光112之间的脉冲开始时间的差值可调整，如第一整合脉冲激光113的脉冲宽度较大，则可将上述差值减小，以减小合成的第一整合脉冲激光113的脉冲宽度；如第一整合脉冲激光113的脉冲宽度较小，则可将上述差值增大，以增大合成的第一整合脉冲激光113的脉冲宽度。因此合成的第一整合脉冲激光113的脉冲宽度以及脉冲峰值可做相应的调整，从而可形成相应的脉冲宽度以及脉冲峰值的第一整合脉冲激光113。
[0038]本优选实施例的激光脉冲调制装置使用双激光源形成功率以及脉宽适合的整合激光脉冲，从而提高了产品的良率，且操作难度较小。
[0039]请参照图3，图3为本发明的激光脉冲调制装置的第二优选实施例的结构示意图。在第一优选实施例的基础上，本优选实施例的激光脉冲装置20还包括分光镜21以及反射镜组合22。该分光镜21用于对入射光线进行分光处理，以形成第一分光激光211以及第二分光激光212 ;该分光镜21的透光率优选为30%至50%，该分光镜21的反射率优选为50%至70%。反射镜组合22用于将分光镜21出射的第二分光激光212反射至分光镜。该反射镜22包括用于调整第二分光激光212的传播方向的多个反射镜221。
[0040]请参照图4A和图4B，图4A为本发明的激光脉冲调制装置的第二优选实施例的激光脉冲波形图之一；图4B为本发明的激光脉冲调制装置的第二优选实施例的激光脉冲波形图之二。在本优选实施例中第一线偏振脉冲激光111的脉冲宽度等于第二线偏振脉冲激光112的脉冲宽度，如均为20ns。第一线偏振脉冲激光111的脉冲开始时间与第二线偏振脉冲激光112的脉冲开始时间的差值为10ns。具体如图4A所示，其中实线的波形为第一线偏振脉冲激光111经分光镜21以及反射镜组合22处理后的波形，虚线的波形为第二线偏振脉冲激光112经分光镜21以及反射镜组合22处理后的波形。上述图4A中的激光相互叠加，形成第二整合脉冲激光213，第二整合脉冲激光213的脉冲宽度为50ns至80ns，具体如图4B所示，其中实现的波形为第二整合脉冲激光213的波形。
[0041]本优选实施例的激光脉冲调制装置20使用时，第一激光源11产生振动方向与传播方向平行的第一线偏振脉冲激光111，该第一线偏振脉冲激光111直接入射至偏振分光镜13。第二激光源12产生振动方向与传播方向垂直的第二线偏振脉冲激光112，该第二线偏振脉冲激光112经反射镜入射至偏振分光镜13。偏光分光镜13对第一线偏振脉冲激光111进行全透射操作，偏光分光镜13对第二线偏振脉冲激光112进行全反射操作，第一线偏振脉冲激光111和第二线偏振脉冲激光112进行叠加，形成第一整合脉冲激光113。
[0042]随后第一整合脉冲激光113入射至分光镜21，分光镜21对第一整合脉冲激光113进行分光处理，以形成第一分光激光211以及第二分光激光212。其中第一分光激光211直接对非晶硅层14进行照射；第二分光激光212通过反射镜组合22中的多个反射镜，重新入射到分光镜21上，分光镜21对该第二分光激光212再次进行分光处理，分光镜21进行多次分光操作后形成多个第一分光激光211 (如图4A所示)，分光镜21出射多条第一分光激光211相互叠加，形成第二整合脉冲激光213 (如图4B所示)。最后该第二整合脉冲激光213对非晶硅层14进行照射，形成相应的多晶硅层。
[0043]从图4A和图4B可知，分光镜21和反射镜组合22的组合可较好的扩大第二整合脉冲激光213的脉冲宽度以及降低第二整合脉冲激光213的峰值脉冲，使第二整合脉冲激光213的脉冲宽度大于第一整合脉冲激光113的脉冲宽度。该转换操作简单，且可很好的避免氢爆现象的发生，以形成质量较好的多晶硅薄膜。
