一种晶圆存放结构的制作方法

本技术属于晶圆存放，特别是涉及一种晶圆存放结构。

背景技术：

1、晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅。高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅，硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆。晶圆在生产加工完成后，一般会将其放置于存放结构内，以便对晶圆进行后续的转移和搬运。

2、目前市面上存在一些晶圆存放结构，如中国专利网上公开了一种晶圆存放装置，其公开号为cn218705429u，这种存放结构可对晶圆进行存放和稳定保护，但是存在一些缺陷和不足有待改进：(1)现有的存放结构大多通过托盘等支撑件对晶圆进行存放，晶圆在放置后会紧贴在支撑件的表面，不便于拿取，并且存放和拿取过程中晶圆往往会与支撑件之间发生碰撞，从而造成晶圆表面产生磨损；(2)现有的存放结构大多缺少自清洁功能，在长时间使用后，支撑件表面往往会附着有灰尘，不便于清理，使得晶圆在后续存放时容易沾灰，从而影响成品质量；(3)晶圆在存放时应保持干燥，而现有的存放结构缺少相应的防潮措施，使得存放结构的内部空气中容易残留有水分，从而造成晶圆受潮。因此，针对以上问题，本实用新型提供的一种晶圆存放结构具有重要意义。

技术实现思路

1、本实用新型提供了一种晶圆存放结构，解决了以上问题。

2、为解决上述技术问题，本实用新型是通过以下技术方案实现的：

3、本实用新型的一种晶圆存放结构，包括存放柜，所述存放柜的底部固定连接有若干个垫脚，其前端面安装有柜门，且所述存放柜的两侧内壁均固定连接有干燥架，所述干燥架的一侧固定连接有若干个固定座，所述固定座呈等距分布，其顶部固定连接有限位板，且每相对的两个所述固定座之间均安装有支撑件，所述限位板的表面开设有限位孔，且每相对的两个所述限位板之间均安装有清理件；

4、所述支撑件包括托板，所述托板的前端面固定连接有第一把手，其表面开设有若干个存放槽，且所述托板的两侧均固定连接有卡块，所述固定座的侧壁表面开设有卡槽，所述卡槽的槽宽与卡块的厚度相等；

5、所述清理件包括清理架，所述清理架呈n字形，其顶部固定连接有第二把手，且所述清理架的两侧外壁均固定连接有滑块，所述滑块与限位孔均为矩形，其厚度与限位孔的宽度相等，且所述滑块穿过限位孔，所述清理架的底部安装有清理板，所述清理板的底部表面设置有一层清理刷。

6、进一步地，所述存放槽为圆形，并呈线性阵列分布，且每个所述存放槽的槽底均开设有取出孔。

7、进一步地，每个所述存放槽的内壁表面均固定安装有一层缓冲圈，且每个所述存放槽的槽底表面均固定安装有若干个缓冲块，所述缓冲块以取出孔为中心呈环形阵列分布。

8、进一步地，所述清理板的顶部两侧均固定连接有螺柱，所述螺柱上螺纹连接有与其相配合的螺母，所述清理架的顶部两端均开设有安装孔，所述安装孔的孔径与螺柱的直径相等，且每个所述安装孔均与对应的螺柱中心位于同一条直线上。

9、进一步地，所述干燥架与存放柜的内壁之间固定连接有若干块隔板，所述隔板呈等距分布，且每相邻两块所述隔板之间均形成有干燥腔，所述干燥腔内放置有干燥剂，且每个所述干燥腔与干燥架的连接处均开设有干燥口，所述干燥口呈长条形，且每个所述干燥口均位于对应的固定座上方。

10、本实用新型相对于现有技术包括有以下有益效果：

11、(1)本实用新型中的存放结构在使用时，可通过支撑件对多个晶圆进行存放，以便后续进行转移和搬运，并且通过存放槽内的缓冲圈和缓冲块可起到缓冲防磨的作用，以防止晶圆在存放和拿取过程中与托板和存放槽之间发生碰撞而造成表面磨损；

12、(2)本实用新型中的存放结构在长时间使用后，可通过清理件有效清除附着在托板表面的灰尘，从而防止晶圆在后续存放时沾灰而影响成品质量；

13、(3)本实用新型中的存放结构在使用时，可透过干燥口并通过各个干燥腔内放置的干燥剂有效吸收存放柜内的潮气，以起到防潮的作用，从而防止晶圆在存放时因受潮。

14、当然，实施本实用新型的任一产品并不一定需要同时达到以上所述的所有优点。

技术特征：

1.一种晶圆存放结构，其特征在于，包括存放柜，所述存放柜的底部固定连接有若干个垫脚，其前端面安装有柜门，且所述存放柜的两侧内壁均固定连接有干燥架，所述干燥架的一侧固定连接有若干个固定座，所述固定座呈等距分布，其顶部固定连接有限位板，且每相对的两个所述固定座之间均安装有支撑件，所述限位板的表面开设有限位孔，且每相对的两个所述限位板之间均安装有清理件；

2.根据权利要求1所述的一种晶圆存放结构，其特征在于，所述存放槽为圆形，并呈线性阵列分布，且每个所述存放槽的槽底均开设有取出孔。

3.根据权利要求1所述的一种晶圆存放结构，其特征在于，每个所述存放槽的内壁表面均固定安装有一层缓冲圈，且每个所述存放槽的槽底表面均固定安装有若干个缓冲块，所述缓冲块以取出孔为中心呈环形阵列分布。

4.根据权利要求1所述的一种晶圆存放结构，其特征在于，所述清理板的顶部两侧均固定连接有螺柱，所述螺柱上螺纹连接有与其相配合的螺母，所述清理架的顶部两端均开设有安装孔，所述安装孔的孔径与螺柱的直径相等，且每个所述安装孔均与对应的螺柱中心位于同一条直线上。

5.根据权利要求1所述的一种晶圆存放结构，其特征在于，所述干燥架与存放柜的内壁之间固定连接有若干块隔板，所述隔板呈等距分布，且每相邻两块所述隔板之间均形成有干燥腔，所述干燥腔内放置有干燥剂，且每个所述干燥腔与干燥架的连接处均开设有干燥口，所述干燥口呈长条形，且每个所述干燥口均位于对应的固定座上方。

技术总结
本技术公开了一种晶圆存放结构，包括存放柜，所述存放柜的底部固定连接有若干个垫脚，其前端面安装有柜门，且所述存放柜的两侧内壁均固定连接有干燥架，所述干燥架的一侧固定连接有若干个固定座，所述固定座呈等距分布，其顶部固定连接有限位板，且每相对的两个所述固定座之间均安装有支撑件，所述限位板的表面开设有限位孔，且每相对的两个所述限位板之间均安装有清理件。本技术便于对多个晶圆进行存放和拿取，晶圆在存放和拿取过程中不易产生磨损，并且自带清灰功能，可在长时间使用后对灰尘进行清理，以避免晶圆在存放时沾灰，此外防潮性能好，晶圆在存放时不易受潮。

技术研发人员：丁波,李铁,陈瀚,侯金松,杭海燕,谷卫东
受保护的技术使用者：上海微世半导体有限公司
技术研发日：20230724
技术公布日：2024/1/5