加热器装置及使用它的被加热体的加热方法与流程

本发明涉及加热器装置及使用它的被加热体的加热方法。

背景技术：

例如，在文献1中，公开了向各种各样的形状的被加热部件的对应较容易、没有加热不匀、能够效率良好地加热的加热器及传热部件。

此外，在文献2中，公开了一种具有发热体、由金属板构成、配置在被加热体的两侧的一对纵向部位的第1部件、和与第1部件一起夹持发热体的一对第2部件的加热器。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2014－7111号公报

专利文献2：国际公开第2012/090829号

技术实现要素：

发明要解决的课题

例如，有将在常温下是液体的四乙氧基硅烷等化学物质在加热后在气体的状态下输送、在半导体的制造等中使用的情况。在这样的情况下，将四乙氧基硅烷等化学物质在气体的状态下经由配管输送，在气体的状态下调整流量后，向半导体的制造装置的反应炉等供给。

这样的化学物质在输送中、特别是在调整流量时需要将流路加热到规定温度，以免再度液化。特别是，为了将该化学物质稳定地向半导体的制造装置的反应炉等供给，需要将调整流量的阀的周围保持为规定温度。

这里，流路通常是复杂地设置有配管及各种各样的设备的结构。这在流路中的阀的周围也不例外，阀的周围连接着阀及连接在阀上的配管等，在外观上具有凹凸形状。

将这样的例如阀的周围那样的具有凹凸形状的被加热体使用以往的加热器装置效率良好地加热是困难的。

本发明的目的是提供一种将具有凹凸形状的被加热体效率良好地加热的加热器装置。此外，本发明的另一目的是提供一种将具有凹凸形状的被加热体效率良好地加热的加热方法。

此外，本发明的上述及其他目的和新的特征通过本说明书的记述及附图会变得清楚。

用来解决课题的手段

用来解决上述课题的本发明的加热器装置，是安装在需要加热且具有凹凸形状的被加热体上而加热的加热器装置，其特征在于，包括：热传导性的传导部件，被安装到上述被加热体的凹部；和加热器，在将上述传导部件安装在上述被加热体的凹部的状态下，将该被加热体和该传导部件覆盖而加热；在将上述传导部件安装在上述被加热体的凹部、上述加热器将该被加热体和该传导部件覆盖的状态下，上述加热器的一部分与上述被加热体的凸部抵接。

用来解决上述课题的本发明的加热方法，是需要加热且具有凹凸形状的被加热体的加热方法，其特征在于，在上述被加热体的凹部安装热传导性的传导部件；用加热器将该被加热体和该传导部件覆盖；使上述加热器的一部分与上述被加热体的凸部抵接；通过从上述加热器发出的热，从与上述被加热体抵接的上述加热器的上述一部分将上述被加热体直接加热，并从上述加热器中的除了上述一部分以外的部位将上述被加热体经由上述传导部件加热。

发明效果

根据本发明，能提供一种将具有凹凸形状的被加热体效率良好地加热的加热器装置。此外，根据本发明，能提供一种将具有凹凸形状的被加热体效率良好地加热的加热方法。

附图说明

图1是将有关本实施方式的加热器装置以装接在被加热体上的状态表示的立体图。

图2是表示图1中的ii－ii线的截面的图。

图3是表示图1中的iii－iii线的截面的图。

图4是表示构成有关本实施方式的加热器装置的一部分的加热器的立体图。

图5是表示图4中的v－v线中的截面的一例的图。

图6是将构成有关本实施方式的加热器装置的一部分的传导部件以装接在被加热体上的状态表示的分解立体图。

图7是将有关另一实施方式的加热器装置以装接在被加热体上的状态表示的立体图。

图8是表示图7中的viii－viii线的截面的图。

图9是表示图7中的ix－ix线的截面的图。

图10是将构成有关另一实施方式的加热器装置的一部分的传导部件以装接在被加热体上的状态表示的立体图。

图11是表示将有关另一实施方式的加热器装置装接在被加热体上的状态的变形例的剖视图。

具体实施方式

[有关本发明的一实施方式的加热器装置]