[0044]本发明的激光脉冲调制装置使用双激光源形成功率及脉宽适合的整合激光脉冲，从而提高了产品的良率，且操作难度较小；解决了现有的激光脉冲调制装置的易产生氢爆现象以及操作难度较大的技术问题。
[0045]综上所述，虽然本发明已以优选实施例揭露如上，但上述优选实施例并非用以限制本发明，本领域的普通技术人员，在不脱离本发明的精神和范围内，均可作各种更动与润饰，因此本发明的保护范围以权利要求界定的范围为准。
【主权项】
1.一种激光脉冲调制装置，其特征在于，包括: 第一激光源，用于产生振动方向与传播方向平行的第一线偏振脉冲激光； 第二激光源，用于产生振动方向与传播方向垂直的第二线偏振脉冲激光；以及 偏振分光镜，用于对所述第一线偏振脉冲激光和所述第二线偏振脉冲激光进行叠加，以形成第一整合脉冲激光； 其中所述第一整合脉冲激光的脉冲宽度大于所述第一线偏振脉冲激光的脉冲宽度，所述第一整合脉冲激光的脉冲宽度大于所述第二线偏振脉冲激光的脉冲宽度。
2.根据权利要求1所述的激光脉冲调制装置，其特征在于，所述激光脉冲调制装置还包括: 分光镜，用于对入射光线进行分光处理，以形成第一分光激光以及第二分光激光；以及 反射镜组合，用于将所述分光镜出射的第二分光激光反射至所述分光镜。
3.根据权利要求2所述的激光脉冲调制装置，其特征在于，所述反射镜组合包括用于调整所述第二分光激光的传播方向的多个反射镜。
4.根据权利要求2所述的激光脉冲调制装置，其特征在于，所述分光镜出射的多条所述第一分光激光相互叠加，以形成第二整合脉冲激光。
5.根据权利要求4所述的激光脉冲调制装置，其特征在于，所述第二整合脉冲激光的脉冲宽度大于所述第一整合脉冲激光的脉冲宽度。
6.根据权利要求2所述的激光脉冲调制装置，其特征在于，所述分光镜的透光率为20 %至50 %，所述分光镜的反射率为50 %至80 %。
7.根据权利要求1或2所述的激光脉冲调制装置，其特征在于，所述第一线偏振脉冲激光在所述偏振分光镜上发生全透射；，所述第二线偏振脉冲激光在所述偏振分光镜上发生全反射。
8.根据权利要求1或2所述的激光脉冲调制装置，其特征在于，所述第一线偏振脉冲激光的脉冲宽度等于所述第二线偏振脉冲激光的脉冲宽度。
9.根据权利要求8所述的激光脉冲调制装置，其特征在于，所述第一线偏振脉冲激光的脉冲开始时间与所述第二线偏振脉冲激光的脉冲开始时间的差值小于所述脉冲宽度。.
10.根据权利要求8所述的激光脉冲调制装置，其特征在于，所述第一线偏振脉冲激光的脉冲宽度的范围为20纳秒至200纳秒。
【专利摘要】本发明提供一种激光脉冲调制装置，其包括第一激光源、第二激光源以及偏振分光镜；第一激光源用于产生振动方向与传播方向平行的第一线偏振脉冲激光，第二激光源用于产生振动方向与传播方向垂直的第二线偏振脉冲激光，偏振分光镜用于对第一线偏振脉冲激光和第二线偏振脉冲激光进行叠加，以形成第一整合脉冲激光。本发明的激光脉冲调制装置使用双激光源形成功率及脉冲宽度合适的整合激光脉冲，提高了激光退火过程中的可调制性,增加工艺中加工余量。
【IPC分类】H01S5-06
【公开号】CN104734003
【申请号】CN201510145145
【发明人】叶昱均
【申请人】深圳市华星光电技术有限公司, 武汉华星光电技术有限公司
【公开日】2015年6月24日
【申请日】2015年3月30日