作业头单元、安装装置及作业头单元的控制方法与流程

本发明涉及作业头单元、安装装置及作业头单元的控制方法。

背景技术：

以往，作为将元件向基板进行安装处理的安装头，提出了如下的安装头：将多个狭缝以改变彼此的狭缝角度θ的方式形成于旋转板，并且将安装头的各个嘴与这些狭缝的位置对应地配置，且具备预先登记有上述狭缝间的角度θ的控制部(例如，参照专利文献1)。在该安装头中，能够高速地检测安装头的旋转方向的原位置。另外，作为安装头，还提出了如下的安装头：该安装头构成为，在驱动旋转头旋转的电动机所具有的编码器的零计数位置处，旋转部件位于传感器的反应位置，基准主轴位于按下部件的正下方，且在使主轴进行轴旋转的电动机所具有的编码器的零计数位置处，各主轴的角度处于0度(例如，参照专利文献2)。在该安装头中，不进行数据备份就能够调整原点位置。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开平5-206691号公报

专利文献2：日本特开2013-143396号公报

技术实现要素：

发明要解决的课题

然而，在该专利文献1、2所记载的安装头中，虽然能够检测安装头的旋转位置，但对于与所保持的元件的姿势直接相关的信息，并没有充分考虑。在安装处理中，在由安装头保持的元件的姿势例如以嘴的旋转轴为中心进行了旋转的状态下，有时不能适当地进行安装处理。因此，在作业用头中，要求能够高精度地取得元件的旋转位置等与所保持的元件的姿势相关的信息。

本发明鉴于这样的课题而完成，其主要目的在于提供能够以更高的精度取得与所保持的元件的姿势相关的信息的作业头单元、安装装置及作业头单元的控制方法。

用于解决课题的方案

为了达成上述的主要目的，本发明采用了以下的方案。

本发明的作业头单元具备：元件保持部，能够以旋转轴为中心而旋转，用于元件的保持；和检测部，配置于与所述元件保持部对向的位置，检测该元件保持部的姿势。

在该作业头单元中，检测部在与保持元件的元件保持部对向的位置检测元件保持部的姿势。这样，因为检测保持有元件的部位的姿势，所以例如与检测元件保持部以外的部位的姿势相比，能够得到进一步反映了元件的姿势的信息。因此，能够以更高的精度取得与所保持的元件的姿势相关的信息。在此，“元件保持部的姿势”可以设为元件保持部在规定轴处的旋转位置。

本发明的作业头单元的控制方法是如下的作业头单元的控制方法，所述作业头单元具备：元件保持部，能够以旋转轴为中心而旋转，用于元件的保持；和检测部，配置于与所述元件保持部对向的位置，检测该元件保持部的姿势，其中，所述控制方法包含如下步骤：

(a)基于所述检测部检测到的所述元件保持部的姿势的信息，修正所述元件保持部的姿势。

在该控制方法中，因为检测保持有元件的元件保持部的姿势，所以例如与检测元件保持部以外的部位的姿势相比，能够得到进一步反映了元件的姿势的信息。因此，能够以更高的精度取得与所保持的元件的姿势相关的信息。另外，因为使用对保持有元件的部位的姿势进行检测而得到的结果来修正元件保持部的姿势，所以能够更准确地修正元件的姿势。此外，在该控制方法中，可以采用上述的作业头单元的各种形态，另外，也可以追加实现上述的作业头单元的各功能的结构。

附图说明

图1是安装系统10的概略说明图。

图2是安装头单元17的概要的说明图。

图3是具有安装头50的安装头单元17的说明图。

图4是示出安装装置11的电连接关系的框图。

图5是示出元件拾取配置处理例程的一例的流程图。

具体实施方式

以下，一边参照附图一边对本发明的优选的实施方式进行说明。图1是安装系统10的概略说明图。图2是安装头单元17的概要的说明图。图3是具有安装头50的安装头单元17的说明图，图3(a)是安装头50的侧面侧的图，图3(b)是下表面侧的图。图4是表示安装装置11的电连接关系的框图。本实施方式的安装系统10具备：安装装置11，具备安装处理单元12，将元件P(参照图2)向基板S进行安装处理；和管理计算机90，进行与安装处理相关的信息(例如生产任务数据)的管理。此外，在本实施方式中，左右方向(X轴)、前后方向(Y轴)以及上下方向(Z轴)是图1～3所示的方向。另外，安装处理包含将元件P配置、安装、插入、接合、粘接到基板S上的处理等。