以下，参照附图对有关本发明的一实施方式的加热器装置进行说明。

图1是将有关本实施方式的加热器装置以装接在被加热体上的状态表示的立体图。图2是表示图1中的ii－ii线的截面的图。图3是表示图1中的iii－iii线的截面的图。

有关本实施方式的加热器装置10是安装在需要加热且具有凹凸形状的被加热体30上而进行加热的加热器装置10，其特征在于，包括：热传导性的传导部件120，该热传导性的传导部件120构成为，被安装到上述被加热体30的凹部350；和加热器110，该加热器110构成为，在将上述传导部件120安装在上述被加热体30的凹部350的状态下，将该被加热体30和该传导部件120覆盖而加热；在将上述传导部件120安装在上述被加热体30的凹部350、上述加热器110将该被加热体30和该传导部件120覆盖的状态下，上述加热器110的一部分与上述被加热体30的凸部360抵接。

这里，需要加热、从一方向观察具有凹凸形状的被加热体30也可以包括输送流体的配管320、和容纳用来调节流体的流动的阀的阀箱310而构成。以下，设被加热体30包括输送流体的配管320、和容纳用来调节流体的流动的阀的阀箱310而构成。

如图1、图2、图3所示，被加热体30被构成有关本实施方式的加热器装置10的一部分的片状的加热器110覆盖。

图1、图2、图3中的需要加热、从一方向观察具有凹凸形状的被加热体30，是包括容纳用来调节流体的流动的阀的多个阀箱310a、310b、310c，和将各个阀箱310a、310b、310c连接并输送流体的配管320a、320b而构成的三连阀。

如果关于被加热体30的凹凸形状更具体地说明，则如果从图2所示的侧面方向、图3所示的铅直方向观察，具备构成被加热体30的一部分的阀箱310a、310b、310c的部分相当于被加热体30的凸部360，具备构成被加热体30的一部分的配管320a、320b的部分相当于被加热体30的凹部350。

更详细地讲，阀箱310a、310b、310c自身是凸部360，通过阀箱310a、310b、310c和配管320a、320b的台阶差形成凹部350，关于凹部350，换言之，是由阀箱310a、310b、310c中的与配管320a、320b连接的一侧的面和配管320a、320b表面划定的区域。

另外，在各阀箱310a、310b、310c的上部，安装着用来控制阀的驱动的致动器510a、510b、510c。致动器510a、510b、510c由于是不需要被加热的，所以不包含在被加热体30中。

如果将图2、图3所示的三连阀那样的被加热体30不具备传导部件120而仅用片状的加热器110覆盖，则在具备构成被加热体30的一部分的配管320a、320b的部分即凹部350中出现空隙。如果存在这样的空隙，则来自加热器的热在空隙中被冷却，热效率下降。

如图2、图3所示，本实施方式的加热器装置10也可以在这样的被加热体30的凹部350中安装热传导性的传导部件120、将加热器110的一部分抵接在传导部件120上而设置(例如图2、图3中的标号a的地方)。通过在凹部350中安装热传导性的传导部件120，或者，通过在凹部350中安装热传导性的传导部件120、进而将加热器110的一部分抵接在传导部件120上而设置，从加热器110发出的热经由传导部件120传递给被加热体30。由此，加热器装置10效率更好地将被加热体30加热。

此外，如图3所示，通过将加热器110的其他的一部分与被加热体30的凸部360直接抵接而设置(例如图3中的标号b的地方)，从加热器110发出的热直接被传递给被加热体30。由此，有关本实施方式的加热器装置10的热效率进一步提高。

即，通过使用有关本实施方式的加热器装置实现被加热体的加热方法，是需要加热、具有凹凸形状的被加热体的加热方法，将热传导性的传导部件安装到上述被加热体的凹部中，用加热器将该被加热体和该传导部件覆盖，使上述加热器的一部分与上述被加热体的凸部抵接；通过从上述加热器发出的热，从与上述被加热体抵接的上述加热器的上述一部分将上述被加热体直接加热，并且从上述加热器中的除了上述一部分以外的部位将上述被加热体经由上述传导部件加热。

进而，如图2所示，有关本实施方式的加热器装置10也可以构成为，在将传导部件30安装到被加热体30的凹部350中的状态下、加热器110将该被加热体30和该传导部件120覆盖的情况下，传导部件120的一部分与被加热体30抵接(例如图2中的标号c的地方)。由此，有关本实施方式的加热器装置10的热效率进一步提高。

接着，对有关本实施方式的加热器装置的各结构进行说明。

图4是表示构成有关本实施方式的加热器装置的一部分的加热器的立体图。图5是表示图4中的v－v线的截面的一例的图。

如图4所示，构成有关本实施方式的加热器装置10的一部分的加热器110也可以具有片形状。此外，构成有关本实施方式的加热器装置10的一部分的加热器110构成为，具有挠性或柔性，能够将被加热体等的周围自如地包围。

