专利名称:电子光学镜筒及其制造方法
技术领域：
本发明涉及电子光学镜筒及其制造方法。
背景技术：
电子光学镜筒的用途是，在例如扫描型电子显微镜(SEM)、离子束(EB)装置中，对电子束能起透镜作用。SEM中使用的镜筒之一例，作为静电透镜，记载于日本专利特开平6-187901号公报。
最近，为了进行精密加工等，有人提出使电子束高精度集束的要求。为了提高电子束的集束程度，需要通过施加高电压，大大提高电子的速度。于是就产生装置大型化且高价格化的问题。此外，电子的速度一提高，将遇到以下问题。
(a)由于电子束穿过试样表面，不适用于表面的观察。
(b)发生电子束破坏试样等不良影响。
(c)采用生物试样时，由于是非导电物质，容易带电。一旦带电，就会影响电场，导致电子束的集束精度下降。
但是，如能获得小型且高精度的镜筒，则可缩短电极到电子束的距离。于是，即使对电子的加速电压不高，也能对电子束施加大的电场，因此能使电子束以高精度集束。
但是，用于电子光学镜筒的静电透镜，在安装及尺寸方面要求高精度。在做成小镜筒的情况下，常会出现使静电透镜的安装及尺寸的误差变大，集束精度下降的问题。
发明内容
本发明是针对以上存在问题作出的。本发明的目的是，提供适合于小型化的电子光学镜筒及其制造方法。
本发明的电子光学镜筒，具备筒体及配置于该筒体内表面的静电透镜。上述筒体的内表面呈高电阻的导电性。
上述电子光学镜筒中的上述筒体的内表面由具有高电阻导电性的陶瓷构成。
上述筒体实际上可以用单一的材料构成。
上述单一的材料可以是具有高电阻导电性的陶瓷。
上述所谓高电阻导电性，是指电阻率的范围例如在108～1010Ω·cm。
上述筒体具有内筒及外筒，上述内筒配置于上述外筒的内部。
上述静电透镜，可具备在上述筒体的内侧产生电场用的电极。在上述电极可连接将电压施加于该电极用的配线。上述配线可配置在上述内筒与外筒之间。
上述电极可采用多个，上述配线将上述电极中的同电位的电极相互连接。
上述配线也可以是通过电阻或开关元件将上述电极中的不同电位的电极相互连接的结构。
上述静电透镜可具备在上述筒体的内侧产生电场用的电极。上述电极也可以附着于上述筒体的内表面。
多个静电透镜中具备的电极，也可以具备相互分离的多个电极片，也可以使上述各电极中的电极片的数量相同。
多个的静电透镜具备电极，上述电极具备相互分离的多个电极片，上述电极片中的同电位的电极片可利用配线相互电气连接。
本发明的电子光学镜筒也可以具有这样的结构，即上述筒体具有内筒及外筒，上述内筒配置于上述外筒的内侧，多个静电透镜分别具备在上述筒体的内侧产生电场用的电极，上述电极附着于上述筒体的内表面，上述电极包含相互分离的多个电极片，上述电极片中，同电位的电极片用配线相互电连接，上述配线可配置于上述内筒与上述外筒之间。
或本发明的电子光学镜筒也可以具有这样的结构，即上述筒体具有内筒及外筒，上述内筒配置于上述外筒的内侧，上述静电透镜可采用多个，上述各静电透镜含有在上述筒体的内侧产生电场用的电极，上述电极附着于上述筒体的内表面，上述电极包含相互分离的多个电极片，上述电极片通过对这些电极片施加不同电压用的配线及电阻相互连接，上述配线及电阻可配置于上述内筒与外筒之间。
或本发明的电子光学镜筒也可以具有这样的结构，即上述筒体具有内筒及外筒，上述内筒配置于上述外筒的内侧，上述静电透镜可采用多个，上述各静电透镜含有在上述筒体的内侧产生电场用的电极，上述电极附着于上述筒体的内表面，上述电极包含相互分离的多个电极片，上述电极片通过对这些电极片施加不同电压用的配线及开关元件相互连接，上述配线及开关元件配置于上述内筒与外筒之间。