安装装置11具备运送基板S的基板运送单元14、从下表面侧支承基板S的基板支承单元15、吸附(拾取)元件P并将该元件P向基板S上配置的安装头单元17、以及使安装头单元17在X-Y方向上移动的头移动单元16(参照图1)。另外，安装装置11具备安装有收纳了元件P的卷盘的供给单元18、具备将显示画面进行显示的显示部24和能够供作业者进行各种输入操作的操作部25的操作面板19(参照图4)、以及执行各种控制的控制装置80(参照图4)。

基板运送单元14通过分别安装于前后一对支承板21、21的传送带22、22来将基板S从左向右运送。基板支承单元15具备从下方支承基板S的多个支承销23，从由基板运送单元14运送、固定后的基板S的背面侧支承基板S。

头移动单元16具备X轴滑块26、Y轴滑块30等。X轴滑块26以能够在左右方向上滑动的方式安装于能够在前后方向上滑动的Y轴滑块30的前表面。Y轴滑块30以能够滑动的方式安装于在前后方向上延伸的左右一对导轨32、32。此外，导轨32、32固定于安装装置11的内部。在Y轴滑块30的前表面设置有在左右方向上延伸的上下一对导轨28、28，X轴滑块26以能够在左右方向上滑动的方式安装于该导轨28、28。安装头单元17伴随X轴滑块26在左右方向上移动而在左右方向上移动，伴随Y轴滑块30在前后方向上移动而在前后方向上移动。此外，各滑块26、30分别由未图示的驱动电动机驱动。

安装头单元17安装于X轴滑块26的前表面。安装头单元17具备配置于X轴滑块26并保持安装头50的头保持体40、吸附元件P的吸附嘴42、以及能够安装、拆卸一个以上的吸附嘴42的安装头50。如图3所示，头保持体40具备安装于X轴滑块26的保持体主体45和从保持体主体45向下方配置的卡合轴46。卡合轴46以能够进行轴旋转的方式配置于保持体主体45，插入到在安装头50(Q轴齿轮53)的中心形成的有底孔中而与安装头50卡合。在保持体主体45配置有驱动安装头50旋转的R轴电动机60、Q轴电动机63及Z轴电动机66。在R轴电动机60配置有编码器61(参照图3)，通过该编码器61来进行基本的旋转位置的控制。此外，编码器61可以设为透射式的光学编码器。Q轴电动机63与R轴电动机60是同样的，具备编码器64。Z轴电动机66通过沿着向铅垂下方延伸的Z轴引导件67移动水平部68，来使吸附嘴42升降。此外，将安装头50(旋转部51)的旋转轴称作R轴，将吸附嘴42(元件保持部55)的旋转轴称作Q轴。

头保持体40保持安装头50。安装头50例如具备十六个元件保持部55，能够安装十六个吸附嘴42(参照图2、3)。该安装头50构成为在能够旋转的状态下保持于头保持体40的旋转型的作业头。安装头50具备作为圆柱状的部件的旋转部51、配置于旋转部51的下方的R轴齿轮52、配置于旋转部51的上方的Q轴齿轮53、以及在下端安装吸附嘴42的细长圆筒状的多个保持筒部件56。安装头50以能够升降的方式配置有元件保持部55，该元件保持部55具有拾取元件P的吸附嘴42和能够安装及拆卸吸附嘴42的保持筒部件56。安装头50以能够以旋转轴(R轴)为中心而旋转的方式保持于头保持体40，具备与该旋转轴具有相同的中心轴的旋转部51。旋转部51例如是将十六根保持筒部件56支承为能够以保持筒部件56的中心轴为中心而旋转且能够上下移动的部件。R轴齿轮52是具有比旋转部51大的外径的圆板状的部件，在外周面形成有齿轮槽。该R轴齿轮52与连接于R轴电动机60的旋转轴的小齿轮62啮合，R轴电动机60经由该小齿轮62而驱动该R轴齿轮52旋转。Q轴齿轮53是具有比旋转部51小的外径的圆筒状的部件，在外周面形成有齿轮槽。保持筒部件56是在其上端侧配置小齿轮57且在下端侧安装吸附嘴42的部件。小齿轮57与在Q轴齿轮53的外周形成的齿轮槽啮合。保持筒部件56沿着Q轴齿轮53的外周等间隔配置。

