专利名称：激光器谐振腔装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种激光技术，特别适用于二氧化碳激光器自适应光学模式补偿激光谐振腔场合。
由于CO2激光器加工机中对激光器输出的光束质量要求很高，希望获得低价模运转，而目前CO2激光器的谐振腔均采用固定面形反射镜，很难获得高的光束质量。激光器在高功率运行状态时，由于激光器激活介质的折射率随机变化以及腔反射镜热变形，使激光输出功率严重下降和模式畸变。
针对上述现有技术存在的缺点，本实用新型的任务是提供一种激光器自适应光学模式补偿激光谐振腔装置。
本实用新型通过以下技术措施实施。它由变形反射镜8和输出镜2构成一个谐振腔，变形反射镜8与波前校正装置7联接，波前校正装置7的输入端与伺服控制器6的输出端联接，伺服控制器6的输入端与微机5的输出端联接，微机5的输入端与光电探测器4联接，3为采样镜。
本实用新型的优点(一)本装置采用三自由度波前模式可变形反射镜，既有利于信号处理和伺服控制，又能消除腔内绝大部相位畸变，显著改善激光光束质量和功率。(二)热释电探测器以LiTaO3为材料，在高温下工作能承受高的辐射能量，且不退极化，其物理化学性能稳定且具有充分的余度，对激光加工机、光通信发射机的输出光束质量和功率有明显的改善和提高。
如下附图1.二氧化碳激光器自适应光学模式补偿激光谐振腔装置结构原理图。
结合附图对本实用新型作进一步说明如下图1为CO2激光器自适应光学模式补偿激光谐振腔，激光介质1在输出镜2和变形反射镜8组成的谐振腔内产生光振荡，输出激光束由采样镜3分出一部分光束送给光电探测器4，经光电变换后将包含谐振腔各种随机象差的光电信号送至微机5，伺服控制系统6根据微机处理结果驱动波前校正装置7，由变形反射镜8产生相应的形变，从而校正腔内随机象差。
权利要求1.一种激光器谐振腔装置，它由输出镜和反射镜构成，其特征为所述反射镜为变形反射镜(8)，它与输出镜(2)组成一谐振腔，变形反射镜(8)与波前校正装置(7)联接，波前校正装置(7)的输入端与伺服控制器(6)的输出端联接，伺服控制器(6)的输入端与微机(5)的输出端联接，微机(5)的输入端与光电探测器(4)联接，(3)为采样镜。
专利摘要本实用新型涉及一种激光技术,特别适用于二氧化碳激光器自适应光学模式补偿激光谐振腔场合。它由变形反射镜与输出镜组成一谐振腔,变形反射镜与波前校正装置、伺服控制器、微机及光电探测器联接,谐振腔一侧设采样镜。由于采用三自由度波前模式可变形反射镜,既有利于信号处理和伺服控制,又能消除腔内绝大部分相位畸变,显著改善激光光束质量和功率。
文档编号H01S3/08GK2276674SQ9620396
公开日1998年3月18日 申请日期1996年2月12日 优先权日1996年2月12日
发明者叶嘉雄, 张国平, 张学明, 李思涛, 汪伟峰, 沈永平 申请人:华中理工大学