上述电子光学镜筒也可以具有这样的结构，即上述静电透镜可采用多个，可在上述静电透镜间形成槽。
上述电子光学镜筒也可以具有这样的结构，即上述静电透镜包含多个电极，在上述电极间形成槽。
本发明的电子光学镜筒也可以具有这样的结构，即上述静电透镜包含电极，上述电极包含多个电极片，并在上述电极片间形成槽。
上述电子光学镜筒也具有这样的结构，即在上述筒体的一端具有电子枪室。
上述电子光学镜筒也可以在上述筒体的另一端具有二次电子检测器。
上述电子光学镜筒可在上述筒体的一端将安装电子枪室用的法兰与筒体成一整体设置。
上述电子光学镜筒也可在上述筒体的一端将构成电子枪室侧壁的筒部与上述筒体成一整体设置。
本发明的扫描型电子显微镜包含上述镜筒。
本发明的离子束装置包含上述的镜筒。
本发明的电子光学镜筒的制造方法，具有以下步骤(1)在筒体的内表面涂覆导电材料膜的步骤，(2)通过去除上述涂覆的导电材料膜的一部分，获得1组构成静电透镜用的电极的步骤。
或是，电子光学镜筒的制造方法也可以具有″通过在筒体的内表面以规定的图形涂覆导电材料，以获得1组构成透镜用的电极的步骤″。
或是，本发明的电子光学镜筒的制造方法，也可具有以下步骤(1)在筒体的内表面涂覆导电材料的步骤，(2)通过去除上述涂覆的导电材料膜的一部分，获得构成1个或多个透镜用的多个电极的步骤，(3)利用配线连接上述多个电极中的同电位的电极的步骤。
或是，本发明的电子光学镜筒的制造方法也可具有以下所述步骤(1)在筒体的内表面涂覆导电材料的步骤，
(2)通过去除上述涂覆的导电材料膜的一部分，获得构成静电透镜用的电极用的多个电极片的步骤，(3)利用配线连接上述多个电极片中的同电位的电极片的步骤。
或是，本发明的电子光学镜筒的制造方法具有以下所述步骤(1)在内筒的外表面上配置配线的步骤，(2)在上述步骤(1)之前或之后，在上述内筒上形成将应配置于上述内筒的内表面的电极与上述配线连接用的通孔的步骤，(3)在上述内筒的外侧配装外筒的步骤，(4)在上述步骤(3)之前或之后，在上述外筒形成将上述配线与外部电路加以连接用的通孔的步骤。
图1是本发明第1实施形态的镜筒在纵剖面上省略配线的说明图；图2是沿图1中A-A线的剖面的示意图；图3是对图1镜筒中的透镜作用进行说明用的说明图；图4是图2中核心部位的放大图；图5是沿图1B-B线的剖面的核心部位的示意图；图6是图1镜筒中用的电子枪室的纵剖面图；图7是在图1镜筒中加上配线的说明图；图8是沿图7中C-C线的剖面图；图9是沿图7中D-D线的剖面图；图10是沿图7中E-E线的剖面图；图11A～11D是说明图1镜筒的制造方法用的说明图；图12A～12F是说明图1镜筒的制造方法用的说明图；图13是本发明第2实施形态的镜筒的纵剖面的说明图；图14是说明本发明第4实施形态的配线构造用的示意图；
具体实施方式
下面参照图1～图12，对本发明第1实施形态的电子光学镜筒进行说明。本实施形态的镜筒，具有筒体1、配置于该筒体1的内表面的静电透镜(本说明书中有时简称透镜)2、电子枪室3、配线4、及二次电子检测器5。(参照图1及图7)。
筒体1包含内筒11、外筒12、及法兰13(参照图1)。作为它们的材料，在本实施形态中都采用高电阻导电性的陶瓷。此外，本实施形态中，高电阻导电性陶瓷的电阻率为108～1010Ω·cm。电阻率为108～109Ω·cm左右则更好。电阻率过高时，电荷不能够漏泄，容易发生带电。电阻率过低时，电极间的漏电流增大。该电阻率最好设定在能使电荷漏泄，以有效防止带电的程度。如果取该范围，为防止漏电流，最好设定为高电阻率。