使用至少1个以上这样的具有片形状的加热器110，将被加热体等的周围覆盖。

构成有关本实施方式的加热器装置的一部分的加热器110也可以包括包围体112和设置在包围体112的内部中的发热体111而构成。

例如如图4所示，构成有关本实施方式的加热器装置10的一部分的加热器110作为发热体111而在加热器内部整体中铺设有发热线(电热线)，以从加热器110整体发热。此外，发热线通过经由连接在外部电源上的插头112被供电而发热。

此外，如图5所示，加热器110也可以作为包围体112而分别用不同的材料形成设置在与被加热体30对置的一侧的内层112a、和设置在与对置于被加热体30的一侧相反侧的外层112b。

构成包围体112的内层112a及外层112b的形成材料可分别由聚四氟乙烯(ptfe)、四氟乙烯－全氟烷氧基乙烯共聚物(pfa)、四氟乙烯－六氟乙烯共聚物(fep)、聚三氟氯乙烯(pctfe)、四氟乙烯－乙烯共聚物(etfe)、氯三氟乙烯－乙烯共聚物(ectfe)、聚偏氟乙烯(pvdf)等的氟系树脂构成的氟树脂制片，或者编入了上述氟系树脂的纤维的氟树脂纤维制布料(纺织布)，或者由以玻璃纤维、氧化铝纤维等为代表的无机纤维形成的无机纤维制布料(纺织布)，或者通过对上述无机纤维制布料涂层处理氟系树脂而得到的氟树脂涂层无机纤维制布料等形成。

此外，除了上述氟系树脂以外，内层112a及外层112b也可以分别由聚酰胺、聚碳酸酯、聚缩醛、聚对苯二甲酸丁二醇酯、改性聚苯醚、聚苯硫醚、聚砜、聚醚砜、多芳基化合物、聚醚醚酮、聚邻苯二甲酰胺、聚酰亚胺、聚醚酰亚胺、聚甲基戊烯等的具有耐热性且比氟系树脂低熔点的树脂形成。

此外，包围体112的厚度只要能够得到本发明的效果就没有被特别限制，但0.1～8mm是适当的，优选的是0.1～5mm，更优选的是0.1～2mm。

此外，发热体111只要功率密度是0.15w/cm2以上，没有特别限制，例如也可以由通过通电而发热的镍铬耐热合金线或不锈钢线等的发热线(电热线)形成。

此外，上述电热线优选的是被电绝缘。这样的绝缘通过在电热线上覆盖由以玻璃纤维、氧化铝纤维等为代表的无机纤维构成的无机纤维制套筒，或者将树脂涂层来实现。此外，也可以使用碳制发热体或陶瓷制发热体来代替电热线。

这里，在本发明中，所谓功率密度，也被称作电力密度，是指套式加热器的用每单位表面积(cm²)的电气容量(w)表现的加热器的表面负荷(w/cm²)的程度。通常，如果功率密度的数值较大，则加热器的表面温度变高，相反，如果功率密度的数值较小，则加热器的表面温度变低。

此外，对于功率密度的上限没有特别限制，只要是0.5w/cm²以下就可以，具体而言，只要是0.15～0.5w/cm²就可以，也可以为0.17～0.5w/cm²，0.20～0.5w/cm²，0.25～0.5w/cm²。

另外，电热线也可以在支承体(未图示)上用缝合线缝接为希望的图案。支承体例如是由以玻璃纤维、氧化铝纤维等为代表的无机纤维形成的无机纤维制布料。

此外，邻接的电热线彼此的间隔(以下也称作间距。图4中的间隔p)也可以设定为10～35mm左右，优选的是，为了确保均热性，也可以设定为40～70mm或45～60mm。

此外，如图5所示，构成有关本实施方式的加热器装置10的一部分的加热器110也可以具备隔热件113。隔热件113也可以通过将玻璃纤维、陶瓷纤维或硅石纤维等集成、实施了针织加工的无机纤维垫形成。

此外，隔热件113的厚度没有特别限制，例如也可以是5～100mm，也可以是5～50mm，也可以是8～30mm。

接着，对构成有关本实施方式的加热器装置的一部分的传导部件120进行说明。图6是将构成有关本实施方式的加热器装置的一部分的传导部件以装接在被加热体上的状态表示的分解立体图。传导部件120构成为，如上述那样安装于被加热体30的凹部350。

即，传导部件120是在安装到需要加热且从一方向观察具有凹凸形状的被加热体30上而加热的加热器装置10中使用的传导部件120，构成为，安装于上述被加热体30的凹部350。