吸附嘴42是利用压力来将元件P吸附于嘴顶端或者将吸附于嘴顶端的元件P释放的部件。该吸附嘴42具有圆板状的凸缘43和形成于顶端侧的管状部44(参照图2、3)。由该吸附嘴42和保持筒部件56构成了元件保持部55。元件保持部55能够以旋转轴(Q轴)为中心而旋转，且用于元件P的保持。元件保持部55(吸附嘴42)能够通过经由与Q轴电动机63连接的小齿轮65、Q轴齿轮53以及配置于保持筒部件56的上端侧的小齿轮57传递来的Q轴电动机63的驱动力而以旋转轴为中心进行旋转(自转)，调整所吸附的元件P的角度。该元件保持部55通过经由水平部68传递来的Z轴电动机66的驱动力而沿着Z轴引导件67在Z轴方向(上下方向)上升降。在安装头50中，在位于安装头单元17的Y轴方向的前端侧的一个升降位置(参照图3)处，使元件保持部55在Z轴方向上升降。此外，拾取元件P的拾取部件在此虽然作为吸附嘴42进行说明，但只要能够拾取元件P即可，没有特别的限定，也可以设为通过夹持来拾取元件P的机械夹头等。

在保持体主体45的前方，朝向下方而配置有支承作为检测部的R轴编码器70、第一Q轴编码器73以及第二Q轴编码器76等的方柱状的支承部件47。支承部件47延伸至与吸附嘴42对向的位置。在支承部件47的下端侧朝向吸附嘴42侧而形成有水平部48，在该水平部48的顶端配置有第一Q轴编码器73。R轴编码器70是直接检测安装头50(旋转部51)的旋转位置的检测部，构成为反射式的光学式编码器。该R轴编码器70配置于与作为安装头50的圆筒部的旋转部51对向的位置。该R轴编码器70具备在旋转部51的外周的整个中央部形成的码部71和配置于支承部件47的与码部71对向的位置的元件部72。码部71具有将从元件部72照射出的光反射的区域和不将其反射的区域。元件部72具备照射光的照射部和接受由码部71反射回的光的受光部。R轴编码器70通过从元件部72向码部71照射光并检测来自码部71的反射光的图案，来掌握旋转部51的旋转位置。

第一Q轴编码器73是直接检测元件保持部55中的安装于下端的吸附嘴42的旋转位置的检测部，构成为反射式的光学式编码器。该第一Q轴编码器73配置于与吸附嘴42的凸缘43对向的位置。该第一Q轴编码器73具备在凸缘43的整个外周形成的码部74和配置于支承部件47的与码部74对向的位置的元件部75。该第一Q轴编码器73的在吸附嘴42的移动方向上形成得长的元件部75以在使元件保持部55升降时的吸附嘴42的初始位置(参照图3的弹出框中的实线)和吸附嘴42的延伸位置(参照图3的弹出框中的虚线)中的任意位置下都与凸缘43对向的方式固定于支承部件47。第二Q轴编码器76是直接检测元件保持部55中的上端的小齿轮57附近的保持筒部件56的旋转位置的检测部，构成为反射式的光学式编码器。第二Q轴编码器76配置于保持筒部件56的上端侧的圆筒部。该第二Q轴编码器76具备在保持筒部件56的整个外周形成的码部77和配置于支承部件47的与码部77对向的位置的元件部78。此外，码部74、码部77和元件部75、元件部78分别与码部71和元件部72结构相同，所以省略其说明。R轴编码器70的元件部72、第一Q轴编码器73的元件部75及第二Q轴编码器76的元件部78从安装头单元17(安装头50)的外周侧与元件保持部55、旋转部51对向而配置。

安装头单元17具备控制部41，该控制部41具有存储信息的存储部41a，控制该安装头单元17的整体(参照图4)。控制部41具备CPU、ROM、RAM等。在存储部41a中存储安装头50的信息、吸附嘴42的信息等。控制部41与R轴编码器70、第一Q轴编码器73以及第二Q轴编码器76等检测部电连接，取得来自这些检测部的信号。

如图4所示，控制装置80构成为以CPU81为中心的微处理器，具备存储处理程序的ROM82、存储各种数据的HDD83、用作作业区域的RAM84、以及与外部装置进行电信号的交换的输入输出接口85等，它们经由总线而连接。该控制装置80与基板运送单元14、基板支承单元15、头移动单元16、安装头单元17、供给单元18、操作面板19等以能够进行双向通信的方式连接，与这些单元等交换信号。