作为本实施形态中使用的陶瓷的组成，可采用例如在主要原料的Al2O3中加入10％～20％的TiO2的组成，或可采用在主要原料ZrO2中加入约30％的Fe2O3、4％的Y2O3的组成。此外，也可采用以SiC为主要原料，加入0.2％～1％左右的B、Al2O3、Y2O3的组成。本实施形态中的陶瓷，是较高电阻(109Ω·cm左右)的材料，且密度最好接近于纯材料。按照这样的观点，最好是采用纯Al2O3或特性与其接近的、Al2O3中加入15％的TiO2的组成。利用这样的结构，筒体1的内表面(即亦内筒11的内表面111)可用高电阻导电性的陶瓷构成。此外，利用上述构成，筒体1实际上可用单一的材料(亦即高电阻导电性陶瓷)构成。内筒11及外筒12，通常可用陶瓷粉末高压成型后再经过烧结获得。
内筒11呈圆筒形。在内筒11形成连通内表面111与外表面112的通孔113(参照图7)。在通孔113的内部，配置连接于安装在内表面111的电极(后述)，且延长到外表面112的配线114。外筒12呈围绕内筒11的外侧的圆筒形。更具体地说，外筒12的内径略小于内筒11的外径，可采用热套或冷套的方法与内筒11嵌合。在外筒12，也与内筒11一样，可形成连通内表面121与外表面122的通孔123(参照图7)。在通孔123的内部，配置连接于内筒11的配线114或连接于配置在内筒11的外表面的配线4、且延长到外筒12的外表面122的配线124。
透镜2包括电子枪透镜21、像散校正器22、XY偏转器23及物镜24(参照图1)。透镜2的透镜作用示意于图3。电子枪透镜21为具备电极211、212及213的三极管型(参照图1)。这样，当使用多个电极构成1个透镜时，就把这多个电极称为1组电极。各电极211～213呈厚度薄的环状。各电极211～213的厚度可采用例如2～5μm。各电极211～213的宽度可采用例如3～6mm。该宽度通常根据透镜要获得的光学特性和加工方便来决定。各电极211～213间形成在内筒11的圆周方向上延长的槽1111。利用该槽1111，使电极211～213相互分离。在两端的电极211及213连接0V(地线)。此外，在本说明书中，对″连接地线的情况″也称为″施加电压″。在中央的电极212施加适当的电压(可产生需要的电场的电压)(关于配线将在下面说明)。
像散校正器22具备1个电极221。电极221包含沿内筒11的圆周方向配置的8个电极片2211～2218。图4表示各电极片2211～2218的配置。各电极片2211～2218间，形成沿内筒11的轴向延长的槽1112。利用槽1112，将电极221分割为电极片2211～2218。在电极片2211～2218上，通过配线(后述)分别施加以下电压。此外，0V表示与地线连接。
电极片2211、2215Vy[V]，电极片2212、2213、2216、22170[V]，电极片2214、2218Vx[V]。
这里，添加的字母x、y表示是相互垂直的方向。电压Vy表示用于消除y方向上发生的像散现象所需要的电压V。电压Vx表示用于消除垂直于y方向的x方向上发生的像散现象所需要的电压V。
具有共同电位的多个电极片，如下所述利用配线4进行相互连接。
XY偏转器23具备在圆周方向上延伸的两个电极231及232(参照图1)。电极231与电极232间由在圆周方向延伸的槽1111分离。电极231与232分别具有8个电极片2311～2318及2321～2328。图2及图5表示这些电极片的配置。在各电极片间，与像散校正器22的情况一样，形成轴向的槽1112。各电极片2311～2318及2321～2328，经由配线(后述)分别被施加以下电压电极片2311、2312、2321、2322Vy[V]，电极片2313、2318、2323、2328b0Vy[V]，电极片2314、2317、2324、2327-b0Vy[V]，电极片2315、2316、2325、2326-Vy[V]。