此外，从提高装接性的观点出发，传导部件120构成为，仅从预先设定的一个方向相对于被加热体30的凹部350安装。更具体地讲，本实施方式的传导部件120能够以从图6中的箭头α方向嵌合到被加热体30的凹部350中的方式设置。

此外，本实施方式的传导部件120也可以以相对于被加热体30从铅直方向下侧嵌合到被加热体30的凹部350的方式设置。

此外，传导部件120是具有与被加热体30的凹部的形状对应的凸部121的。此外，如图6所示，在存在多个被加热体30的凹部350的情况下，传导部件120也可以具有与被加热体30的多个凹部350的形状对应的多个凸部121。

并且，构成有关本实施方式的加热器装置10的一部分的传导部件120也可以包括与被加热体30的多个凹部350的形状对应的多个凸部121和将该多个凸部121连接的连结部122而构成。

此外，传导部件120也可以构成为，以被加热体30的凸部360的至少1个面露出的方式，将传导部件120的凸部121安装到被加热体30的凹部350中，被加热体30的露出的至少1个面与加热器110的一部分抵接。

此外，传导部件120也可以包括与被加热体30的凹部350的形状对应的凸部121和与该凸部121连结的连结部122，传导部件120的连结部122构成为，与被加热体30的凸部360抵接，在传导部件120的连结部122上，具备用来将传导部件120固定到被加热体30上的固定部127。换言之，固定部127能够将传导部件120相对于被加热体30定位而构成。

该固定部127既可以由例如将被加热体30和传导部件120固定的螺钉127a及螺孔120b实现，或者也可以由夹在被加热体30与传导部件120之间的、将被加热体30和传导部件120固定的粘接材料层(未图示)实现。

此外，如图6所示，固定部127也可以位于被加热体30的铅直方向下侧，将被加热体30和传导部件120的位置从被加热体30的铅直方向下侧固定。

在后面叙述，但传导部件120从具有较高的热传导性的理由，也可以由金属形成。在此情况下，金属制的传导部件120由于重量较大，所以在被加热体30上作用载荷。

例如在被加热体30如图6所示那样由包括配管310和阀箱320的结构构成的情况下，如果在配管310的周向上作用负荷，则有可能给配管310与阀箱320的连接带来影响，并不优选。

固定部127位于被加热体30的铅直方向下侧，通过将被加热体30和传导部件120的位置从被加热体30的铅直方向下侧固定，对于构成被加热体30的一部分的配管310的周向上的负荷被减轻，避免了对于配管310与阀箱320的连接的影响。

此外，构成有关本实施方式的加热器装置10的一部分的传导部件120也可以仅由为了将被加热体30的凹部350的形状填埋而预先形成的一个部件构成。

即，也可以仅由一体成型了上述传导部件120的凸部121和传导部件120的连结部122的一个部件构成。更具体地讲，在传导部件120由金属形成的情况下，也可以使用锻造或铸造等的制造方法，形成仅由一体成型了传导部件120的凸部121和传导部件120的连结部122的一个部件构成的结构。此外，传导部件120也可以是仅由将传导部件120的凸部121和传导部件120的连结部122借助粘接剂或固定工具等一体地成型的一个部件构成的结构。

这样，通过传导部件120由一个部件构成，装接性进一步提高，此外，传导部件120内的热的传输效率变高，是优选的。

此外，在被加热体30如本实施方式例那样包括输送流体的配管320和容纳用来调节上述流体的流动的阀的阀箱310而构成的情况下，在设置在传导部件120上的、与被加热体30的凹部350的形状对应的凸部121上，形成有沿着该配管320的形状形成的缺口123。

通过在传导部件120的缺口123中容纳构成被加热体30的一部分的配管320，遍及配管320的大致整周被暴露在从传导部件120放射的热下，热效率变高。

这里，在有关本实施方式的加热器装置10中，在提高热效率的方面，以加热器110的一部分与被加热体30抵接、加热器110的另一部分与传导部件120抵接的方式构成是重要的。

因而，构成有关本实施方式的加热器装置10的一部分的传导部件120在将传导部件120安装在被加热体30的凹部350的状态下被加热体120的一部分露出是重要的。更具体地讲，将传导部件120安装为，在将传导部件120安装在具有凹凸形状的被加热体30的状态下、作为被加热体30的一部分的凸部360为露出的状态是重要的。

