元件安装机及元件安装生产线的制作方法

文档序号:14186762阅读:218来源:国知局

本发明涉及以能够更换的方式装备多台元件供给装置的元件安装机及具备多台该元件安装机的元件安装生产线。



背景技术:

作为生产安装有多个元件的基板的设备,存在有焊料印刷机、元件安装机、回流焊机、基板检查机等。通常,通过将这些设备连结为一列而构成基板生产线。进而,有时也排列设置多台元件安装机而构成元件安装生产线。元件安装机具备基板搬运装置、元件供给装置、元件移载装置及控制装置。在元件供给装置中,存在有抽出保持有元件的载带的方式的供料器装置、将元件载置于托盘并供给的托盘式装置、使用保持有晶片元件的晶片料盘的晶片用装置等。这种元件供给装置在多数情况下以能够更换的方式装备于机台。在专利文献1中公开有与元件供给装置相关的一个技术例。

专利文献1的元件安装机具备:供具备晶片料盘和顶起筒的晶片元件供给装置设置并在使顶起筒上升至片材吸附位置的状态下计测顶起筒的上表面的高度位置的单元;及使吸嘴的下降位置根据计测所得的高度位置而移动的单元。根据该结构,即使替换晶片元件供给装置而顶起筒的上表面的高度位置发生变动,也能够自动地校正吸嘴的下降位置与顶起筒的间隔,能够稳定地吸附晶片元件。

现有技术文献

专利文献

专利文献1:日本特开2013-4895号公报



技术实现要素:

发明所要解决的课题

另外,在专利文献1的技术中,能够消除因元件供给装置的个体差异而产生的元件供给位置的高度的偏差这一点是优选的。然而,在元件供给装置由多个供料器方式元件供给单元构成的情况下,多个元件供给位置的高度不仅会受到元件供给装置的个体差异的影响,还会受到单元相互间的个体差异、各单元的安装高度的误差等的影响而产生偏差。由此,在具有多个元件供给位置的元件供给装置中,与专利文献1的技术相比,元件供给位置的高度的管理困难。特别是,近年来元件日益小型化,若也考虑今后的元件的极小化,则需要能够高精度地消除元件供给位置的高度的偏差的技术。

另外,在专利文献1的技术中,由于在每次替换晶片元件供给装置时(每次进行更换并装备时)计测顶起筒的上表面的高度位置,因此换产调整作业花费时间和劳动力。与此相对,供料器方式元件供给单元不具备像顶起筒那样使元件供给位置的高度上下移动的机构。由此,在由多个供料器方式元件供给单元构成的元件供给装置中只要预先测定一次元件供给位置的高度并存储,则无需在每次进行装备时进行测定。

本发明就是鉴于上述背景技术的问题点而作成的,其应解决的课题在于提供元件安装机及元件安装生产线,在以能够更换的方式装备了具有多个元件供给单元的元件供给装置的结构中,不仅能够消除元件供给装置的个体差异,还能够综合地消除元件供给单元的相互间的个体差异及安装高度的误差等,能够稳定地拾取元件。

用于解决课题的技术方案

解决上述课题的本发明的元件安装机具备:机台;多台元件供给装置,分别具有在元件供给位置供给元件的多个元件供给单元,且以能够更换的方式装备于所述机台;元件移载装置,具有进行升降动作而从所述元件供给单元拾取元件并向基板安装的装配嘴,并且被设定了作为所述装配嘴的升降动作的基准的基准高度,且装备于所述机台;高度存储部,存储每个所述元件供给装置所固有的高度固有值,所述高度固有值以相对于所述基准高度的相对的单元高度来表示装备了所述元件供给装置时的各所述元件供给单元的元件供给位置的高度,是基于各所述元件供给单元的单元高度而通用于各所述元件供给单元地进行规定的;及高度校正控制部,基于所装备的元件供给装置的所述高度固有值,校正所述装配嘴从各所述元件供给单元拾取所述元件时的下降动作行程量。

发明效果

在本发明的元件安装机中,高度存储部存储代表装备了元件供给装置时的各元件供给单元的元件供给位置的高度且每个元件供给装置所固有的高度固有值,高度校正控制部基于存储的高度固有值,校正装配嘴从各元件供给单元拾取元件时的下降动作行程量。在此,高度固有值以能够消除更换并装备的元件供给装置的个体差异的方式设为每个元件供给装置的固有值,且高度固有值也是能够抑制多个元件供给单元的个体差异、安装高度的误差等的影响的代表值。由此,通过基于高度固有值来控制元件拾取动作,能够综合地消除高度方向上的误差,能够稳定地拾取元件。