这里，b0=2-1]]>在这里也是，具有共同电位的多个电极片，如后所述利用配线4相互连接。
物镜24与电子枪透镜21一样，是具备电极241、242及243的三极管型(参照图1)。各电极241～243呈厚度薄的不同的环状。两端的电极241及243上连接0V(地线)。中央的电极212上施加适当的电压(能生成需要的电场的电压)(关于配线将在下面叙述)。物镜24中的别的构成与电子枪透镜21一样。
电子枪室3包含真空室31、离子泵32及电子枪阴极33(参照图6)。真空室31安装于筒体1的法兰13上。电子枪阴极33配置在与筒体1同轴的位置。电子枪阴极33的基部安装在真空室31的内表面。电子枪阴极33的前端部面向筒体1配置。
离子泵32具备磁轭(yoke)321、永久磁铁322、阴极323及阳极324。磁轭321具有圆筒形的主体3211、以及在其两端形成为一体的两个法兰3212。永久磁铁322分别安装在2个法兰3212的对向面上。阴极323配置在主体3211的侧面(外周面)。阳极324在真空室31的内表面，且配置在与阴极323对向的位置上。阴极323与阳极324可通过例如电镀或蒸镀形成。
配线4配置于内筒11与外筒12之间。在本实施形态中，配线4将与同电位的电极或电极片连接的、内筒11的配线114连接于外筒12的配线124(参照图7)。配线4包含沿筒体1的轴向延长的配线41，及沿圆周方向延长的配线42(参照图9)。配线41、如图7所示配置于以下所述的两处。为了参考，在图8中示出沿图7的C-C线的剖面图。
(1)将连接构成电子枪透镜21的电极211与213的配线114相互连接的位置处，(2)将连接构成物镜24的电极241与243的配线114相互连接的位置处。
在筒体1的圆周方向上延长的配线42配置于以下所述位置处。
(1)如图9和图10所示，分别连接XY偏转器23的电极231的电极片2311～2318中同电位电极片的位置处，(2)与上述(1)一样，分别连接电极232的电极片2321～2328中同电位电极片的位置处(未图示)，(3)与上述(1)及(2)一样，连接像散校正器22的电极片2211～2218中同电位电极片的位置处(未图示)。
二次电子检测器5安装在筒体1的前端(参照图1及图7)。二次电子检测器5的构成与已有的二次电子检测器一样，因此其说明从略。
下面根据图11及图12对本实施形态的镜筒的制造方法进行说明。首先，利用烧结等适当的方法得到内筒11和外筒12。然后，为提高尺寸的精度，最好对内筒11的内表面111进行研磨。接着，在内筒11的侧面形成在内外方向上贯通的通孔113。再用焊锡等导电材料充填通孔113的内部。以此获得内筒11中的配线114。接着，在内筒11的外表面112形成配线4(图11A)。配线4可通过电镀或蒸镀等任意方法形成。
然后在内筒11的外侧，利用热套或冷套方法装配外筒12(图11B)。接着在外筒12的侧面形成在内外方向上贯通外筒12的通孔123(图11C)。接着，与通孔113的情况一样，用导电材料充填通孔123的内部(图11D)。这样，可获得外筒12的配线124。上述各通孔及配线的位置采用预先决定的位置。然后，在内筒11和外筒12的端部安装法兰13。这样，可获得筒体1(图12A及B)。此外，在图12中，示于图11的配线及通孔都被省略。