接着，对这样构成的本实施方式的安装系统10的动作进行说明。首先对安装装置11的安装处理进行说明。安装处理例程存储于控制装置80的HDD83，通过作业者的生产开始指示而执行。当执行该例程时，CPU81以使基板S向装置内运送并在安装位置固定的方式控制基板运送单元14及基板支承单元15。接着，CPU81进行读出生产任务数据，设定要在基板S配置的元件P，并将拾取该元件P的安装头50及吸附嘴42安装于头保持体40的处理。接着，CPU81控制头移动单元16及安装头单元17，使其执行使吸附嘴42拾取元件P并将该元件P配置于基板S的处理。然后，在当前的基板S的安装处理完成后，使该基板S排出，运入下一个基板S，并在安装位置固定。CPU81反复执行上述的处理，直到所有基板S的生产完成。

接着，对在安装处理例程中执行的使吸附嘴42拾取元件P并将该元件P配置于基板S的处理进行说明。图5是示出安装头单元17具备的控制部41的CPU所执行的元件拾取配置处理例程的一例的流程图。该例程存储于控制部41的存储部41a，在规定的定时执行。在该例程中，进行元件P的旋转位置的修正、检测保持筒部件56的扭转等变形的程度的处理。当该例程开始后，控制部41的CPU以使成为升降操作的对象的元件保持部55配置于规定的升降位置的方式驱动R轴电动机60，进行旋转部51的旋转轴即R轴的粗定位(步骤S100)。在该粗定位中，使用设置于R轴电动机60的编码器61的值，以使旋转部51成为所设定的旋转位置的方式对R轴电动机60进行驱动控制。接着，CPU取得R轴编码器70的值，基于该值修正R轴的旋转位置，以使旋转部51被定位在正确的旋转位置的方式对R轴电动机60进行驱动控制(步骤S110)。

接着，控制部41的CPU进行元件保持部55(吸附嘴42)的旋转轴即Q轴的粗定位(步骤S120)。在该粗定位中，使用设置于Q轴电动机63的编码器64的值，以使吸附嘴42成为所设定的旋转位置的方式对Q轴电动机63进行驱动控制。接着，CPU取得第一Q轴编码器73的值，基于该值修正Q轴的旋转位置，以使保持筒部件56被定位在正确的旋转位置的方式对Q轴电动机63进行驱动控制(步骤S130)。此时，控制部41可以在使吸附嘴42下降后的延伸位置取得第一Q轴编码器73的值。这样一来，控制部41能够取得配置元件P的状态下的吸附嘴42的旋转位置。

接着，控制部41的CPU从第二Q轴编码器76取得值(步骤S140)，将第一Q轴编码器73及第二Q轴编码器76的值与当前使用的元件保持部55建立对应并存储于存储部41a(步骤S150)。这样，CPU将元件保持部55的状态作为履历而保存。接着，CPU求出第一Q轴编码器73及第二Q轴编码器76的值的差分值，判定该差分值包含于容许范围、警告范围以及异常范围中的哪个范围(步骤S160)。容许范围例如可以是在元件保持部55的扭转等变形程度中作为不会给安装处理带来大的影响的范围而通过经验确定的范围。警告范围例如可以是作为元件保持部55的变形程度比较大而需要注意的范围而通过经验确定的范围。异常范围例如可以是作为应该更换元件保持部55的范围而通过经验确定的范围。

在第一Q轴编码器73与第二Q轴编码器76的差分值处于容许范围时，控制部41的CPU直接执行步骤S190以后的处理。另一方面，在差分值处于警告范围时，CPU向控制装置80输出使需要维护之意的警告等显示于操作面板19的指令(步骤S170)。接收到该指令的控制装置80使需要进行元件保持部55的维护之意的消息显示于操作面板19的显示部24。另一方面，在差量值处于异常范围时，CPU向控制装置80输出安装处理的中断指令以及使表示该主旨的错误显示显示于操作面板19的指令(步骤S180)，并就此结束该例程。接收到该指令的控制装置80中断安装处理，并且使需要进行元件保持部55的元件更换之意的消息显示于操作面板19的显示部24。