附图说明

图1是表示实施方式的元件安装机的结构的俯视图。

图2是表示实施方式的元件安装机的控制的结构的框图。

图3是从后方且左斜上方向下俯视元件供给装置的立体图。

图4是元件供给装置的上部的侧视图。

图5是表示元件供给装置的载置板的上表面附近的立体图。

图6是通过夸张地描绘高度方向而概念性地说明高度存储部的功能的图。

图7是表示实施方式的元件安装生产线的结构的俯视图。

具体实施方式

(1.实施方式的元件安装机1的结构)

参考图1~图6说明本发明的实施方式的元件安装机1。图1是表示实施方式的元件安装机1的结构的俯视图。图1的从纸面左侧朝向右侧的方向是搬入搬出基板k的x轴方向,从纸面下侧的后方朝向纸面上侧的前方的方向是y轴方向。元件安装机1是通过在机台9上组装基板搬运装置2、元件供给装置3、元件移载装置4、元件相机5及控制装置6(参照图2)等而构成。图2是表示实施方式的元件安装机1的控制的结构的框图。基板搬运装置2、元件供给装置3、元件移载装置4及元件相机5被控制装置6控制,分别进行预定的作业。

基板搬运装置2将基板k搬入到装配实施位置并进行定位继而搬出。基板搬运装置2由搬运单元25及支撑单元26构成。搬运单元25由一对导轨21、22及一对传送带等构成。一对导轨21、22横穿机台9的上表面中央并沿搬运方向(x轴方向)延伸,且相互平行地组装于机台9。在一对导轨21、22的相向的内侧并排设有省略图示的环状的一对传送带。一对传送带以在输送机搬运面上分别载置有基板k的两边缘的状态进行轮转,将基板k相对于设定于机台9的中央部的装配实施位置搬入及搬出。支撑单元26配设于装配实施位置的下方。支撑单元26将基板k上推并夹持为水平姿势,定位于装配实施位置。由此,元件移载装置4能够在装配实施位置进行元件装配动作。

准备有多台元件供给装置3,其中一台以能够更换的方式装备于机台9的后方附近。元件供给装置3构成为包括多个供料器式元件供给单元8(参照图3,以下简称为供料器单元8)。后述元件供给装置3的详细结构。

元件移载装置4是能够沿x轴方向及y轴方向水平移动的xy机器人型的装置。元件移载装置4由构成头驱动机构48的一对y轴轨道41、42及y轴滑动件43、安装头44、嘴工具45、吸嘴46及基板相机47等构成。一对y轴轨道41、42配置于机台9的两方的侧面附近,并沿前后方向(y轴方向)延伸。在y轴轨道41、42上以能够移动的方式架设有y轴滑动件43。y轴滑动件43被省略图示的y轴滚珠丝杠机构沿y轴方向驱动。

安装头44以能够移动的方式架设于y轴滑动件43。安装头44被省略图示的x轴滚珠丝杠机构沿x轴方向驱动。嘴工具45以能够更换的方式保持于安装头44。嘴工具45具有一个或多个利用负压吸附拾取元件的吸嘴46。吸嘴46进行升降动作而从供料器单元8的元件供给位置82拾取元件,并向基板k装配。将定位后的基板k的上表面高度设定为控制吸嘴46的升降动作时的基准高度h0。此外,嘴工具45也可以具有除利用负压的吸嘴46以外的装配嘴。

基板相机47与嘴工具45并排地设于安装头44。基板相机47拍摄附设于基板k上的位置基准标记,检测基板k的准确的位置。另外,基板相机47能够通过拍摄附设于供料器单元8上的识别码来确定供料器单元8的个体。进而,基板相机47能够通过拍摄设置于供料器单元8的元件供给位置82的模型来实测元件供给位置82的高度。

元件相机5朝上地设于基板搬运装置2与元件供给装置3之间的机台9的上表面。元件相机5在安装头44从元件供给装置3向基板k上移动的途中拍摄吸附于吸嘴46的元件的状态。当根据元件相机5的拍摄数据判明元件的吸附姿势的误差、旋转角的偏移等时,控制装置6根据需要对元件装配动作进行微调,在难以装配的情况下,进行废弃该元件的控制。

