固定设置有吸盘座，所述吸盘座下方设置有吸盘，所述吸盘座中心位置安装有距离传感器，所述吸盘座一侧连接在真空气软管一端，所述真空气软管另一端连接在小型真空泵，所述小型真空泵一侧设置有电磁控制阀。

8、优选地，所述送料组件包括固定设置在所述传输支撑架相对面的传输支撑轴，所述传输支撑轴外表面设置有送料带，所述送料带上方固定设置有送料框。

9、优选地，所述横向移动组件包括固定设置在所述底座上方前后侧的滚珠丝杠，所述滚珠丝杠外表面活动设置有滚珠丝杠螺母台。

10、有益效果在于：

11、本实用新型公开了一种气动吸盘送料机构，通过设置的移动送料机构与气动吸盘执行机构，气动吸盘有效的将晶圆进行输送，通过设置的传输支撑轴带动送料带上端的送料框进行送料，同时通过设置的滚珠丝杠带动滚珠丝杠螺母台带动气动吸盘支撑组件左右移动，u型卡与调节板活动连接，调节板下方设置的吸盘座与吸盘可进行拆卸，进行清理与维护，在吸盘座上设有距离调节电动缸，可对吸盘座的高度进行调节，以便于吸盘可以吸附不同高度平面上的晶圆，吸盘座上的吸盘与小型真空泵相通，在吸盘接触到吸附的晶圆时，通过开启电磁控制阀后可使吸盘吸附在吸附的晶圆上，通过转动电机带动调节板以及吸盘座的角度进行调节，操作简单，使用方便。

技术特征：

1.一种气动吸盘送料机构，其特征在于：包括底座（1），所述底座（1）上方设置有移动送料机构（2），所述移动送料机构（2）上方设置有气动吸盘执行机构（3）；

2.根据权利要求1所述的一种气动吸盘送料机构，其特征在于：所述移动送料机构（2）包括固定设置在所述底座（1）上方前后侧的传输支撑架（201），所述传输支撑架（201）内侧设置有送料组件，所述送料组件前后侧设置有横向移动组件。

3.根据权利要求1所述的一种气动吸盘送料机构，其特征在于：所述气动吸盘支撑组件（307）包括固定设置在所述气动吸盘承载板（303）下方的上接板（3071），所述上接板（3071）下方设置有下接板（3073），所述上接板（3071）与所述下接板（3073）之间通过隔台（3072）连接，所述隔台（3072）一侧设置有转套（3075），所述转套（3075）连接在转动电机（3074）动力端，所述转套（3075）一侧固定连接有u型卡（3076），所述u型卡（3076）内设置有调节板（3077）。

4.根据权利要求3所述的一种气动吸盘送料机构，其特征在于：所述气动吸盘执行组件包括固定设置在所述调节板（3077）上方一侧的距离调节电动缸（314），所述距离调节电动缸（314）动力伸缩端固定设置有吸盘座（311），所述吸盘座（311）下方设置有吸盘（312），所述吸盘座（311）中心位置安装有距离传感器（313），所述吸盘座（311）一侧连接在真空气软管（310）一端，所述真空气软管（310）另一端连接在小型真空泵（308），所述小型真空泵（308）一侧设置有电磁控制阀（309）。

5.根据权利要求2所述的一种气动吸盘送料机构，其特征在于：所述送料组件包括固定设置在所述传输支撑架（201）相对面的传输支撑轴（202），所述传输支撑轴（202）外表面设置有送料带（203），所述送料带（203）上方固定设置有送料框（205）。

6.根据权利要求2所述的一种气动吸盘送料机构，其特征在于：所述横向移动组件包括固定设置在所述底座（1）上方前后侧的滚珠丝杠（207），所述滚珠丝杠（207）外表面活动设置有滚珠丝杠螺母台（208）。

技术总结
本技术属于晶圆送料技术领域，具体涉及一种气动吸盘送料机构，包括底座，所述底座上方设置有移动送料机构，所述移动送料机构上方设置有气动吸盘执行机构。通过设置的传输支撑轴带动送料带上端的送料框进行送料，同时通过设置的滚珠丝杠带动滚珠丝杠螺母台带动气动吸盘支撑组件左右移动，U型卡与调节板活动连接，调节板下方设置的吸盘座与吸盘可进行拆卸，进行清理与维护，在吸盘座上设有距离调节电动缸，可对吸盘座的高度进行调节，以便于吸盘可以吸附不同高度平面上的晶圆，吸盘座上的吸盘与小型真空泵相通，在吸盘接触到吸附的晶圆时，通过开启电磁控制阀后可使吸盘吸附在吸附的晶圆上，通过转动电机带动调节板以及吸盘座的角度进行调节。

技术研发人员：薛舒元,张静涛,周圈锁,赵康博
受保护的技术使用者：郑州大学
技术研发日：20230529
技术公布日：2024/1/15