一种石英盖板的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型提出一种结构合理，能够很好的控制承载装置的位置及角度的石英盖板。
【背景技术】
[0002]在半导体装置的制造过程中，为了对被处理的芯片进行氧化、扩散及退火等处理，需使用各种热处理装置。其中对多枚芯片能同时作批处理的热处理装置，在热处理的过程中，使用承载装置进行多枚芯片的盛放；芯片在承载装置的承载下进行热处理；
[0003]该承载装置在进行热处理的过程中由一保温筒所支撑，由此隔绝成处理装置内与外界的温度交换，确保该承载装置上的芯片能受到均一的高温。
[0004]保温筒有筒体和盖板组成，然而，现有技术中盖板由于其结构不合理，导致在承载装置放置后会出现晃动，或产生位移，进而造成承载装置偏离设定位置，影响正常的生产加工。
【实用新型内容】
[0005]本实用新型提出一种结构合理，能够很好的控制承载装置的位置及角度的石英盖板。
[0006]本实用新型的技术方案是这样实现的:
[0007]一种石英盖板，包括:
[0008]用于一面与筒体连接，另一面与承载装置连接的盖体；
[0009]用于与承载装置上的凸起进行连接的固定槽组，设置在盖体上；
[0010]用于控制承载装置角度的调整槽组，设置在盖体上。
[0011]作为进一步的技术方案，固定槽组包括:
[0012]中心槽，与盖体同心设置；
[0013]第一凹槽环形组，与中心槽同心设置；
[0014]第二凹槽环形组，与中心槽同心设置。
[0015]优选的，中心槽包括1个固定凹槽，第一凹槽环形组包括7个固定凹槽；第二凹槽环形组包括14个固定凹槽。
[0016]作为进一步的技术方案，固定凹槽的边缘上设置有若干加强槽。
[0017]优选的，加强槽为4个，等间距设置在固定凹槽的边缘上。
[0018]作为进一步的技术方案，调整槽组包括:
[0019]第一环形调整组，与盖体同心设置；
[0020]第二环形调整组，将第一环形调整组设置在内部，并与盖体同心设置；
[0021]第三环形调整组，将第二环形调整组设置在内部，并与盖体同心设置。
[0022]优选的，第一环形调整组包括7个调整凹槽；第二环形调整组包括7个调整凹槽；第三环形调整组包括14个调整凹槽。
[0023]本实用新型技术方案通过将承载装置根据需要将底部的凸起设置在需要的固定槽组中，并通过调整槽组与承载装置底部的另一凸起进行连接，实现承载装置的固定及角度调整，进而实现在承载装置固定后通过双重固定不会出现晃动及位移的产生，且通过调整槽组进行位置调整避免承载装置偏离设定位置，进而提高生产加工的效率。
【附图说明】
[0024]为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0025]图1为本实用新型一种石英盖板的结构示意图。
[0026]图中:
[0027]1、盖体；2、固定凹槽；3、加强槽；4、调整凹槽。
【具体实施方式】
[0028]下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
[0029]如图1所示，本实用新型提出的一种石英盖板，包括:
[0030]盖体1的一面与筒体连接，另一面与承载装置连接；一方面通过盖体1进行筒体的密封，另一方面进行与承载装置的连接，并对承载装置进行固定；
[0031]固定槽组设置在盖体1上，并与承载装置上的凸起进行连接的，进而通过固定槽组进行承载装置的主要固定，保证其的固定位置；
[0032]其中，
[0033]固定槽组包括中心槽与盖体1同心设置；第一凹槽环形组与中心槽同心设置；第二凹槽环形组与中心槽同心设置，通过这样的设置，是的第一凹槽环形组与盖体1处于同一个圆形，并设置在中心槽外围，第二凹槽环形组设置在第一凹槽环形组外围，并于盖体1同心设置；
[0034]本实用新型中，优选的，中心槽包括1个固定凹槽2，第一凹槽环形组包括7个固定凹槽2 ;第二凹槽环形组包括14个固定凹槽2 ;