控制装置6组装于机台9,对于控制装置6的配设位置并无特殊限定。控制装置6是具有cpu且通过软件进行动作的计算机装置。控制装置6具备基于操作人员进行输入设定的输入部61、对操作人员显示信息的显示部63及存储各种程序、数据的存储部62。如图2所示,控制装置6与基板搬运装置2、元件供给装置3的装置控制部38、元件移载装置4及元件相机5以通信的方式连接。进而,控制装置6也与上位的主计算机7以通信的方式连接。

控制装置6保持有指定了装配于基板k的元件的种类及装配顺序、供给该元件的供料器单元8等的装配程序。控制装置6基于基板相机47及元件相机5的拍摄数据及省略图示的传感器的检测数据等,根据装配程序来控制元件装配动作。另外,控制装置6依次收集结束了生产的基板k的生产数量、元件的装配所需的装配时间、元件的吸附错误的产生次数等运转状况数据并进行更新。

(2.元件供给装置3的详细的结构)

接下来,说明元件供给装置3的详细的结构。图3是从后方且左斜上方向下俯视元件供给装置3的立体图。图4是元件供给装置3的上部的侧视图。图5是表示元件供给装置3的载置板36的上表面附近的立体图。在图3中仅示例了一个供料器单元8。在通常使用时,在元件供给装置3的宽度方向上排列设置有多个供料器单元8。

供料器单元8为宽度方向的尺寸较小的扁平形状。供料器单元8由主体部81、配设于主体部81的后方的带盘支承部87及配设于主体部81的内部的供料器控制部88等构成。如图4所示,在主体部81的上表面的前方端附近设定有元件供给位置82。在主体部81的前表面,从上到下依次设有上侧定位销83、供料器侧连接器84及下侧定位销85。

主体部81具有将保持有元件的载带抽出至元件供给位置82的省略图示的带抽出机构。带盘支承部87将卷绕有载带的供给带盘支撑为能够旋转。根据来自供料器控制部88的控制,带抽出机构每次将载带抽出预定间距。由此,元件被解除收纳状态而被从元件供给位置82向吸嘴46依次供给。

元件供给装置3由台车31、料盘部件34、结合部件35、载置板36及装置控制部38等构成。台车31形成为比元件安装机1的宽度尺寸小,在下侧设有多个移动用的脚轮311。在台车31的两方的侧部分别设有高度调整部32。从各高度调整部32向前斜上方以能够调整高度的方式分别立设有臂部件33。在两方的臂部件33的顶端上部水平地架设有板状的料盘部件34。在料盘部件34的前侧立设有结合部件35。

在料盘部件34,沿宽度方向并排地形成有沿前后方向延伸的槽341。在图3的例子中,在料盘部件34形成有65条槽341。在结合部件35的与各槽341相对应的位置,从上到下依次设有上侧定位孔351、装置侧连接器352及下侧定位孔353。

多个供料器单元8分别从料盘部件34的槽341的后方向前方插入而装配。此时,上侧定位销83及下侧定位销85分别嵌入到上侧定位孔351及下侧定位孔353。由此,各供料器单元8相对于料盘部件34及结合部件35被定位。另外,供料器侧连接器84与装置侧连接器352嵌合。由此,向供料器单元8供给电源,且以通信的方式连接供料器控制部88与装置控制部38。

与两方的臂部件33的顶端的料盘部件34的下侧隔开距离地水平架设有板状的载置板36。如图5所示,在载置板36的上表面的左右两个位置,向前斜上方分别立设有定位销37。在载置板36的前侧的上方立设有基板形状的装置控制部38。在载置板36与装置控制部38之间配设有与装置控制部38连接的通信连接器39。

载置板36在与臂部件33一起被高度调整部32调整了高度之后,与台车31一起前进而载置于机台9的后方附近的上表面。此时,两侧的定位销37嵌入到设于机台9的定位孔中而进行定位。另外,装置控制部38经由通信连接器39而与控制装置6以通信的方式连接。由此,元件供给装置3成为装备于元件安装机1的状态。

(3.高度存储部及高度校正控制部的功能及作用)

接下来,说明高度存储部及高度校正控制部的功能及作用。在本实施方式中,高度存储部的功能通过元件供给装置3的装置控制部38来实现,高度校正控制部的功能通过控制装置6来实现。图6是通过夸张地描绘高度方向来概念性地说明高度存储部的功能的图。

