1床架
[0042]92滑杆93伺服马达
[0043]95晶粒存放盘。
【具体实施方式】
[0044]本实用新型实用新型的一种晶粒的挑拣设备，随附图例示的本实用新型具体实施例及其构件中，所有关于前与后、左与右、顶部与底部、上部与下部、以及水平与垂直的参考，仅用于方便进行描述，并非限制本实用新型，亦非将其构件限制于任何位置或空间方向。图式与说明书中所指定的尺寸，当可在不离开本实用新型的申请专利范围内，根据本实用新型的具体实施例的设计与需求而进行变化。
[0045]请参阅图I至图4所示，本实用新型设计一种晶粒的挑拣设备，其结构包含有:一晶粒挑拣结构10、一晶粒承载结构40及一晶粒存放结构70，该晶粒挑拣结构10设置于该晶粒承载结构40与晶粒存放结构70之间，该晶粒承载结构40与晶粒存放结构70呈面对面平行设置，可缩短晶粒5挑拣的距离，使晶粒5挑拣的速度及准确度大大提升，节省晶粒5挑拣的时间。该晶粒挑拣结构10包含有:一承载座20及一影像观察结构30，晶粒挑拣结构10上侧设有影像观察结构30，底侧设有承载座20，影像观察结构30前端设有反射镜31，承载座20底部设有一驱动马达21连接旋转盘22，旋转盘22上设有两旋转臂23，该旋转臂23—端设有吸嘴24，驱动马达可驱动旋转盘±180度旋转定位，让两旋转臂23上吸嘴24皆可吸取晶粒5。
[0046]该晶粒承载结构40—侧边设有横移床台50，横移床台50中段处设有床架51及滑杆52，滑杆52末端设有伺服马达53，床架51底侧锁设有升降床台60，升降床台60中段处设有床架61及滑杆62，滑杆62末端设有伺服马达63，升降床台60前侧设有晶粒承载部64，升降床台60顶侧另分尚设有一晶粒剥尚机65，晶粒剥尚机65前侧设有一顶针66 ；
[0047]该晶粒存放结构70—侧边设有横移床台80，横移床台80中段处设有床架81及滑杆82，滑杆82末端设有伺服马达83，床架81底侧锁设有升降床台90，升降床台90中段处设有床架91及滑杆92，滑杆92末端设有伺服马达93，升降床台90的移动平台设有一晶粒存放盘95。
[0048]借此，该晶粒挑拣结构10上旋转臂23吸嘴24吸取晶粒5后，驱动马达21驱动旋转盘22、土 180度旋转定位，可拣取黏固于该晶粒承载部64上的一晶粒5，另一旋转臂23吸嘴24可将该晶粒5位移至该晶粒存放盘95，俾使挑栋后的晶粒5可黏固于该晶粒存放盘95而定位存放，其旋转盘22可设置多个以上旋转臂23及吸嘴24节省晶粒5挑拣时间。
[0049]该晶粒承载部64及晶粒存放盘95上设有蓝膜或UV膜可黏固多个切割后的晶粒5，使该晶粒5不会受重力掉落；当晶粒5欲脱离晶粒承载部64上蓝膜或UV膜时，位于晶粒承载部64后方的晶粒剥离机65上顶针66可针顶欲脱离的晶粒5，使其容易脱离蓝膜或UV膜而被晶粒挑拣结构10所拣取。
[0050]请参阅图5至图10所示，本实用新型的挑选晶粒的动作流程示意图，该晶粒附着于晶粒承载部64后，位于晶粒承载部64后方的晶粒剥离机65上顶针66可针顶欲脱离的晶粒5，首先，晶粒承载部64可借由横移床台50及升降床台60(如图I所示)位移调整其位置，使一欲拣取的晶粒5定位于吸嘴24前端；同时，晶粒存放盘95亦位移至一定位点，接着，该吸嘴24吸取该晶粒5，使晶粒5脱离晶粒承载部64而固着于吸嘴24;随后，借由该旋转臂23的旋转，该晶粒5位移至晶粒存放盘95的如端;最后，该吸嘴24将该晶粒5压抵于晶粒存放盘95而黏固，而完成晶粒5的栋选。
