气压平衡装置、反应室抽气系统以及半导体机台的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及集成电路制造领域，尤其是一种气压平衡装置、反应室抽气系统以及半导体机台。
【背景技术】
[0002]晶圆的各项制程需要在机台上的反应室内完成，所述反应室通过一泵送管与一泵连接，所述泵与一尾气处理设备连接，在所述晶圆的制程过程中，所述泵向所述反应室内提供动力，将所述反应室内的气压控制在一定的要求内，比如根据各种反应室的要求，将所述反应室内的气压控制在6Torr、8Torr、1Torr或者20Torr等以内，以保证所述反应室的正常工作，而制程过程中产生的尾气则通过所述尾气处理设备排出。
[0003]但在晶圆的制程过程中，会发生所述泵突然卡死的情况，当所述泵卡死时，所述泵会逐渐的减慢转速，慢慢的停止工作，所述泵及所述泵送管中的气体会倒灌入所述反应室中，从而导致所述反应室中的产品大量报废。
[0004]目前尚无合理的方案来解决所述泵送管及所述泵中气体倒灌的问题，因而会导致产品的大量报废。而对所述泵的卡死问题的整修，则是需要拆卸大量的部件，例如:气管、滑阀、过滤器以及反应室等，需要花费大量的时间、人力和物力，进一步加大了损失。
【实用新型内容】
[0005]本实用新型的目的在于提供一种气压平衡装置，以解决由于泵卡死而引起的泵送管和泵中的气体倒灌入反应室的问题。
[0006]为了达到上述目的，本实用新型提供了一种气压平衡装置，用于反应室的气压控制，所述反应室和一第一泵通过第一泵送管连接，所述气压平衡装置包括:
[0007]气压测量装置，所述气压测量装置位于所述反应室内；
[0008]控制器，所述控制器与所述气压测量装置连接；
[0009]第二泵；
[0010]第二泵送管，所述第二泵送管的一端与第一泵送管连接，所述第二泵送管的另一端与所述第二泵连接；
[0011]隔离阀，所述隔离阀与所述控制器连接，所述隔离阀位于所述第二泵送管上。
[0012]优选的，在上述的气压平衡装置中，所述隔离阀的响应时间小于所述反应室的响应时间。
[0013]优选的，在上述的气压平衡装置中，所述第一泵和所述第二泵相互独立。
[0014]优选的，在上述的气压平衡装置中，所述第二泵与所述反应室相互独立。
[0015]优选的，在上述的气压平衡装置中，所述控制器为一电子开关。
[0016]优选的，在上述的气压平衡装置中，所述气压测量装置为真空气压计。
[0017]一种反应室抽气系统，包括反应室、第一泵、第一泵送管以及如上所述的气压平衡装置，所述反应室和所述第一泵通过所述第一泵送管连接。
[0018]优选的，在上述的反应室抽气系统中，所述反应室抽气系统还包括尾气处理设备，所述第一泵和所述第二泵分别与所述尾气处理设备连接。
[0019]优选的，在上述的反应室抽气系统中，所述反应室抽气系统还包括一排气装置，所述排气装置与所述尾气处理设备连接，所述尾气处理设备内的尾气通过所述排气装置排出。
[0020]优选的，在上述的反应室抽气系统中，所述第一泵通过一第一管线与所述尾气处理设备连接，所述第二泵通过一第二管线与所述尾气处理设备连接。
[0021]优选的，在上述的反应室抽气系统中，所述第一管线和所述第二管线相互独立。
[0022]一种半导体机台，包括如上所述的反应室抽气系统。
[0023]在本实用新型提供的气压平衡装置、反应室抽气系统以及半导体机台中，当所述气压测量装置测量所述反应室内的气压达到一特定值时，即当所述第一泵卡死逐渐停止工作时，所述气压测量装置就向所述控制器发出一触发信号，同时所述控制器触发与所述控制器连接的隔离阀，使所述隔离阀打开，通过与所述隔离阀连接的所述第二泵为所述反应室提供动力，抽取所述反应室内的气体，避免所述泵送管与所述第一泵中的气体倒灌入所述反应室内，避免了所述反应室内的产品报废，从而节省了成本。
【附图说明】
[0024]图1为本实用新型实施例中反应室抽气系统的结构示意图；
[0025]图中:101-反应室；102_第一泵；103_第一泵送管；104_隔离阀；105_第二泵；106-尾气处理设备；107_排气装置；108_第一管线；109_第二管线；110_气压测量装置；111-控制器；112-第二泵送管。
【具体实施方式】
[0026]下面将结合示意图对本实用新型的【具体实施方式】进行详细的描述。根据下列描述并结合权利要求书，本实用新型的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比率，仅用以方便、明晰地辅助说明本实用新型实施例的目的。
[0027]本实用新型提供了一种反应室抽气系统，如图1所示，包括反应室、第一泵、第一泵送管以及一种气压平衡装置，所述第一泵送管的一端与所述反应室连接，所述第一泵送管的另一端与所述第一泵连接。具体的，所述第一泵送管的一端与所述反应室连接，所述第一泵送管的另一端与所述第一泵连接。
[0028]其中，所述气压平衡装置用于所述反应室抽气系统中反应室的气压控制，所述反应室和所述第一泵通过所述第一泵送管连接，包括:
[0029]设置在所述反应室101内的气压测量装置110，与所述气压测量装置110连接的控制器111，第二泵105，第二泵送管112，所述第二泵送管112的一端与第一泵送管103连接，所述第二泵送管112的另一端与所述第二泵105连接，以及与所述控制器111连接的隔离阀104，所述隔离阀104位于所述第二泵送管112上。
[0030]具体的，所述气压测量装置110位于所述反应室101内，用于监测所述反应室101内的气压值。当与所述反应室101通过第一泵送管103连接的第一泵102卡死时，也就是说当所述第一泵102逐渐减慢转速，逐渐停止工作时，所述第一泵102抽取所述反应室101内气体的动力逐渐不足，使得所述反应室101内的气压逐渐增大，当所述反应室101内的气压达到一第一临界值时，所述气压测量装置110则向与其连接的控制器111发送一信号，从而触发所述控制器111。
[0031]在本实施例中，所述气压测量装置110为一真空气压计。也就是说当所述真空气压计监测到所述反应室101内的气压达到所述第一临界值时，就将触发所述控制器111。对于所述第一临界值的设定，针对不同的反应室设定不同的值。常用的反应室正常工作的气压临界值有6Torr、8Torr、1Torr或者20Torr等，针对不同的反应室，所述第一临界值也不同。
[0032]所述控制器111位于所述反应室101外部，在本实施例中，所述控制器111为一电子开关。当接受到所述气压测量装置110发出的信号后，所述电子开关111将控制与其连接的隔呙阀104打开。
[0033]所述隔离阀1