在步骤S170之后，或者在步骤S160中差分值处于容许范围内时，控制部41的CPU进行元件P的拾取处理(步骤S190)。在该处理中，在安装头单元17被配置到所指定的供给单元18的元件拾取位置后，CPU以使吸附嘴42下降至延伸位置的方式驱动Z轴电动机66，并对吸附嘴42提供负压而使元件P吸附于其顶端。接着，CPU判断应该由安装头50拾取的元件P的拾取是否已完成(是否已经全部拾取完毕)(步骤S200)，在拾取没有完成时，执行步骤S100以后的处理。另一方面，在元件P的拾取已完成时，CPU以使保持着应该向基板S配置的元件P的元件保持部55向升降位置移动的方式使R轴电动机60驱动，以使元件P的旋转位置成为正确的旋转位置的方式使Q轴电动机63驱动(步骤S210)。此时，CPU可以进行与上述的步骤S100～S140同等的处理，也可以再次使用在上述的步骤S100～S140中使用了的修正值来进行R轴及Q轴的旋转位置的修正及定位。

接着，控制部41的CPU判定安装头单元17是否已经移动至向基板S配置元件P的配置位置(步骤S220)，在还未移动至配置位置时，进行待机。在安装头单元17已经移动至配置位置时，CPU使元件保持部55下降，执行元件P的配置处理(步骤S230)。然后，CPU判定在安装头50是否存在作为已经由安装头50拾取完毕且还未配置的元件P(步骤S240)，在安装头50存在拾取完毕且还未配置的元件P时，反复执行步骤S210以后的处理。另一方面，在不存在拾取完毕且还未配置的元件P时，CPU就此结束该例程。CPU反复执行这样的处理，直到元件P相对于所有基板S的配置结束。

在此，明确说明本实施方式的构成要素与本发明的构成要素的对应关系。本实施方式的第一Q轴编码器73及第二Q轴编码器76相当于检测部，吸附嘴42相当于拾取部件，凸缘43相当于拾取部件的圆筒部，安装头50相当于作业头，支承部件47相当于支承部件，旋转部51相当于作业头的圆筒部，R轴编码器70相当于位置检测部。此外，在本实施方式中，通过对安装装置11的动作进行说明，也明确说明了本发明的安装装置的控制方法的一例。

根据以上说明的本实施方式的安装头单元17，第一Q轴编码器73在与保持元件P的吸附嘴42对向的位置检测吸附嘴42的旋转位置。这样，因为直接检测保持有元件P的部位的旋转位置，所以能够以更高的精度取得与保持于吸附嘴42的元件P的旋转位置相关的信息。另外，例如与使用从吸附嘴42离开的编码器64相比，能够将吸附嘴42定位到更准确的位置。另外，因为使用对保持有元件P的部位的姿势进行检测而得到的结果来修正元件保持部55的姿势，所以能够更正确地修正元件P的姿势。进而，因为第一Q轴编码器73配置于与凸缘43对向的位置，所以能够检测与保持的元件P最接近的吸附嘴42的旋转位置，能够以更高的精度取得元件P的旋转位置。另外，因为第二Q轴编码器76配置于与保持筒部件56的圆筒部对向的位置，所以与利用直径比较细的吸附嘴42来检测旋转位置的情况相比，更容易检测元件保持部55的旋转位置。而且，在安装头单元17中，因为在吸附嘴42和保持筒部件56这两个部位检测元件保持部55的姿势，所以能够检测保持筒部件56的状态(例如，变形)、保持筒部件56与吸附嘴42之间的偏移等。

另外，安装头单元17基于控制部41从第一Q轴编码器73及第二Q轴编码器76取得的吸附嘴42的旋转位置和保持筒部件56的圆筒部的旋转位置，使与保持筒部件的状态(例如扭转等变形)相关的信息存储于存储部41a。因此，在安装头单元17中，能够也对保持筒部件56的状态进行管理。进而，安装头单元17具备形成为在使元件保持部55升降时的吸附嘴42的初始位置和延伸位置中的任意位置下都与凸缘43(码部74)对向的元件部75。因此，安装头单元17能够在元件保持部55以保持有元件P的状态进行升降的情况下等检测与元件保持部55的升降位置相应的元件P的姿势。进而，在安装头单元17中，因为在与旋转部51(圆筒部)对向的位置配置有检测旋转部51的旋转位置的R轴编码器70的元件部72，所以能够直接取得安装头50的旋转位置，与使用从旋转部51离开的编码器64的情况相比，能够将旋转部51定位到更准确的位置。另外，因为安装头单元17具备与吸附嘴42侧(一端侧)对向而配置的第一Q轴编码器73和与保持筒部件56的另一端侧对向而配置的第二Q轴编码器76，所以能够更详细地检测保持筒部件56的扭转等变形。而且，在安装头单元17中，因为第一Q轴编码器73及第二Q轴编码器76等检测部从安装头50的外周侧与元件保持部55对向而配置，所以能够比较容易地配置检测部。

