准分子放电灯装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种准分子放电灯装置。更详细地讲，涉及用于清洁处理以及杀菌处理等的准分子放电灯装置。
【背景技术】
[0002]以往，准分子放电灯被用于清洁处理或杀菌处理等。作为准分子放电灯的一种，如图7所示，有如下放电灯，具备在发光部52的两端部形成有密封部53、53的棒状的发光管51，在发光部52的外周面配置有网状的外侧电极56，在发光管51的内部配置有内部电极57 (例如参照专利文献I)。该准分子放电灯中，发光管51由石英玻璃构成。并且，在发光部52的内部，作为发光气体例如封入有氙气(Xe)，该发光气体的封入压力为20?200kPa。密封部53、53通过一边加热发光管形成材料(石英玻璃管)的端部一边挤压的夹封法形成。
[0003]并且，内部电极57通过沿发光管51的中心轴配置的金属棒构成，其两端部与买设在密封部53、53的内部的金属箔58、58的一端连接，并由密封部53、53支撑。金属箔58、58的另一端上连接有外部引线59、59的一端部，该外部引线59、59的另一端部从密封部53、53的外端向外部突出。
[0004]但是，这种结构的准分子放电灯由于外侧电极56露在外部，因此有工作人员等接触点灯状态的准分子放电灯的外侧电极56的可能。并且，点灯状态的准分子放电灯为高温，因此还存在构成外侧电极56的电极材料容易蒸发的问题。进而也存在由于照射来自准分子放电灯的光而从被照射物产生的飞散物附着到该准分子放电灯的表面的问题。
[0005]为了解决上述问题，例如使用如图8所示准分子放电灯61的发光管62例如被由石英玻璃构成的保护管71覆盖而成的准分子放电灯装置60(例如参照专利文献2)。
[000?]在该准分子放电灯装置60中，准分子放电灯61具备石英玻璃制的棒状发光管62，在该发光管62的外周面，沿该发光管62的中心轴延伸的一对带状的外侧电极63、63相互对置，且相对于该中心轴对称配置。外侧电极63、63通过由钼等构成的长条的金属板的一部分构成，并紧贴固定在发光管62的外周面。在发光管62的内部封入有氙气(Xe)等发光气体。
[0007]并且，保护管71以包覆发光管62的整体的方式同轴状设置，在保护管71与发光管62之间形成有大致圆筒状的空间。该空间为减压状态或填充有氮气等惰性气体的状态。在保护管71的两端部分别埋设有钼箔72、72，该钼箔72、72上连接有构成外侧电极63、63的金属板，并且连接有从保护管71的两端部分别突出到外部的外部引线74、74。并且，在保护管71的内部，发光管62被构成外侧电极63、63的金属板和钼箔72、72支撑。
[0008]但是，这种结构的准分子放电灯装置60由于发光管62被钼箔72、72和构成外侧电极63、63的金属板支撑，因此存在应对从外部施加的振动冲击的耐性小的问题。
[0009]并且，准分子放电灯装置60在制造工序中具体而言为在使用玻璃加工车床对保护管形成用材料(石英玻璃管)进行密封以及除气的过程中，发光管62的位置容易位移，因此很难将发光管62以高位置精度配置在保护管71的内部。因此，还存在以下问题，发光管62容易成为相对于保护管71偏心的状态，即容易成为保护管71的中心轴与发光管62的中心轴大幅偏斜的状态。在这里，在准分子放电灯装置60成为保护管71的中心轴与发光管62的中心轴大幅偏斜的状态时，即使被照射物与保护管71为正确的位置关系即被照射物与保护管71处于平行的状态，发光管62与被照射物之间的距离在发光管62的轴向上也不均匀。因此产生不能以高均匀性对被照射物照射光的问题。
[0010]专利文献1:日本特开2013 — 257999号公报
[0011]专利文献2:日本特开2009 — 224089号公报
【发明内容】
[0012]本发明是鉴于上述问题而做出的，其目的在于提供一种准分子放电灯装置，对于从外部施加的振动冲击具有高的耐性，并且能够准确地限制准分子放电灯的位置，因此能够以高均匀性照射光。
[0013]本发明的一种准分子放电灯装置，其特征在于，具备:棒状的准分子放电灯；以及棒状的保护管，在内部封入该准分子放电灯，并沿着该准分子放电灯的轴向延伸，在上述保护管上，在一个端部的内表面形成有凹部，上述准分子放电灯在一个端部具有插入到上述保护管的凹部的被支撑部。
[0014]本发明的准分子放电灯装置优选为，上述被支撑部由被设置成向准分子放电灯的轴向外方突出的突出部件形成。
[0015]在该构成的本发明的准分子放电灯装置中，优选在上述突出部件上设置有与上述保护管的凹部的内表面接触的缓冲部件。
