具有吹气管的蚀刻装置的制作方法

文档序号:11863491阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种具有吹气管的蚀刻装置,其特征在于,包括蚀刻缸体、设置于所述蚀刻缸体上部的上喷淋管和设置于所述蚀刻缸体底部的下喷淋管,所述上喷淋管、下喷淋管之间设置有运输滚轮,所述运输滚轮上方设置有吹气管。

2.根据权利要求1所述的具有吹气管的蚀刻装置,其特征在于,所述上喷淋管和下喷淋管上均匀分布有朝向所述运输滚轮的喷淋头。

3.根据权利要求2所述的具有吹气管的蚀刻装置,其特征在于,所述吹气管管壁均匀分布有4个吹气口,所述吹气口分别位于所述吹气管的水平和竖直方向。

4.根据权利要求3所述的具有吹气管的蚀刻装置,其特征在于,所述吹气管设置于所述上喷淋管的喷淋头之间。

5.根据权利要求4所述的具有吹气管的蚀刻装置,其特征在于,还包括驱动所述上喷淋管和下喷淋管水平摆动的驱动装置。

6.根据权利要求5所述的具有吹气管的蚀刻装置,其特征在于,所述吹气管的吹气压强为0.3-0.8MPa。

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