一种新型Z轴升降平台的制作方法

文档序号:12881147阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种新型Z轴升降平台,其特征在于:包括中空型旋转超声电机组件:所述中空型旋转超声电机组件包括底座(1)、转子(7)、定子(8)、压电陶瓷(9)、止推轴承(10)、预压力螺母(11)和锁紧螺母(12),所述定子(8)套设于底座(1)上,压电陶瓷(9)粘贴于定子(8)的下端面上,止推轴承(10)设于底座(1)内,转子(7)转动支承于止推轴承(10)内,且转子(7)的上端伸于底座(1)外,在转子(7)的圆周壁上设有环形凸缘部(71),该环形凸缘部(71)紧贴于定子(8)的上端面上,预压力螺母(11)和锁紧螺母(12)均安装在转子(7)的一端上,且锁紧螺母(12)的一个端面与预压力螺母(11)相抵以防止预压力螺母(11)轴向移动,预压力螺母(11)的另一端支承在止推轴承(10)上以使预压力螺母(11)能随转子(7)同步转动,固定转子(7),转动预压力螺母(11),使得螺纹拉动转子(7),通过调整定子(8)和转子(7)之间的变形量来调节电机轴向预压力;

升降机构组件:所述升降机构组件包括外壳(2)、升降导筒(3)、平台(4)、滚珠(13)、圆柱销(15)和拉力弹簧(16),所述平台(4)螺纹连接于转子(7)上,外壳(2)固定于底座(1)上,升降导筒(3)固定于平台(4)上,且外壳(2)与升降导筒(3)之间形成有安装腔,滚珠(13)设于该安装腔内,在底座(1)和平台(4)上分别固定连接圆柱销(15),拉力弹簧(16)的两端连接圆柱销(15)并通过圆柱销(15)拉紧拉力弹簧(16),继而将平台(4)和底座(1)压紧;

位移传感组件:所述位移传感组件包括光栅尺(5)和位移传感器(6),光栅尺(5)粘贴在升降导筒(3)上,位移传感器(6)设于外壳(2)上,通过检测光栅尺(5)和位移传感器(6)之间的相对位移变化,实现位移的测量。

2.如权利要求1所述的新型Z轴升降平台,其特征在于:所述转子(7)的轴心方向上设有螺纹孔。

3.如权利要求2所述的新型Z轴升降平台,其特征在于:所述平台(4)上设有连接轴(41),该连接轴(41)的外壁上设有外螺纹,连接轴(41)螺纹连接于转子(7)的螺纹孔内。

4.如权利要求3所述的新型Z轴升降平台,其特征在于:所述连接轴(41)的轴心方向上设有通孔(42)。

5.如权利要求1所述的新型Z轴升降平台,其特征在于:所述升降导筒(3)的侧壁上设有第一定位圆弧槽,外壳(2)的侧壁上设有第二定位圆弧槽,滚珠(13)滚动设于第一、二定位圆弧槽内。

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