此外，本发明完全不限定于上述的实施方式，只要属于本发明的技术范围，就自然能以各种形态来实施。

例如，在上述的实施方式中，在与吸附嘴42对向的位置配置第一Q轴编码器73，在与保持筒部件56的圆筒部对向的位置配置第二Q轴编码器76，但是并非特别地限定于此，也可以省略第一Q轴编码器73及第二Q轴编码器76中的任一者。即使这样，也能直接检测元件保持部55的旋转位置，所以能够以更高的精度取得与保持于吸附嘴42的元件P的旋转位置相关的信息。此外，在检测部为一个的情况下，安装头单元17省略上述的与保持筒部件56的变形相关的信息的管理。

在上述的实施方式中，第一Q轴编码器73的码部74形成于凸缘43，但只要形成于吸附嘴42的圆筒状的外表面即可，并非特别地限定于此，例如，也可以是码部形成于管状部44。即使这样，也能得到与上述的实施方式同样的效果。另外，第二Q轴编码器76的码部77虽然形成于保持筒部件56的上端侧，但也可以形成于保持筒部件56的任意部分。

在上述的实施方式中，在元件保持部55的下端侧和上端侧检测旋转位置，从而检测元件保持部55的变形等，但也可以省略该处理。即使这样，也能以更高的精度取得与保持于吸附嘴42的元件P的旋转位置相关的信息。

在上述的实施方式中，第一Q轴编码器73具备形成为在初始位置和延伸位置中的任意位置下都能检测吸附嘴42的旋转位置的元件部75，但并非特别地限定于此，例如，也可以设为根据吸附嘴42的升降而使元件部75升降的结构。即使这样，也能以更高的精度取得与吸附嘴42的升降位置相应的元件P的旋转位置。

在上述的实施方式中，虽然具备R轴编码器70，但也可以省略该R轴编码器70。即使这样，也能以更高的精度取得与保持于吸附嘴42的元件P的旋转位置相关的信息，虽然旋转部51的旋转位置的修正会被省略。

在上述的实施方式中，以在能够旋转的状态下保持于头保持体40的旋转型的安装头50为例进行了说明，但也可以具备在不能旋转的状态下保持于头保持体40的固定型的作业头。另外，在上述的实施方式中虽然没有特别地进行说明，但安装装置11也可以具备头保持体40以能够更换的方式保持多个种类的安装头的安装头单元。

在上述的实施方式中，将各检测部作为反射式的光学式编码器而进行了说明，但是并非特别地限定于此，只要检测元件保持部55的姿势即可，并非特别地限定于此，也可以设为透射式的光学式编码器，还可以设为磁式编码器。另外，各检测部虽然检测元件保持部55的旋转位置，但并不限定于此。

在上述的实施方式中，虽然作为具备安装头单元17的安装装置11进行了说明，但并非特别地限定于此，也可以设为安装头单元17。另外，在上述的实施方式中，虽然作为安装装置11进行了说明，但也可以设为安装头单元17的控制方法。

产业上的可利用性

本发明能够在电子元件的安装领域中加以利用。

标号说明

10 安装系统，11 安装装置，12 安装处理单元，14 基板运送单元，15 基板支承单元，16 头移动单元，17 安装头单元，18 供给单元，19 操作面板，21 支承板，22 传送带，23 支承销，24 显示部，25 操作部，26 X轴滑块，28 导轨，30 Y轴滑块，32 导轨，40 头保持体，41 控制部，41a 存储部，42 吸附嘴，43 凸缘，44 管状部，45 保持体主体，46 卡合轴，47 支承部件，48 水平部，50 安装头，51 旋转部，52 Q轴齿轮，53 R轴齿轮，55 元件保持部，56 保持筒部件，57 小齿轮，60 R轴电动机，61 编码器，63 Q轴电动机，64 编码器，65 小齿轮，66 Z轴电动机，67 Z轴引导件，68 水平部，70 R轴编码器，71 码部，72 元件部，73 第一Q轴编码器，74 码部，75 元件部，76 第二Q轴编码器，77 码部，78 元件部，80 控制装置，81 CPU，82 ROM，83 HDD，84 RAM，85 输入输出接口，90 管理计算机，P 元件，S 基板。