本技术涉及晶圆检测，具体涉及一种用于晶圆的上下料装置。
背景技术：
1、在晶圆进行性能测试过程中，上下料装置用于对晶圆进行运输及性能测试前的基础检测和校准，相关技术中，上下料装置的体积、占地空间及重量较大，且结构复杂，制备及安装的难度较大。
技术实现思路
1、本技术的目的在于提供一种用于晶圆的上下料装置，以解决相关技术中，上下料装置的体积、占地空间及重量较大，且结构复杂，制备及安装的难度较大的技术问题。
2、第一方面，本技术提供了一种用于晶圆的上下料装置，包括：
3、机架机构，具有物料进料空间、传送移动空间及预对准空间，所述物料进料空间与所述传送移动空间沿宽度方向或长度方向依次设置，所述传送移动空间与所述预对准空间沿所述长度方向设置；
4、物料机构，所述物料机构设于所述物料进料空间，所述物料机构用于存放多个待测样品；
5、传送装置，所述传送装置设于所述传送移动空间内，所述传送装置包括：
6、升降机构，所述升降机构包括升降底板、升降立柱基板、升降电机、丝杆组件及升降连接件，所述升降立柱基板沿高度方向设于所述升降底板上，所述升降底板和所述升降立柱基板沿所述宽度方向设置，所述丝杆组件沿所述高度方向于升降立柱基板上，所述升降连接件设于所述丝杆组件上，所述升降电机设于所述升降底板，并驱动所述丝杆组件带动所述升降连接件升降；
7、旋转机构，沿所述高度方向安装于所述升降连接件上，所述旋转机构随着所述升降机构升降；
8、平移机构，沿所述高度方向安装于所述旋转机构上，所述平移机构随着所述旋转机构在水平面内转动；
9、叉臂组件，所述叉臂组件连接所述平移机构，所述叉臂组件随着所述平移机构移动，以移动至所述物料机构内取出和放回所述待测样品；
10、角度调整机构，所述角度调整机构沿所述长度方向设于所述升降机构的一侧，所述角度调整机构用于将所述待测样品旋转至预设状态。
11、本技术提供的用于晶圆的上下料装置中，预对准空间和物料进料空间沿高度方向设置，物料进料空间与传送移动空间沿长度方向设置，物料机构设于物料进料空间，传送装置设于传送移动空间内，升降机构包括升降底板、升降立柱基板、升降电机、丝杆组件及升降连接件，升降立柱基板沿高度方向设于升降底板上，升降底板和升降立柱基板沿宽度方向设置，丝杆组件沿高度方向于升降立柱基板上，升降连接件设于丝杆组件上，升降电机设于升降底板，并驱动丝杆组件带动升降连接件升降，旋转机构沿高度方向安装于升降连接件上，旋转机构随着升降机构升降，平移机构沿高度方向安装于旋转机构上，平移机构随着旋转机构在水平面内转动，叉臂组件连接平移机构，叉臂组件随着平移机构移动，以移动至物料机构内取出和放回待测样品，角度调整机构沿长度方向设于升降机构的一侧，角度调整机构用于将待测样品旋转至预设状态。升降底板和升降立柱基板沿宽度方向设置，使得升降立柱基板、升降导轨组件、丝杠组件沿宽度方向依次设置，有利于减小传送移动空间在长度方向的距离，并且减小上下料装置沿长度方向的尺寸，减小上下料装置的体积、占地空间及重量。
12、其中，所述上下料装置还包括检测组件及回收组件，所述检测组件沿所述长度方向设于所述平移机构的一侧，所述检测组件、所述回收组件及所述角度调整机构沿所述高度方向依次设置，所述检测组件用于检测所述待测样品是否合格，所述回收组件用于放置不合格的所述待测样品。
13、其中，所述上下料装置还包括控制器组件，所述控制器组件电连接所述传送装置及所述角度调整机构，所述控制器组件配置为在第一时间段控制所述平移机构沿所述宽度方向伸出，使所述叉臂组件取出所述待测样品；在第二时间段控制所述平移机构沿所述宽度方向收回，将所述待测样品运回至第一位置；在第三时间段控制所述旋转机构绕所述高度方向旋转，使所述平移机构朝向所述检测组件；在第四时间段控制所述升降机构升降；在第五时间段控制所述平移机构沿所述长度方向伸出，将所述待测样品输送至所述检测组件的检测台；控制所述平移机构及所述升降机构将检测不合格的所述待测样品输送至所述回收组件中；及控制所述平移机构及所述升降机构将检测合格的所述待测样品输送至所述角度调整机构。