[0035]为更好的进行承载装置与固定凹槽2的配合固定，优选的固定凹槽2的边缘上设置有若干加强槽3，通过在承载装置固定时将承载装置上另外的凸起置于加强槽3内，实现加强承载装置与固定凹槽2的配合；本实用新型中优选的，加强槽3为4个，等间距设置在固定凹槽2的边缘上。这样能够在固定后保证里的均匀；
[0036]调整槽组设置在盖体1上，并与承载装置上另外的凸起进行固定，进而在承载装置与固定槽组固定后，通过与调整槽组的选择固定，进而通过调整槽组实现控制承载装置角度；
[0037]其中，
[0038]调整槽组包括:第一环形调整组与盖体1同心设置；第二环形调整组将第一环形调整组设置在内部，并与盖体1同心设置；第三环形调整组将第二环形调整组设置在内部，并与盖体1同心设置；
[0039]当承载装置与固定槽组固定后可以选择性的与第一环形调整组、第二环形调整组或第三环形调整组进行固定连接，进而能够更好的控制承载装置的角度；
[0040]本实用新型中优选的，第一环形调整组包括7个调整凹槽4 ;第二环形调整组包括7个调整凹槽4 ;第三环形调整组包括14个调整凹槽4。
[0041]通过将承载装置根据需要将底部的凸起设置在需要的固定槽组中，并通过调整槽组与承载装置底部的另一凸起进行连接，实现承载装置的固定及角度调整，进而实现在承载装置固定后通过双重固定不会出现晃动及位移的产生，且通过调整槽组进行位置调整避免承载装置偏离设定位置，进而提高生产加工的效率。
[0042]以上仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
【主权项】
1.一种石英盖板，其特征在于，包括: 用于一面与筒体连接，另一面与承载装置连接的盖体(1); 用于与承载装置上的凸起进行连接的固定槽组，设置在所述盖体(1)上； 用于控制承载装置角度的调整槽组，设置在所述盖体(1)上。2.如权利要求1所述的石英盖板，其特征在于，所述固定槽组包括: 中心槽，与所述盖体(1)同心设置； 第一凹槽环形组，与所述中心槽同心设置； 第二凹槽环形组，与所述中心槽同心设置。3.如权利要求2所述的石英盖板，其特征在于，所述中心槽包括1个固定凹槽(2)，所述第一凹槽环形组包括7个固定凹槽(2);所述第二凹槽环形组包括14个固定凹槽(2)。4.如权利要求3所述的石英盖板，其特征在于，所述固定凹槽(2)的边缘上设置有若干加强槽⑶。5.如权利要求4所述的石英盖板，其特征在于，所述加强槽(3)为4个，等间距设置在所述固定凹槽(2)的边缘上。6.如权利要求1所述的石英盖板，其特征在于，所述调整槽组包括: 第一环形调整组，与所述盖体(1)同心设置； 第二环形调整组，将所述第一环形调整组设置在内部，并与所述盖体(1)同心设置； 第三环形调整组，将所述第二环形调整组设置在内部，并与所述盖体(1)同心设置。7.如权利要求6所述的石英盖板，其特征在于，所述第一环形调整组包括7个调整凹槽(4); 所述第二环形调整组包括7个调整凹槽(4); 所述第三环形调整组包括14个调整凹槽(4)。
【专利摘要】本实用新型提出了一种结构合理，能够很好的控制承载装置的位置及角度的石英盖板；包括用于一面与筒体连接，另一面与承载装置连接的盖体；用于与承载装置上的凸起进行连接的固定槽组，设置在盖体上；用于控制承载装置角度的调整槽组，设置在盖体上；本实用新型提出的石英盖板通过调整槽组进行位置调整避免承载装置偏离设定位置，进而提高生产加工的效率。
【IPC分类】H01L21/67
【公开号】CN205159292
【申请号】CN201520845232
【发明人】张忠恕, 张娟, 陈强, 孙云涛, 冯继瑶, 边占宁, 赵晓亮, 于洋, 李宝军, 王笑波, 王连连, 张连兴, 李翔星, 于立臣
【申请人】北京凯德石英股份有限公司
【公开日】2016年4月13日
【申请日】2015年10月29日