然后，在内筒11的内表面，通过电镀及蒸镀等手段形成金属涂膜V(图12C、D)。金属涂膜V形成后，可进行研磨以提高表面精度。然后，形成分割各透镜及电极的槽1111及1112(图12E、F)。作为槽1111及1112的形成方法，例如可采用利用光刻的蚀刻方法。当然，也可以通过机械加工形成这些槽。这样，通过形成槽，将金属涂膜V分割，可以获得电极或电极片。
下面对本发明的镜筒的工作进行说明。首先说明电子枪室3(参照图6)的工作。在电子枪室3中，在阴极323与阳极324之间施加高电压。以此从阴极拉出的电子，在永久磁铁322产生的磁场的作用下做螺旋运动，其间，与残留的气体分子碰撞。这样，使残留气体分子离子化，并被吸附于阴极323上。由于这样的离子泵的作用是众所周知的，所以这里说明从略。这样，可使离子泵32的内部形成高真空。
接着，由于电子枪透镜21的作用，电子从电子枪阴极33被拉出。被拉出的电子通过像散校正器22、XY偏转器23和物镜24，到达对象物(参照图3)。
采用本实施形态的镜筒，由于筒体1、特别是内筒11，具有高电阻的导电性，因此、可使电极间的充电量(散射电子堆积在从电极间露出的绝缘物表面而生成的电荷量)减少。筒体1的内表面的电阻率过高时，电极间产生充电，导致筒体1的内部的电场紊乱的问题发生。电场紊乱时，电子的集束度降低，会引起例如SEM图像的模糊。本实施形态的镜筒则容易避免这样的问题。
此外，采用本实施形态的镜筒，用单一材料构成内筒11，在内筒11的表面形成电极，因此能容易且高精度地配置电极。
又，采用本实施形态的镜筒，在内筒11与外筒12间设置配线4，因此，与在筒体1的外部设置配线的情况相比，更容易实现镜筒的小型化。
此外，本实施形态的镜筒中，将共同电位的电极作为公共配线，所以，可减少筒体1的外侧的接线部位的数目。例如，在电子枪透镜21中，将共同电位的电极211与电极213作为公共配线。假设各电极分别与外部配线接线，接线数为3。与其相比，采用本实施形态，则接线数可为2。同样，通过设置配线4，在像散校正器22、XY偏转器23及物镜24，也能减少与外部配线的接线数。这样，可使在SEM和电子束装置中安装镜筒的作业容易进行。
下面参照图13对本发明第2实施形态的镜筒进行说明。本实施形态中，电子枪室3的真空室31具有筒部311及盖部312。筒部311与筒体1的法兰13构成为一体。在盖部312的内表面安装着电子枪阴极33及磁轭321。在筒部311的内表面上安装有阳极324。其他构成与上述的第1实施形态一样，因此标以相同的符号，其说明从略。
采用第2实施形态的镜筒，由于将构成真空室31的筒部311与筒体1形成为一体，因此能高精度地对电子枪室3和筒体1进行定位。
下面对本发明的第3实施形态的镜筒进行说明。该实施形态中，所有的电极都与图4或图5中的例子一样，利用轴向的槽1112进行8分割。在这种情况下，像电子枪透镜21和物镜24那样，对于旋转对称的电极用配线4；对各电极片则采用公共配线。
采用第3实施形态，由于对所有的电极都形成槽1112，因此可沿内筒11的内表面一下子形成槽1112，具有制造操作简易的优点。其他的构成及优点与上述第1实施形态一样，因此就不详细说明了。
下面参照图14对本发明的第4实施形态的镜筒进行说明。图14由于仅对配线进行说明，因而原理性地画出。该镜筒中，将电阻43串联地插入配线4。这样，将配线4作成公共配线，同时可以使施加在各电极或电极片上的电压不相同。此外，也可采用晶体管等开关元件代替电阻43。在这种情况下，可更复杂地设定施加的电压。
