一种使用无隔膜型激波管的超高温分子束源的制作方法

文档序号:12502926阅读:来源:国知局
技术总结
本发明涉及高能量分子束流产生技术领域,一种使用无隔膜型激波管的超高温分子束源主要包括由分流器I和分流器II相间隔为真空室I和真空室II和真空室III而组成的真空腔、驱动气体进口、主阀、高压室、低压室、束流出口I、分流器I、斩波器、束流出口II、分流器II、供气阀、排气阀,由所述驱动气体进口、主阀、高压室、低压室、束流出口I依次连接组成的激波管位于所述真空室I,所述斩波器位于所述真空室II,所述分流器I和所述分流器II中间均开有小孔。本发明激波加热时间短,喷嘴温度不会上升很快,克服了喷嘴温度对材料的限制,能产生具有更高平移动能的分子束;无隔膜型激波管不用像现有隔膜型激波管那样需要频繁更换隔膜,节省成本及时间。

技术研发人员:赵永建;张向平;方晓华
受保护的技术使用者:金华职业技术学院
文档号码:201710126773
技术研发日:2017.02.24
技术公布日:2017.05.31

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