装置控制部38存储高度固有值heg,该高度固有值heg以相对于基准高度h0的相对的单元高度来表示装备了元件供给装置3时的各供料器单元8的元件供给位置82的高度,是基于各供料器单元8的单元高度而通用于各供料器单元8地规定的。在此,若考虑在料盘部件34的全部槽341装配有供料器单元8的情况,则元件供给位置82的高度最多形成为六十五个数据,实测全部数据较为繁琐。由此,在本实施方式中,选择三个供料器单元8,实测元件供给位置82的高度。将三个供料器单元8的选择位置设为65条槽341中的左端、中央及右端的槽341l、341c、341r。但并不局限于此,能够适当地变更选择位置。

另外,元件安装机1多数情况下处于运转中,并不局限于能够始终以装备了元件供给装置3的状态进行实测。于是,在本实施方式中,以元件供给装置3置于元件安装机1的外部的状态进行实测。但并不局限于此,也可以在装备了元件供给装置3的状态下通过所述基板相机47实测元件供给位置82的高度。

如图6所示,将通过实测所获得的三个元件供给位置82的高度的实测值转换为相对于基准高度h0的相对的单元高度hl、hc、hr。并且,装置控制部38基于三个单元高度hl、hc、hr来计算高度固有值heg。在本实施方式中,作为高度固有值heg,使用三个单元高度hl、hc、hr的平均值。但并不局限于此,也可以使用其他计算方法来求出高度固有值heg。例如,在为了避免吸嘴46与元件碰撞的情况而设置高度方向上的富余量的情况下,优选将高度固有值heg设定得比较小(较低的位置)。在该情况下,作为高度固有值heg,能够使用三个单元高度hl、hc、hr中的最小值。

此外,也可以取代供料器单元8的实物而使用模拟供料器单元8而得到的模型来进行实测。该模型是通过高精度地制作供料器单元8的元件供给位置82的高度、上侧定位销83及下侧定位销85的安装位置等而成的。通过选择几个槽341来装配模型,并测定模型的元件供给位置82的高度,而高精度地求出与选择的槽341相对应的上侧定位孔351及下侧定位孔353的高度误差。进而,在使用模型的机外的实测中,能够使用精度比机内的基板相机47高的测定器。例如,能够使用通过使检测部下降而与模型的元件供给位置82接触来检测元件供给位置82的高度的接触式传感器。

通过使用了供料器单元8的实物或者模型的实测而最终获得的高度固有值heg被存储于装置控制部38的内部的非易失性存储器。装置控制部38在元件供给装置3装备于元件安装机1时,将高度固有值heg向以通信的方式连接的控制装置6(高度校正控制部)传送。在此,元件供给装置3在两方的定位销37的形状、配设的高度位置具有个体差异。由此,高度固有值heg是每个元件供给装置3所固有的值,是能够消除元件供给装置3的个体差异的影响的值。

另外,设于结合部件35的六十五个上侧定位孔351及六十五个下侧定位孔353的高度并未完全一致,含有误差。另一方面,在供料器单元8的上侧定位销83及下侧定位销85的高度中也存在有个体差异。进而,在基于供料器单元8的构造而形成的元件供给位置82的高度中也存在有个体差异。由此,高度固有值heg也是能够抑制多个供料器单元8的个体差异、安装高度的误差等的影响的代表值。

控制装置6基于从装置控制部38接收到的高度固有值heg,校正吸嘴46从各供料器单元8的元件供给位置82吸附元件时的下降动作行程量。由此,在控制吸嘴46的元件吸附动作时,多台元件供给装置3的个体差异的影响被消除,且多个供料器单元8的个体差异、安装高度的误差等的影响被抑制。下降动作行程量的校正也可以通过元件移载装置4内的控制部接收高度固有值heg的信息来实施。

此外,作为代表值,高度固有值heg既可以是一个,也可以是多个。例如,也可以将实测出的三个单元高度hl、hc、hr存储为高度固有值。在该情况下,将65条槽341分为靠左的组、中央附近的组及靠右的组,对各组分配邻近的单元高度hl、hc、hr。并且,根据供供料器单元8装配的槽341的位置区分使用三个单元高度hl、hc、hr,并反映在吸嘴46的元件吸附动作的控制中。另外,例如,也可以实测装配的全部供料器单元8的元件供给位置82的高度,并将各实测值存储为高度固有值。

(4.实施方式的元件安装机1的方式及效果)