14、其中，所述上下料装置还包括回收组件，所述回收组件设于所述机架机构上且位于所述角度调整机构上方，所述回收组件包括回收基板及回收移动件，所述回收基板固定于所述机架机构上，所述回收基板上设有回收导轨，所述回收移动件滑动连接所述回收导轨且可以沿所述长度方向移动，所述回收移动件上设有第一定位块、第二定位块和第三定位块，所述第二定位块和所述第三定位块相对间隔设置，所述第一定位孔设于所述第二定位块和第三定位块背离所述传送装置的一侧，所述第一定位块、所述第二定位块和所述第三定位块围合形成用于放置所述待测样品的回收空间；
15、所述第一定位块沿所述高度方向设有第一台阶面和第二台阶面，所述第二定位块沿所述高度方向设有第三台阶面和第四台阶面，所述第三定位块沿所述高度方向设有第五台阶面和第六台阶面，所述第一台阶面、所述第三台阶面、所述第五台阶面用于抵接并限位第一尺寸的所述待测样品，所述第二台阶面、所述第四台阶面、所述第六台阶面用于抵接并限位第二尺寸的所述待测样品，所述第一尺寸小于所述第二尺寸。
16、其中，所述角度调整机构包括连接组件及连接于所述连接组件周侧的多个吸盘臂，每个所述吸盘臂远离所述连接组件的一侧设有第一吸孔部和第二吸孔部，所述第一吸孔部位于所述第二吸孔部与所述连接组件之间，所述第一吸孔部用于吸附第一尺寸的所述待测样品，所述第二吸孔部用于吸附第二尺寸的所述待测样品，所述第一尺寸小于所述第二尺寸；
17、所述吸盘臂内包括第一吸附通道和第二吸附通道，所述第一吸附通道连通所述第一吸孔部，所述第二吸附通道连通所述第二吸孔部；在所述高度方向上，所述第一吸孔部的高度低于所述第二吸孔部的高度，所述第一吸附通道至少部分高于所述第二吸附通道。
18、其中，所述角度调整机构还包括角度旋转组件，第一吸气管道和第二吸气管道，所述连接组件设于所述角度旋转组件上；
19、所述角度旋转组件具有收容空间，所述第一吸气管道和所述第二吸气管道设于所述角度旋转组件的所述收容空间内，所述连接组件内具有第一吸气通道和第二吸气通道，所述第一吸气通道分别连通所述第一吸气管道及所述第一吸附通道，所述第二吸气通道分别连通所述第二吸气管道及所述第二吸附通道。
20、其中，所述连接组件包括通气块和转接盘，所述通气块设于所述角度旋转组件上，所述转接盘设于所述通气块和所述吸盘臂之间；
21、所述通气块设有轴向贯穿的第一吸气孔，所述第一吸气孔连通所述第一吸气管道，所述转接盘设有轴向贯穿的多个所述第二吸气孔，所述通气块和所述转接盘至少部分间隔设置，并形成连通所述第一吸气孔和所述第二吸气孔的换气空间，所述第一吸气孔、所述换气空间及所述第二吸气孔形成所述第一吸气通道；
22、所述通气块设有第三吸气孔、多个吸气子通道、多个第四吸气孔，所述第三吸气孔和所述第四吸气孔分别设于所述通气块的两侧且轴向贯穿至少部分所述通气块，所述吸气子通道分别连通所述第三吸气孔及所述第四吸气孔，所述转接盘设有轴向贯穿的多个第五吸气孔，所述第五吸气孔对应并分别连通所述第四吸气孔和所述第二吸附通道，所述第三吸气孔、所述吸气子通道、所述第四吸气孔及所述第五吸气孔形成所述第二吸气通道。
23、其中，所述角度调整机构还包括检测相机，所述检测相机设于多个所述吸盘臂的上方，所述检测相机用于检测所述待测样品的标记位置与预设位置的角度差，所述上下料装置还包括控制器组件，所述控制器组件电性连接所述检测相机和所述角度旋转组件，所述控制器组件用于根据所述角度差控制所述角度旋转组件旋转目标角度。
24、其中，所述物料机构包括承载台组件及物料盒，所述物料盒设于所述承载台组件上，所述物料盒用于放置所述待测样品；