此外，上述实施形态及实施例只不过是简单的一个例子，并非本发明必需的构成。各部分构成只要能够达到本发明的宗旨，并不限于上面所述。
例如，上述各实施形态中，利用高电阻导电性陶瓷构成筒体1的整体。但也可以利用该组成仅构成筒体1的内表面。进而也可以仅在电极与电极片之间采用这种组成。
此外，形成电极或电极片时，也可以采用例如印刷法，以规定的图形，一开始就使它们附着。
又，在本实施形态中，镜筒采用两层构造，但不限于此，也可以采用3层以上的多层构造。
此外，本实施形态中，在陶瓷烧结后通过热套或冷套将内筒11与外筒12加以装配。但是，也可以在陶瓷高压成型后，在烧结前使两者嵌合，并在此状态下一起烧结。用这种方法也可使内筒与外筒嵌合。
工业上的可利用性采用本发明，可提供适合小型化的电子光学镜筒及其制造方法。
权利要求
1.一种电子光学镜筒，其特征在于，具有筒体、及配置于该筒体内表面的静电透镜，所述筒体的内表面呈高电阻导电性。
2.如权利要求
1所述的电子光学镜筒，其特征在于，所述筒体的内表面由具有高电阻导电性的陶瓷构成。
3.如权利要求
1所述的电子光学镜筒，其特征在于，所述筒体实际是用单一材料构成的。
4.如权利要求
3所述的电子光学镜筒，其特征在于，所述单一材料是具有高电阻导电性的陶瓷。
5.如权利要求
1～4中任一项所述的电子光学镜筒，其特征在于，所述高电阻导电性，其电阻率范围为108～1010Ω·cm。
6.如权利要求
1～5中任一项所述的电子光学镜筒，其特征在于，所述筒体具有内筒及外筒，所述内筒配置于所述外筒的内部。
7.如权利要求
6所述的电子光学镜筒，其特征在于，所述静电透镜具备在所述筒体的内侧产生电场用的电极，在所述电极连接着将电压施加于该电极用的配线，所述配线配置在所述内筒与外筒之间。
8.如权利要求
7所述的电子光学镜筒，其特征在于，所述电极形成有多个，所述配线将所述电极中的同电位的电极相互连接。
9.如权利要求
7所述的电子光学镜筒，其特征在于，所述电极形成有多个，所述配线通过电阻或开关元件将所述电极中的不同电位的电极相互连接。
10.如权利要求
1～6中任一项所述的电子光学镜筒，其特征在于，所述静电透镜具备在所述筒体的内侧产生电场用的电极，所述电极附着于所述筒体的内表面。
11.如权利要求
1～6中任一项所述的电子光学镜筒，其特征在于，所述静电透镜形成有多个，所述各静电透镜中具备的所述电极，具备相互分离的多个电极片，所述各电极中的电极片数量取相同数量。
12.如权利要求
1～6中任一项所述的电子光学镜筒，其特征在于，所述静电透镜形成有多个，所述各静电透镜具备电极，所述电极具备相互分离的多个电极片，所述电极片中同电位的电极片用配线相互电连接。
13.如权利要求
1所述的电子光学镜筒，其特征在于，所述筒体具有内筒及外筒，所述内筒配置于所述外筒的内侧，所述静电透镜形成有多个，所述各静电透镜具备在所述筒体的内侧产生电场用的电极，所述电极附着于所述筒体的内表面，所述电极具备相互分离的多个电极片，所述电极片中同电位的电极片用配线相互电气连接，所述配线配置于所述内筒与所述外筒之间。
14.如权利要求
1所述的电子光学镜筒，其特征在于，所述筒体具有内筒及外筒，所述内筒配置于所述外筒的内侧，所述静电透镜形成有多个，所述各静电透镜具备在所述筒体的内侧产生电场用的电极，所述电极附着于所述筒体的内表面，所述电极具备相互分离的多个电极片，所述电极片通过对这些电极片施加不同电压用的配线及电阻相互连接，所述配线及电阻配置于所述内筒与外筒之间。
15.如权利要求
