后，重复图2b至2c所显示的输送及翻转基板的动作，如此以完成所述翻转单元130a、130b通过吸附方式(前述所述吸嘴134的吸附力)依序将所述基板150a、150b翻面，且所述翻转单元130a、130b依序将所述基板150a、150b由所述第一承接区域112移动至所述第二承接区域114。
[0057]相较于现有技术，本实用新型的翻转单元不需要沿所述旋转方向逆向由所述第二承接区域114回到所述第一承接区域112，不会增加等待时间，如此可减少制程时间。
[0058]请参阅图3a至3e，在另一实施例中，所述翻转单元130a、130b、130c、130d沿所述枢轴124的所述旋转方向依序排列，并以所述枢轴124为中心对称排列，所述翻转单元130a、130b、130c、130d可为四个翻转单元，故相邻的两个翻转单元之间的夹角等于90度。请参阅图3a，所述输送单元110将一第一基板150a输送至所述第一承接区域112，且所述翻转单元130a的支撑臂132承接所述第一基板150a。参考图3b，所述翻转单元130a、130b、130c、130d的支撑臂132沿所述旋转方向顺向旋转，并将所述第一基板150a由所述第一承接区域112离开且翻转90度。请参阅图3c，所述输送单元110将一第二基板150b输送至所述第一承接区域112，且所述翻转单元130b的支撑臂132承接所述第二基板150b。参考图3d，所述翻转单元130a、130b、130c、130d的支撑臂132沿所述旋转方向顺向旋转，并将所述第一及第二基板150a、150b翻转90度，同时也将所述第一基板150a移动至所述第二承接区域114，以及将所述第二基板150b由所述第一承接区域112离开。请参阅图3e，所述输送单元110将所述第一基板150a输送离开所述第二承接区域114，同时将一第三基板150c输送至所述第一承接区域112，且所述翻转单元130c的支撑臂132承接所述第三基板150c。
[0059]然后，重复图3d至3e所显示的输送及翻转基板的动作，如此以完成所述翻转单元130a、130b、130c、130d通过以吸附方式依序将所述基板150a、150b、150c翻面，且所述翻转单元130a、130b、130c、130d依序将所述基板150a、150b、150c由所述第一承接区域112移动至所述第二承接区域114。
[0060]相较于现有技术，本实用新型的翻转单元在翻转速度较高情况下，以小于180度的角度进行翻转，故本实施例中以90度的翻转落下的所述基板与所述第二承接区域之间所发生的冲击力道较小，不容易造成所述基板的破碎或隐裂。再者，相较于现有技术，本实用新型的翻转单元不需要沿所述旋转方向逆向由所述第二承接区域回到所述第一承接区域，不会增加等待时间，如此可减少制程时间。
[0061]请参阅图4，在另一实施例中，所述翻转单元130沿所述枢轴的所述旋转方向依序排列，并以所述枢轴124为中心对称排列，所述翻转单元可为十二个翻转单元，故相邻的两个翻转单元130之间的夹角等于30度。相较于第二实施例，本实施例的翻转单元在翻转速度较高情况下，以30度的翻转落下的所述基板与所述第二承接区域之间发生的冲击力道更小，不容易造成所述基板的破碎或隐裂。再者，相较于现有技术，本实用新型的翻转单元不需要沿所述旋转方向逆向由所述第二承接区域回到所述第一承接区域，不会增加等待时间，如此可减少制程时间。
[0062]需要说明的是，由上述实实施例可得知，本实用新型的主要发明精神为减少硅基板翻转落下至所述第二承接区域时的角度，进而降低落下时与所述第二承接区域的冲击力道，以避免翻转时造成硅基板的破碎或隐裂。
[0063]请再参阅图4，用以翻转多个基板的输送系统100’还包含一保护罩102，用以包覆所述翻转机构120’，可避免所述支撑臂132的吸嘴134被粉尘堵塞，确保翻转单元130吸附硅基板时的稳固性。
[0064]请参阅图5a，在另一实施例中，所述输送单元110可为一移动梁输送装置，其还包含一移动梁(walking beam) 116，其穿越所述第一承接区域112或所述第二承接区域114。所述移动梁116可包含多个突出件117，用以将所述基板输送至所述第一承接区域112，并用以将所述基板输送离开所述第二承接区域114。在本实施例中，所述第一承接区域112或所述第二承接区域114可包含四个支撑座llla、lllb、lllc、llld，所述四个支撑座111a、111b、111c、llld的顶面可定义出一承接面，用以承接所述基板，其中所述支撑座的数量不以四个为限，只要能定义出一承接面即可。
