顶升结构以及装配有该顶升结构的检测装置的制作方法

本技术涉及半导体检测，特别是涉及一种顶升结构以及装配有该顶升结构的检测装置。

背景技术：

1、随着科技的迅速发展，通讯设备、消费类电子等产品越来越多，芯片是该类电子产品的主要元件之一，其质量好坏直接关系着电子产品的质量。芯片生产完成后，通常需要对芯片进行测试、分选等。

2、具体的，在供料位由供料机械手自动将载具盘放满，经过水平或竖直输送，并经过测试工位后，在卸载工位将载具盘上面的芯片由卸载机械手将芯片全部取下，空载具盘经双向流转装置传送走，以形成循环汇流。其中，载具盘上面的芯片由矩阵式排布的测试座存储，芯片的底部贴紧测试座的底部，并利用压紧组件压紧，以防止芯片相对测试座移动。当需要卸载芯片时，以利用顶升组件穿入测试座以推动压紧组件打开，以便于卸载机械手拾取芯片。

3、因此，顶升组件在使用初期需要进行精度调试，以防顶升组件与测试座之间产生干涉，亦或是对芯片造成损坏；且，顶升组件在多次使用后需要进行精度维护，以确保后续使用中仍然能够精准的推动压紧组件打开。

4、基于上述，亟待提供一种能够便于调试和维护的顶升组件，满足压紧组件的打开，提高操作精度。

技术实现思路

1、基于此，有必要提供一种顶升结构，在满足自身便于调试和维护的同时，满足压紧组件的打开，以提高顶升精度。

2、一种顶升结构，包括驱动板、安装基板和驱动件；所述驱动板沿第一方向的一侧设置有顶触翅片；所述安装基板安装于所述驱动板背离所述顶触翅片的一侧，并与所述驱动板沿所述第一方向间隔布置；所述驱动件与所述安装基板间隔设置，所述驱动件通过垫块安装于所述安装基板背离所述顶触翅片的一侧，所述驱动件的驱动轴相对所述垫块和所述安装基板滑动连接，所述驱动件的驱动轴穿过所述安装基板以连接于所述驱动板；所述驱动件用于驱动所述驱动板沿所述第一方向移动；其中，所述第一方向为所述驱动板的厚度方向。

3、也就是说，该顶升结构利用驱动件的驱动轴以推动驱动板顶升，促使顶触翅片推动测试座内的压紧组件打开，以解除对芯片的压紧。而且，由于垫块的设置，相当于将驱动件相对安装基板垫出，即：促使驱动件与安装基板之间具有一定的安全距离。如此，当对驱动件进行调试时，由于有安全距离的设置，使得安装基板并不会对驱动件的调试造成干涉，从而便于对驱动件进行顶升调试和维护。

4、在其中一些实施例中，所述垫块包括固定部和避让凸起；所述避让凸起沿所述第一方向凸设于所述固定部的一侧并与驱动件连接，所述固定部的另一侧与所述安装基板连接；所述避让凸起沿第二方向的至少一侧均不凸出于所述固定部；其中，所述第二方向与所述第一方向成角度设置。

5、可以理解的是，固定部的设置满足垫块相对安装基板的可靠连接，避让凸起的设置相当于增大了整个垫块沿安装基板厚度方向的厚度，以促使驱动件相对安装基板垫出。

6、在其中一些实施例中，所述顶升结构还包括缓冲板、缓冲柱和缓冲器；所述缓冲柱的一端连接于所述缓冲板，所述缓冲柱的另一端穿过所述安装基板与所述驱动板连接，且所述缓冲柱与所述安装基板滑动连接；所述缓冲器安装于所述缓冲板，且所述缓冲器能够在所述驱动件的顶升作用下抵接于所述垫块。

7、也就是说，利用缓冲板、缓冲柱以及缓冲器的设置，能够对驱动件的顶升起到缓冲和限位作用。

8、在其中一些实施例中，所述缓冲柱的数量为多个，并沿所述驱动件的周向间隔布置以限定为装配空间，所述驱动件位于所述装配空间内，且各个所述缓冲柱均避让开所述垫块和所述缓冲器设置。