[0016]并且，本发明的准分子放电灯装置，优选上述准分子放电灯具备:发光管，具有在内部封入有发光气体的发光部、以及与该发光部的两端分别连续设置的密封部;外侧电极，配置在该发光部的外周面；以及内部电极，配置在发光部的内部，上述突出部件由不与上述内部电极电连接的金属棒构成。
[0017]并且，在本发明的准分子放电灯装置中，优选上述缓冲部件通过网状的导电部件而与上述外侧电极一体地构成。
[0018]发明效果
[0019]根据本发明的准分子放电灯装置，在保护管的内部，准分子放电灯被以该准分子放电灯的被支撑部插入到保护管的凹部内部的状态保持。因此，能够准确地限制准分子放电灯相对于保护管的位置，将准分子放电灯以高位置精度配置在所期望的位置，因此能够以高均匀性照射光，并且相对于从外部施加的振动冲击能够得到高的耐性。另外，即使由金属形成被支撑部，也不会因该被支撑部的热膨胀而在保护管上产生裂痕。
【附图说明】
[0020]图1是以将一部分用沿轴向的截面切断的状态表示本发明的准分子放电灯装置的一例的概略结构的说明用局部剖面图。
[0021]图2是放大表示图1的主要部分的说明用放大图。
[0022]图3是表示本发明的准分子放电灯装置中的缓冲部件的一例的说明图。
[0023]图4是表示本发明的准分子放电灯装置中的缓冲部件的其他例的说明图。
[0024]图5是表示本发明的准分子放电灯装置中的缓冲部件的另一其他例的说明图。
[0025]图6是表示本发明的准分子放电灯装置中的缓冲部件的又一其他例的说明图。
[0026]图7是表示以往的准分子放电灯的一例的结构的说明用剖面图。
[0027]图8是表示以往的准分子放电灯装置的一例的概略结构的说明用剖面图。
[0028]符号说明
[0029]10准分子放电灯装置
[0030]11准分子放电灯
[0031]12发光管
[0032]13发光部
[0033]14a一个密封部
[0034]14b另一个密封部
[0035]16突出部件
[0036]18缓冲部件
[0037]19吸气剂
[0038]20内部电极
[0039]21金属箔
[0040]22内部电极用外部引线[0041 ]25外侧电极
[0042]30保护管
[0043]31光透射部
[0044]32光非透射部
[0045]33凹部
[0046]35密封部件
[0047]40金属箔
[0048]41供电线
[0049]42内部引线
[0050]43外部电极用外部引线[0051 ]45底座部件
[0052]46供电线
[0053]A发光管的中心轴(灯中心轴)
[0054]51发光管
[0055]52发光部
[0056]53密封部
[0057]56外侧电极
[0058]57内部电极
[0059]58金属箔
[0060]59外部引线
[0061 ]60准分子放电灯装置
[0062]61准分子放电灯
[0063]62发光管
[0064]63外侧电极
[0065]71保护管
[0066]72钼箔
[0067]74外部引线
【具体实施方式】
[0068]以下，对本发明的准分子放电灯装置的实施方式进行说明。
[0069]图1是以将一部分用沿轴向的截面切断的状态表示本发明的准分子放电灯装置的一例的概略结构的说明用局部剖面图。
[0070]该准分子放电灯装置10具备棒状的准分子放电灯11，该准分子放电灯装置10是该准分子放电灯11被封入到在一端部的内表面形成有凹部33的棒状的保护管30的内部而成的。在该保护管30的内部，准分子放电灯11被配置成沿保护管30的中心轴延伸。
[0071]准分子放电灯11具备发光管12，该发光管12具有圆管状的发光部13以及与发光部13的两端分别连续设置的密封部14a、14b。
[0072]在该图的例中，发光管12的一个密封部14a具有由夹封法(Pinch seal method)形成的扁平的形状，另一个密封部14b具有由收缩密封法(Shrink seal method)形成的圆柱状的形状。发光管12例如由合成石英玻璃形成。
[0073]在发光部13的内部，金属线卷绕成线圈状而成的内部电极20以线圈轴与发光管12的中心轴A—致的状态配置成沿该中心轴A延伸。内部电极20的另一端部经由气密地埋设在另一个密封部14b的金属箔21，与从另一个密封部14b的外端向轴向外方突出的内部电极用外部引线22电连接。并且，内部电极20的一端部通过另一个密封部14b支撑。
[0074]并且，在发光部13的内部填充有发光气体。作为发光气体，例如能够使用氙气(Xe)、氩气