[0051]请参阅图I至图4所示，该影像观察结构30借由观察来控制横移床台50、80的伺服马达53、83驱动滑杆52、82，让升降床台60、90于横移床台50、80上左右横移、及升降床台60、90的伺服马达63、93驱动滑杆62、92，让晶粒承载部64于升降床台60上上升下降，晶粒存放盘95于升降床台90上上升下降。
【主权项】
1.一种晶粒的挑拣设备，其特征在于，包含有：一晶粒承载结构、一晶粒挑拣结构及一晶粒存放结构，该晶粒挑拣结构设置于该晶粒承载结构与晶粒存放结构之间，该晶粒挑拣结构包含有:一承载座及一影像观察结构，晶粒挑拣结构上侧设有影像观察结构，底侧设有承载座，影像观察结构前端设有反射镜，承载座底部设有一驱动马达连接旋转盘，旋转盘上设有旋转臂，该旋转臂一端设有吸嘴； 该晶粒承载结构一侧边设有横移床台，横移床台中段处设有床架及滑杆，滑杆末端设有伺服马达，床架底侧锁设有升降床台，升降床台中段处设有床架及滑杆，滑杆末端设有伺服马达，升降床台前侧设有晶粒承载部，升降床台顶侧另分离设有一晶粒剥离机，晶粒剥离机前侧设有一顶针； 该晶粒存放结构一侧边设有横移床台，横移床台中段处设有床架及滑杆，滑杆末端设有伺服马达，床架底侧锁设有升降床台，升降床台中段处设有床架及滑杆，滑杆末端设有伺服马达，升降床台的移动平台设有一晶粒存放盘。2.如权利要求I所述的晶粒的挑拣设备，其特征在于:该晶粒承载部上设有可黏固多个切割后的晶粒的蓝膜。3.如权利要求I所述的晶粒的挑拣设备，其特征在于:该晶粒剥离机上设有可使黏固于晶粒承载部的晶粒容易脱离晶粒承载部的顶针。4.如权利要求I所述的晶粒的挑拣设备，其特征在于:该影像观察结构借由反射镜的反射来观察待挑拣晶粒与挑拣后晶粒的状态。5.如权利要求I所述的晶粒的挑拣设备，其特征在于:该影像观察结构借由观察来控制横移床台的伺服马达驱动滑杆，升降床台于横移床台上左右横移、及升降床台的伺服马达驱动滑杆，晶粒承载部于升降床台上上升下降，晶粒存放盘于升降床台上上升下降。6.如权利要求I所述的晶粒的挑拣设备，其特征在于：该驱动马达驱动旋转盘±180度旋转定位，旋转臂上的吸嘴拣取黏固于该晶粒承载部上的一晶粒，另一旋转臂的吸嘴将该晶粒位移至该晶粒存放盘，挑栋后的晶粒黏固于该晶粒存放盘而定位存放D7.如权利要求I所述的晶粒的挑拣设备，其特征在于:该转盘设置多个旋转臂及吸嘴。
【专利摘要】一种晶粒的挑拣设备，该晶粒的挑拣设备包含有：一晶粒承载结构、一晶粒挑拣结构及一晶粒存放结构，该晶粒挑拣结构设置于该晶粒承载结构与晶粒存放结构之间，该晶粒挑拣结构包含有：一承载座及一影像观察结构，晶粒挑拣结构上侧设有影像观察结构，底侧设有承载座，影像观察结构前端设有反射镜，承载座底部设有一驱动马达连接旋转盘，旋转盘上设有旋转臂，该旋转臂一端设有吸嘴，借此，该晶粒挑拣结构上旋转臂吸嘴吸取晶粒后，驱动马达驱动旋转盘，±180度旋转定位，可拣取黏固于该晶粒承载部上的一晶粒，将该晶粒位移至该晶粒存放盘，俾使挑拣后的晶粒可黏固于该晶粒存放盘而定位存放。
【IPC分类】H01L21/67
【公开号】CN205159293
【申请号】CN201520948576
【发明人】卢彦豪
【申请人】卢彦豪
【公开日】2016年4月13日
【申请日】2015年11月25日...