另外，传导部件120也可以不将被加热体30以外的部件覆盖而安装。即，构成有关本实施方式的加热器装置10的一部分的传导部件120也可以避开需要加热的被加热体30以外的部件而设置。

如果更具体地说明，则在图6中，在阀箱310的上方具备用来控制设置在阀箱内的阀的开闭的致动器510。致动器510由于不需要加热，所以传导部件120不将致动器510覆盖而安装。

此外，如图6所示，也可以在传导部件120中还具备用来检测被加热体30的温度的检测部130。参照图6，在传导部件120中，除了沿着上述说明的被加热体30的一部分(图6中的配管320)的形状形成的缺口123以外，还形成有容纳用来监视加热状态的检测部130的第2缺口124。检测部130例如也可以是热电偶。

这样，通过在传导部件上设置第2缺口124，在该第2缺口124中设置检测部130，能够监视接近被加热体30的位置的温度状态。另外，基于由检测部130监视的温度数据进行加热器110的控制，在提高使用加热器装置10时的能量效率这一点上是有益的。

检测部130如图6所示，也可以被设置到传导部件120的连结部122上。即，也可以在传导部件120的连结部122上形成与检测部130的形状对应的第2缺口124，检测部130被容纳设置在第2缺口124的内部。

此外，形成在传导部件120的第2缺口124例如如图6所示，也可以形成在与和被加热体30的凸部360(相当于图6中的阀箱310)直接接触的传导部件120的一个面125相反侧的另一面126上。在此情况下，检测部130经由传导部件120监视被加热体30的温度。

此外，形成在传导部件120上的第2缺口124也可以形成在与被加热体30的凸部360(相当于图6中的阀箱310)直接接触的传导部件120的一个面125上。在此情况下，检测部130不经由传导部件120直接监视被加热体30的温度。

此外，如图6所示，形成在传导部件120上的第2缺口124也可以具备多个。此外，加热器装置10也可以具备与形成在传导部件120上的多个第2缺口124分别对应的多个检测部130。

在图6中，表示形成在传导部件120上的第2缺口124在与和被加热体30的多个凸部360(相当于图6中的阀箱310)直接接触的传导部件120的一个面125相反侧的另一面126中的与该多个凸部360接近的位置上形成有多个。

此外，传导部件120也可以由20℃下的热传导率为1.0w/(m·k)以上的材料形成。通过传导部件120由20℃下的热传导率为1.0w/(m·k)以上的材料形成，能够进一步提高本发明的效果。

此外，传导部件120既可以由20℃下的热传导率为100w/(m·k)以上的材料形成，也可以由20℃下的热传导率为200w/(m·k)以上的材料形成。

此外，传导部件120具体而言也可以由金属形成。更具体地讲，传导部件也可以由铝形成。例如，通过传导部件120由铝等的与铁等相比较轻的金属构成，能够减轻安装在被加热体30上时的载荷，是优选的。

上述说明的加热器装置10，是将具有凹凸形状的被加热体30效率良好地加热的加热器装置。

[有关本发明的其他实施方式的加热器装置]

以下，对加热被加热体40的其他实施方式的加热器装置20进行说明。另外，其他实施方式的加热器装置20加热的被加热体40的形状与上述说明的一实施方式的加热器装置10加热的被加热体10的形状不同。

构成其他实施方式的加热器装置20的一部分的传导部件220具有与作为加热对象的被加热体40对应的形状。即，其他实施方式的加热器装置20在被加热体的形状不同这一点上与上述一实施方式的加热器装置10不同。

关于其他实施方式的加热器装置20的传导部件40以外的结构，与上述一实施方式的加热器装置10的结构是同样的，所以省略详细的说明。

图7是将另一实施方式的加热器装置以装接在被加热体上的状态表示的立体图。图8是表示图7中的viii－viii线的截面的图。图9是表示图7中的ix－ix线的截面的图。

被加热体40包括容纳用来调节流体的流动的阀的一个阀箱410、和设置在阀箱410的两侧的输送流体的配管420a、420b而构成。

另外，在阀箱410的上部，安装着用来控制阀的驱动的致动器510d。由于致动器510d不需要被加热，所以不包含在被加热体40中。

如果将被加热体40从图8、图9的方向观察，则为了在阀箱410的两侧设置配管，在阀箱410的两侧具备凹部450。如果将这样的被加热体40例如仅用片状的加热器110覆盖，则难以将接近于阀箱410的部分的凹部450效率良好地加热。

如图8、图9所示，另一实施方式的加热器装置20也可以在这样的被加热体40的凹部450中安装热传导性的传导部件220，将加热器110的一部分抵接在传导部件220上而设置(例如图8、图9中的标号a的地方)。