[0065]请参阅图5b，在另一实施例中，所述第二承接区域114还可包含两个缓冲垫118，所述两个缓冲垫118设置于所述支撑座111a、111b、111c、11 Id上且位于所述移动梁116的两侧，且所述两个缓冲垫118用以接触所述基板，以减缓基板在落下时的冲击力道。所述缓冲垫118可为海绵材料所制，但不以海绵材料为限。所述缓冲垫118的厚度可为1?8_，但不以此厚度为限。总而言之，只要所述缓冲垫118能提供足够缓冲力即可。所述缓冲垫118可对应于所述支撑座的位置，或对应于所述基板的尺寸，以得到较好的支撑效果，其中所述缓冲垫118亦可仅设置于所述支撑座的顶面上，故所述缓冲垫118的设置不以上述为限。
[0066]请参阅图5c，在另一实施例中，由于在所述第二承接区域114加上所述缓冲垫118，因此当所述翻转单元130的两个支撑臂132将所述基板150翻转降落时，所述基板150与所述缓冲垫118为面接触，可有效分摊冲击的力道，以减少所述基板150的破碎或隐裂。同时，所述缓冲垫118在所述基板150翻转后降落到所述第二承接区域114上时产生缓冲保护的作用，可减小所述基板150与所述第二承接区域114的撞击，有效的降低碎片率。
[0067]需要说明的是，本实施例中的传输单元以举移动梁为例，但实际应用上并不以移动梁为限制，例如传送皮带或是其它输送方式也可以，主要精神为在承接区域上设置一缓冲垫118，进而降低基板落下时冲击的力道。
[0068]综上所述，本实用新型提供一种翻转机构及用以翻转多个基板的输送系统，所述翻转机构包含:一枢轴；多个翻转单元，沿所述枢轴的一旋转方向排列，并连接于所述枢轴；以及多个吸嘴，设置于所述翻转单元上；其中，所述翻转机构的两侧分别设有一第一承接区域与一第二承接区域；所述翻转单元沿所述旋转方向旋转，以所述吸嘴吸附至少一硅基板，将所述至少一硅基板由所述第一承接区域移动至所述第二承接区域。相较于现有技术，本实用新型的翻转单元在翻转速度较高情况下，小于180度的翻转落下的所述基板与所述第二承接区域之间发生的冲击力道较小，不容易造成所述基板的破碎或隐裂。再者，相较于现有技术，本实用新型的翻转单元不需要沿所述旋转方向逆向由所述第二承接区域回到所述第一承接区域，不会增加等待时间，如此可减少制程时间。另外，本实用新型的翻转单元在保护罩的包覆下，可有效避免吸嘴被粉尘堵塞。
[0069]上述实施例仅例示性说明本实用新型的原理及其功效，而非用于限制本实用新型。任何熟悉此技术的人士皆可在不违背本实用新型的精神及范畴下，对上述实施例进行修饰或改变。因此，举凡所属技术领域中具有通常知识者在未脱离本实用新型所揭示的精神与技术思想下所完成的一切等效修饰或改变，仍应由本实用新型的权利要求所涵盖。
【主权项】
1.一种翻转机构，其特征在于，包含: 一枢轴； 多个翻转单元，沿所述枢轴的一旋转方向排列，并连接于所述枢轴；以及 多个吸嘴，设置于所述翻转单元上； 其中，所述翻转机构的两侧分别设有一第一承接区域与一第二承接区域；所述翻转单元沿所述旋转方向旋转，以所述吸嘴吸附至少一硅基板，将所述至少一硅基板由所述第一承接区域移动至所述第二承接区域。2.根据权利要求1所述的翻转机构，其特征在于:所述翻转单元以所述枢轴为中心对称排列。3.根据权利要求1至2中任一项所述的翻转机构，其特征在于:所述翻转单元的数量为两个。4.根据权利要求1至2中任一项所述的翻转机构，其特征在于:所述翻转单元的数量为四个。5.根据权利要求1至2中任一项所述的翻转机构，其特征在于:所述翻转单元的数量为十二个。6.一种用以翻转多个基板的输送系统，其特征在于，包含: 一输送单元；以及如权利要求1至5中任一项所述的翻转机构，所述翻转机构沿所述输送单元行进方向的两侧分别设有所述第一承接区域及所述第二承接区域。7.根据权利要求6所述的用以翻转多个基板的输送系统，其特征在于:所述输送单元位于所述第一承接区域或所述第二承接区域，用以将所述至少一基板输送至所述第一承接区域，或用以将所述至少一基板输送离开所述第二承接区域。8.根据权利要求7所述的用以翻转多个基板的输送系统，其特征在于:所述第二承接区域包含至少一个缓冲垫。9.根据权利要求7所述的用以翻转多个基板的输送系统，其特征在于:还包含一保护罩，用以包覆所述翻转机构。
【专利摘要】本实用新型提供一种翻转机构及用以翻转多个基板的输送系统，翻转机构包含：一枢轴、多个翻转单元及多个吸嘴；翻转单元沿所述枢轴的一旋转方向依序排列连接；吸嘴设置于翻转单元上；其中翻转机构的两侧分别具有一第一承接区域与一第二承接区域，翻转单元沿旋转方向旋转，吸嘴吸附至少一硅基板，将至少一硅基板由第一承接区域移动至第二承接区域。翻转单元在翻转速度较高情况下，小于180度的翻转落下的基板与第二承接区域之间发生的冲击力道较小，不容易造成基板的破碎或隐裂；翻转单元不需要沿旋转方向逆向由第二承接区域回到第一承接区域，不会增加等待时间，可减少制程时间；翻转单元在保护罩的包覆下，可有效避免吸嘴被粉尘堵塞。<u />
【IPC分类】H01L21/677
【公开号】CN204991671
【申请号】CN201520718610
【发明人】顾海泽, 谢君霞, 刘昌杰
【申请人】茂迪(苏州)新能源有限公司
【公开日】2016年1月20日
【申请日】2015年9月17日