9、可以理解的是，通过多个缓冲柱的设置，提高缓冲板相较驱动板的连接可靠性，在保证受力均匀的同时，提高驱动稳定性。

10、在其中一些实施例中，所述垫块还包括沿所述第二方向凸设于所述避让凸起的限位块；所述缓冲器的数量为至少两个并沿第三方向间隔布置的，每个所述缓冲器均能够抵接于所述限位块；其中，所述第三方向、所述第二方向和所述第一方向，两两成角度设置。

11、也就是说，利用多个缓冲器的设置，在满足缓冲限位基础上，提高受力均匀性。

12、在其中一些实施例中，所述缓冲板构造有用于所述驱动件穿设的避让空间。如此，即可满足缓冲板移动的基础上，降低驱动件与缓冲板之间的干涉。

13、在其中一些实施例中，所述限位块包括横臂和连接于所述横臂的竖臂，且两者成角度布置；所述竖臂与所述避让凸起连接，所述横臂位于所述竖臂背离所述安装基板的一侧，且所述横臂的长度沿所述第三方向延伸以用于与所述缓冲器抵接。

14、这样的设置，在满足限位块相对避让凸起稳定连接的同时，能够满足多个缓冲器的抵接限位。

15、在其中一些实施例中，所述顶升结构还包括浮动接头和过渡杆；所述浮动接头的一端连接于所述过渡杆的一端，所述浮动接头的另一端连接于所述驱动件的驱动轴，所述过渡杆的另一端连接于所述驱动板。

16、这样的设置，能够弥补驱动轴与驱动板之间的间距差，实现对驱动板的驱动，并降低驱动件启停过程中作用于驱动板的冲击，提高运动稳定性。

17、在其中一些实施例中，所述顶升结构还包括多个直线导向组件，多个所述直线导向组件环绕所述驱动板周向间隔布置；各个所述直线导向组件的一端均连接于所述驱动板，并穿设于所述安装基板，以对所述驱动板的移动进行导向。

18、可以理解的是，通过多个直线导向组件的布置，能够对驱动板相对安装基板的移动起到导向作用，确保驱动板上的每个顶触翅片均能够准确无误的插入对应的测试座，并作用于对应的压紧组件。

19、在其中一些实施例中，各个所述直线导向组件包括导杆和直线轴承，所述直线轴承安装于所述安装基板朝向所述驱动板的一侧，所述导杆的一端连接于所述驱动板，另一端穿过所述直线轴承，所述导杆能够在所述驱动件的顶升作用下相对所述直线轴承沿自身轴向移动；所述直线轴承朝向所述驱动板的端部连接有缓冲垫。

20、也就是说，通过导杆和直线轴承的配合，满足对驱动板的移动导向作用；并且，利用缓冲垫的设置，能够尽可能避免直线导向组件与驱动板之间的碰撞，从而降低二者之间的震动和噪声。

21、在其中一些实施例中，所述顶升结构还包括顶升作动板和调平板，二者沿所述第一方向叠设于所述驱动板背离所述驱动件的一侧，且所述调平板位于所述顶升作动板与所述驱动板之间；所述顶升结构还包括多个环绕所述调平板周向间隔布置的调节柱，各个所述调节柱穿过所述驱动板连接于所述调平板；各个所述调节柱能够绕自身轴线转动以驱动所述调平板沿第一方向移动。

22、可以理解的是，调平板的设置以与调节柱配合，满足顶升作动板的水平度调节。

23、本技术还提供一种检测装置，包括多个间隔布置的载具盘及上述的顶升结构，每个所述载具盘的下方均安装有一所述顶升结构；每个所述载具盘安装有多个间隔布置的测试座，每个所述测试座内均设置有压紧组件；各个所述顶升结构能够择一的顶升以顶触对应所述载具盘内的所述压紧组件。如此，即可满足多个载具盘上各个测试座内压紧组件的顶触打开。