技术总结
本发明公开了一种快速二维均匀辐照扫描方法，该方法包括：将带电粒子束扩束成截面为特定分布的且具有一定宽高比例的束流；根据束流的宏脉冲长度，计算出单次线扫描的时间；根据束流宏脉冲的重复频率，计算出单次步进扫描的时间间隔；根据需要扫描的样品面积和束斑面积，计算得到完成一次面扫描的时间；在束流的出口，根据计算的线扫描时间，采用线性变化的快变化磁场对束流进行偏转实现一个维度的线扫描；在束流的出口，根据计算的步进扫描时间，采用快响应的稳态磁场对束流进行偏转实现第二个维度的步进扫描；在扫描磁铁处采用陶瓷真空室；采用数字电源为扫描磁铁供电。本发明的方法具有扫描速度快、扫描面积大、扫描均匀度高等优点。
技术研发人员：杨永良;王琳;何志刚
受保护的技术使用者：中国科学技术大学
文档号码：201611252985
技术研发日：2016.12.30
技术公布日：2017.05.31