实施方式的元件安装机1具备:机台9;多台元件供给装置3,分别具有在元件供给位置82供给元件的多个供料器单元8(元件供给单元),且以能够更换的方式装备于机台9;元件移载装置4,具有进行升降动作而从供料器单元8拾取元件并向基板k安装的吸嘴46(装配嘴),并且被设定了作为吸嘴46的升降动作的基准的基准高度h0,且装备于机台9;装置控制部38(高度存储部),存储每个元件供给装置3所固有的高度固有值heg,该高度固有值heg以相对于基准高度h0的相对的单元高度hl、hc、hr来表示装备了元件供给装置3时的各供料器单元8的元件供给位置82的高度,是基于各供料器单元8的单元高度hl、hc、hr而通用于各供料器单元8地规定的;及控制装置6(高度校正控制部),基于所装备的元件供给装置3的高度固有值heg,校正吸嘴46从各供料器单元8拾取元件时的下降动作行程量。

在此,高度固有值heg以能够消除更换并装备的元件供给装置3的个体差异的方式被设为每个元件供给装置3的固有值,且高度固有值heg也是能够抑制多个供料器单元8的个体差异、安装高度的误差等的影响的代表值。由此,通过基于高度固有值heg来控制吸嘴46的元件拾取动作,能够综合地消除高度方向上的误差,能够稳定地拾取元件。

进而,装置控制部38设于元件供给装置3,在装备了该元件供给装置3时将高度固有值heg向控制装置6传送。由此,只要预先测定一次各元件供给装置3的高度固有值heg并存储,即可在每次装备了元件供给装置3时将该高度固有值heg自动地向控制装置6传送。由此,减少更换并装备元件供给装置3时的换产调整作业的时间和劳动力。

进而,在将元件供给装置3置于机外的状态下求出多个供料器单元8的一部分的单元高度的实测值,并基于实测值来计算高度固有值heg。由此,即使在元件安装机1运转的状况下,也能够预先在机外求出高度固有值heg。由此,使换产调整作业高效,并且不会阻碍元件安装机1的运转。

进而,元件供给装置3具有沿宽度方向排列设置的多个供料器单元8。由此,高度固有值heg成为能够抑制多个供料器单元8的个体差异、安装高度的误差的影响等的代表值。由此,通过基于高度固有值heg来控制吸嘴46的元件吸附动作,能够从多个供料器单元8稳定地拾取元件。

(5.实施方式的元件安装生产线100)

接下来,以在实施方式的元件安装机1中未说明的点及与实施方式的元件安装机1不同的点为主来说明本发明的实施方式的元件安装生产线100。图7是表示实施方式的元件安装生产线100的结构的俯视图。实施方式的元件安装生产线100是通过将与实施方式的元件安装机1构造相同的四台元件安装机11~14连结为一列而构成的。能够将构造与已说明的元件供给装置3相同的六台元件供给装置3a~3f以能够互换的方式装备于四台元件安装机1a~1d。在图6的例子中,在第一元件安装机~第四元件安装机11~14装备有第一元件供给装置~第四元件供给装置3a~3d,进而,作为更换用而准备有第五元件供给装置3e及第六元件供给装置3f。

在实施方式的元件安装生产线100中,高度存储部的功能及高度校正控制部的功能均通过各元件安装机11~14的控制装置6来实现。另外,在求取高度固有值heg时实测单元高度的三个供料器单元8的选择位置被设为左端、中央及右端的槽341l、341c、341r。其中,单元高度的实测是在元件供给装置3a~3f装备于元件安装机11~14的状态下进行的。

即,当新的元件供给装置3a~3f、实施了维护后的元件供给装置3a~3f最初装备于元件安装机11~14时,控制装置6执行计算高度固有值heg的程序。在执行程序之前,操作人员分别在装配于左端、中央及右端的槽341l、341c、341r的供料器单元8的元件供给位置82设置模型。接下来,控制装置6使基板相机47依次向三个模型的上方移动并拍摄各模型,从而实测三个位置的元件供给位置82的高度。

接着,控制装置6将三个位置的元件供给位置82的高度的实测值转换为单元高度。进而,控制装置6根据预先设定的平均值计算、最小值选择等计算方法来计算高度固有值heg。最终,控制装置6将识别元件供给装置3a~3f的个体的识别码和该元件供给装置3a~3f的高度固有值heg成组地存储。在元件供给装置3a~3f的第二次之后的装备中不进行单元高度的实测及高度固有值heg的计算,使用已存储的高度固有值heg。

在此,允许各元件供给装置3a~3f的高度固有值heg在四台元件安装机11~14中互不相同。例如,第一元件供给装置3a的高度固有值ha在第一元件安装机11中存储为高度固有值ha1,在第二元件安装机12中存储为高度固有值ha2,在第三元件安装机13中存储为高度固有值ha3,在第四元件安装机14中存储为高度固有值ha4。并且,允许成为ha1≠ha2≠ha3≠ha4。