1所述的电子光学镜筒，其特征在于，所述筒体具有内筒及外筒，所述内筒配置于所述外筒的内侧，所述静电透镜形成有多个，所述各静电透镜具备在所述筒体的内侧产生电场用的电极，所述电极附着于所述筒体的内表面，所述电极具备相互分离的多个电极片，所述电极片通过对这些电极片施加不同电压用的配线及开关元件相互连接，所述配线及开关元件配置于所述内筒与所述外筒之间。
16.如权利要求
1～6中任一项所述的电子光学镜筒，其特征在于，所述静电透镜形成有多个，在所述静电透镜间形成有槽。
17.如权利要求
1～6中任一项所述的电子光学镜筒，其特征在于，所述静电透镜具备多个电极，在所述电极间形成有槽。
18.如权利要求
1～6中任一项所述的电子光学镜筒，其特征在于，所述静电透镜具备电极，所述电极具备多个电极片，在所述电极片间形成有槽。
19.如权利要求
1～18中任一项所述的电子光学镜筒，其特征在于，在所述筒体的一端具有电子枪室。
20.如权利要求
1～19中任一项所述的电子光学镜筒，其特征在于，在所述筒体的另一端具有二次电子检测器。
21.如权利要求
1～20中任一项所述的电子光学镜筒，其特征在于，在所述筒体的一端，安装电子枪室用的法兰与筒体成一整体设置。
22.如权利要求
1～21中任一项所述的电子光学镜筒，其特征在于，在所述筒体的一端，构成电子枪室的侧壁的筒部与所述筒体成一整体设置。
23.一种扫描型电子显微镜，其特征在于，具备权利要求
1～22中的任一项所述的镜筒。
24.一种离子束装置，其特征在于，含权利要求
1～18中的任一项所述的镜筒。
25.一种电子光学镜筒的制造方法，其特征在于，具有以下步骤，(1)在筒体的内表面涂覆导电材料膜的步骤，以及(2)通过去除所述涂覆的导电材料膜的一部分，获得1组构成静电透镜用的电极的步骤。
26.一种电子光学镜筒的制造方法，其特征在于，具有通过以规定的图形在筒体的内表面涂覆导电材料膜，以获得一组构成透镜用的电极的步骤。
27.一种电子光学镜筒的制造方法，其特征在于，具有以下步骤，(1)在筒体的内表面涂覆导电材料的步骤，(2)通过去除所述涂覆的导电材料膜的一部分，以获得构成1个或多个透镜用的多个电极的步骤，(3)利用配线连接所述多个电极中同电位的电极的步骤。
28.一种电子光学镜筒的制造方法，其特征在于，具有以下步骤，(1)在筒体的内表面涂覆导电材料的步骤，(2)通过去除所述涂覆的导电材料膜的一部分，以获得构成静电透镜中电极用的多个电极片的步骤，(3)利用配线连接所述多个电极片中同电位的电极片的步骤。
29.一种电子光学镜筒的制造方法，其特征在于，具有以下步骤，(1)在内筒的外表面配置配线的步骤，(2)在所述步骤(1)之前或之后，在所述内筒形成连接要配置于内筒内表面的电极与所述配线用的通孔的步骤，(3)在所述内筒的外侧装配外筒的步骤，以及(4)在所述步骤(3)之前或之后，在所述外筒形成连接所述配线与外部电路用的通孔的步骤。
专利摘要
本发明提供适于小型化的电子光学镜筒及其制造方法。筒体(1)包含内筒(11)及外筒(12)。筒体整体上以具有高电阻导电性的陶瓷构成。在内筒的内表面(111)，利用电镀、蒸镀等手段获得静电透镜(21、22、23、24)。用公共配线连接构成透镜的电极或电极片(211～213、221、231、232、241～243)中的具有共同电位的电极或电极片。这样，可使共同电位的电极或电极片与外部配线进行集中连接。
文档编号G21K1/08GKCN1659678SQ03812860
公开日2005年8月24日 申请日期2003年6月10日
发明者奥村胜弥, 三好元介 申请人:株式会社东京大学Tlo导出引文BiBTeX, EndNote, RefMan