通过在凹部350中安装热传导性的传导部件120、或在凹部350中安装热传导性的传导部件120、再将加热器110的一部分抵接在传导部件220上而装备，从加热器110发出的热经由传导部件220传递给被加热体40。由此，加热器装置10效率更好地将被加热体40加热。

此外，如图9所示，加热器110的另一部分与被加热体40的凸部460直接抵接而设置(例如图9中的标号b的地方)。

由此，从加热器110发出的热被直接传递给被加热体40。由此，有关其他实施方式的加热器装置20的热效率进一步提高。

进而，如图8所示，在本实施方式的加热器装置20中，在将传导部件40安装在被加热体40的凹部450上的状态下，在加热器110将该被加热体40和该传导部件220覆盖的情况下，传导部件220的形状也可以构成为，使传导部件220的一部分与被加热体40抵接(例如图8中的标号c的地方)。由此，其他实施方式的加热器装置20的热效率进一步提高。

图10是将构成另一实施方式的加热器装置的一部分的传导部件以装接在被加热体上的状态表示的立体图。传导部件220如上述那样构成为，安装到被加热体40的凹部450中。

即，传导部件220是在安装在需要加热、从一个方向观察具有凹凸形状的被加热体40上而加热的加热器装置20中使用的传导部件220，构成为，安装到上述被加热体40的凹部450中。

此外，从提高装接性的观点，传导部件220构成为，相对于被加热体40的凹部450仅从预先设定的一个方向安装。更具体地讲，本实施方式的传导部件220能够以从图10中的箭头α方向嵌合到被加热体40的凹部450中的方式设置。

此外，传导部件220具有与被加热体40的凹部的形状对应的凸部221。此外，如图10所示，在存在多个被加热体40的凹部450的情况下，传导部件220也可以具有与被加热体40的多个凹部450的形状对应的多个凸部221。

并且，构成本实施方式的加热器装置20的一部分的传导部件220也可以包括与被加热体40的多个凹部450的形状对应的多个凸部221和将该多个凸部221连接的连结部222而构成。

即，构成本实施方式的加热器装置20的一部分的传导部件220也可以仅由预先形成为将被加热体40的凹部450的形状填埋的一个部件构成。

这样，通过传导部件220由一个部件构成，装接性进一步提高，此外，传导部件220内的热的传输效率变高，是优选的。

并且，在被加热体40如本实施方式的例子那样包括输送流体的配管420和容纳用来调节上述流体的流动的阀的阀箱410而构成的情况下，在设置于传导部件220的与被加热体40的凹部450的形状对应的凸部221上，形成有沿着该配管420的形状形成的缺口223。

通过将构成被加热体40的一部分的配管420容纳到传导部件420的缺口223中，遍及配管420的大致整周被暴露在从传导部件220放射的热下，热效率提高。

上述说明的加热器装置20是将具有凹凸形状的被加热体40效率良好地加热的加热器装置。

另外，在被加热体40中，在将阀箱410与配管420连接的接头430相对于阀箱410较小的情况下，也可以将接头430看作配管420的一部分，将接头430和配管420用传导部件220覆盖。

图11是表示将另一实施方式的加热器装置装接在被加热体上的状态的变形例的剖视图。

这样，将传导部件220安装在被加热体40的凹部450的加热器装置20是将具有凹凸形状的被加热体40效率良好地加热的加热器装置。

另外，并不限定于上述本实施方式、其他实施方式的结构，在本发明的主旨的范围内，加热器装置的各结构可以变更。例如，关于被加热体的凹凸形状，在作为被加热体而例如阀体自身具有凹凸形状的情况下，也可以构成为，使传导部件(凸部)对应于阀体的凹部。此外，加热器装置的传导部件可以仅具备与被加热体的凹部(例如配管周边的区域)对应的凸部而构成。除此以外，在上述实施方式中，对固定部位于被加热体的铅直方向下侧(换言之是底面侧)、以将被加热体和传导部件的位置从被加热体的铅直方向下侧固定的方式构成的情况进行了说明，但并不限于此，也可以构成为，固定部位于被加热体的规定部位(例如侧面侧部位或上面侧部位)，以将被加热体和传导部件的位置从被加热体的规定部位侧(例如侧面侧或上面侧)固定。

标号说明

10、20加热器装置；30、40被加热体；110加热器；120、220传导部件；310、410阀箱；320、420配管；350凹部；360凸部。