25、所述承载台组件包括承载底板、第一支撑板和第二支撑板，所述第一支撑板和所述第二支撑板固定于所述承载底板上且分别设于所述承载底板的两侧，所述第一支撑板和所述第二支撑板分别用于放置所述物料盒的两侧，所述第一支撑板上设有第一前定位条和第一后定位条，所述第二支撑板上设有第二前定位条和第二后定位条，第一前定位条、第一后定位条、第二前定位条、第二后定位条抵接并限位第一尺寸的所述物料盒；所述第一支撑板上设有第三前定位条和第三后定位条，所述第二支撑板上设有第四前定位条和第四后定位条，第三前定位条、第三后定位条、第四前定位条、第四后定位条抵接并限位第二尺寸的所述物料盒，所述第一尺寸小于所述第二尺寸。
26、其中，所述第一支撑板与所述承载底板间隔设置并形成第一间隙，所述承载台组件还包括第一感应件和第一传感器，所述第一感应件设于所述承载底板上且至少部分贯穿所述第一支撑板，所述第一感应件用于抵接第一尺寸的所述物料盒，所述第一感应件能够沿所述高度方向移动，所述第一传感器设于所述第一支撑板朝向所述承载底板的一侧，所述第一传感器对应所述第一感应件设置，且所述第一传感器用于检测所述第一感应件的位置信息；
27、所述第二支撑板与所述承载底板间隔设置并形成第二间隙，所述承载台组件还包括第二感应件和第二传感器，所述第二感应件设于所述承载底板上且至少部分贯穿所述第二支撑板，所述第二感应件用于抵接第一尺寸的所述物料盒，所述第二感应件能够沿所述高度方向移动，所述第二传感器设于所述第二支撑板朝向所述承载底板的一侧，所述第二传感器对应所述第二感应件设置，且所述第二传感器用于检测所述第二感应件的位置信息；
28、所述承载台组件还包括第三感应件和第三传感器，所述第三感应件设于所述承载底板上且至少部分贯穿所述第一支撑板，所述第三感应件用于抵接第二尺寸的所述物料盒，所述第三感应件能够沿所述高度方向移动，所述第三传感器设于所述第一支撑板朝向所述承载底板的一侧，所述第三传感器对应所述第三感应件设置，且所述第三传感器用于检测所述第三感应件的位置信息；
29、所述承载台组件还包括第四感应件和第四传感器，所述第四感应件设于所述承载底板上且至少部分贯穿所述第二支撑板，所述第四感应件用于抵接第二尺寸的所述物料盒，所述第四感应件能够沿所述高度方向移动，所述第四传感器设于所述第二支撑板朝向所述承载底板的一侧，所述第四传感器对应所述第四感应件设置，且所述第四传感器用于检测所述第四感应件的位置信息。
30、其中，所述第一感应件包括第一感应块、第一弹性件和第二弹性件，所述第一弹性件和所述第二弹性件分别设于所述第一感应块的两端，且所述第一弹性件和所述第二弹性件皆分别连接所述第一感应块和所述承载底板，所述第一感应块用于在所述第一弹性件和所述第二弹性件的弹性支撑下凸出所述第一支撑板；
31、所述第二感应件包括第二感应块、第三弹性件和第四弹性件，所述第三弹性件和所述第四弹性件分别设于所述第二感应块的两端，且所述第三弹性件和所述第四弹性件皆分别连接所述第二感应块和所述承载底板，所述第二感应块用于在所述第三弹性件和所述第四弹性件的弹性支撑下凸出所述第二支撑板；
32、所述第三感应件包括第三感应块、第五弹性件和第六弹性件，所述第五弹性件和所述第六弹性件分别设于所述第三感应块的两端，且所述第五弹性件和所述第六弹性件皆分别连接所述第三感应块和所述承载底板，所述第三感应块用于在所述第五弹性件和所述第六弹性件的弹性支撑下凸出所述第一支撑板；
33、所述第四感应件包括第四感应块、第七弹性件和第八弹性件，所述第七弹性件和所述第八弹性件分别设于所述第四感应块的两端，且所述第七弹性件和所述第八弹性件皆分别连接所述第四感应块和所述承载底板，所述第四感应块用于在所述第七弹性件和所述第八弹性件的弹性支撑下凸出所述第二支撑板。
34、其中，所述机架机构还具有电控安装空间，所述电控安装空间与所述传送移动空间及所述预对准空间沿所述长度方向依次设置；所述上下料装置还包括控制器组件，所述控制器组件设于所述电控安装空间内。