同样地,第二元件供给装置3b的高度固有值hb在四台元件安装机11~14中分别存储为高度固有值hb1、hb2、hb3、hb4,该四个高度固有值hb1、hb2、hb3、hb4也可以互不相同。进而同样地,允许第三元件供给装置~第六元件供给装置3c~3f的高度固有值heg在四台元件安装机11~14中互不相同。

高度固有值heg(ha1~ha4、hb1~hb4)在四台元件安装机11~14中不同的原因在于元件安装机11~14的个体差异。例如,元件供给装置3的定位销37所嵌入的机台9侧的定位孔的高度在四台元件安装机11~14中能够不同(能够产生个体差异)。在该情况下,即使装备相同的元件供给装置(3a~3f中的任一台),载置板36的载置高度在四台元件安装机11~14相互间也产生偏差,产生高度固有值heg的不同。

在构成实施方式的元件安装生产线100的各元件安装机11~14中,基于已存储的高度固有值heg来控制吸嘴46的元件拾取动作,从而能够综合地消除高度方向上的误差,能够稳定地拾取元件。

进而,各元件安装机11~14的控制装置6(高度校正控制部)兼作高度存储部,将识别元件供给装置3的个体的识别码和该元件供给装置3的高度固有值heg成组地存储。由此,只要预先测定一次各元件供给装置3a~3f的高度固有值heg并存储,即可与所装备的元件供给装置3相对应地在元件吸附动作中自动地反映该高度固有值heg。由此,减少更换并装备元件供给装置3时的换产调整作业的时间和劳动力。

进而,在各元件安装机11~14中,在装备了元件供给装置3a~3f的状态下求出多个供料器单元8的一部分的单元高度的实测值,基于实测值来计算高度固有值heg。由此,由于在元件供给装置3a~3f装备于元件安装机11~14的实际的使用状况下求出高度固有值heg,因此高度固有值heg的精度良好。

另外,实施方式的元件安装生产线100具有多台与实施方式的元件安装机1构造相同的元件安装机11~14,多台元件供给装置3a~3f以能够互换的方式装备于各元件安装机11~14,且允许多台元件安装机11~14中的高度固有值heg(ha1~ha4、hb1~hb4)互不相同。由此,由于单独地求出也反映了元件安装机11~14的个体差异的高度固有值heg,因此在各元件安装机11~14中进一步提高高度固有值heg的精度。

(6.实施方式的应用及变形)

此外,如上所述,无需在每次装备元件供给装置3、3a~3f时计算高度固有值heg。尽管如此,对于更换了多个供料器单元8后的元件供给装置3、3a~3f,优选在装备后的状态或者置于机外的状态下实测单元高度,重新求出高度固有值heg。

另外,使用了上侧定位销83及下侧定位销85的供料器单元8的定位构造及使用了载置板36的上表面的定位销37的元件供给装置3的定位构造也可以是其它构造。无论是何种定位构造,根据本发明,最终均能够综合地消除元件供给位置82的高度的误差。进而,在实施方式中,元件供给装置3构成为包括多个供料器单元8,但是并不局限于此。例如,元件供给装置3也可以由多个托盘式元件供给单元构成。

此外,也可以使用供料器单元8的个体差异的数据来校正吸嘴46的下降动作行程量。例如,供料器单元8也可以将与自身的尺寸相关的数据存储于供料器控制部88的内部的存储器。于是,控制装置6能够从装置控制部38接收高度固有值heg,并且能够从供料器控制部88经由装置控制部38接收与供料器单元8的尺寸相关的数据。由此,控制装置6能够分别考虑各供料器单元8的尺寸来独立且准确地校正下降动作行程量。另外,本发明的高度存储部及高度校正控制部也可以通过除装置控制部38及控制装置6以外的控制部、计算机来实现。除此以外,本发明也可以进行各种应用、变形。

附图标记说明

1、11~14:元件安装机2:基板搬运装置

3、3a~3f:元件供给装置34:料盘部件

341、341l、341c、341r:槽

38:装置控制部(高度存储部)

4:元件移载装置46:吸嘴

5:元件相机6:控制装置(高度校正控制部、高度存储部)

8:供料器式元件供给单元(供料器单元)

82:元件供给位置9:机台

100:元件安装生产线

h0:基准高度heg:高度固有值

hl、hc、hr:单元高度

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