一种射频开关的开关核的制作方法

技术特征：

1.一种射频开关的开关核，其特征在于，包括：M路开关，M为正整数，其中，每路开关包括与射频输入端相互连接的开关串联支路和开关并联支路，所述开关串联支路和所述开关并联支路至少有一个支路为树型支路，每个树型支路包括一个主开关堆叠器件和多个分支电路上的多个多级子开关堆叠器件，主开关堆叠器件的输出端作为树型支路的输出端，主开关堆叠器件的输入端与其相应的子开关堆叠器件的输出端相连，所述开关串联支路与所述开关并联支路一一对应，所述开关串联支路的输出端与天线连接，所述开关并联支路的输出端接地；其中，子开关堆叠器件的开启时间晚于上一级的开关堆叠器件的开启时间，子开关堆叠器件的关闭时间早于上一级的开关堆叠器件的关闭时间，同级开关堆叠器件的开启时间和关闭时间均不相同。

2.根据权利要求1所述的射频开关的开关核，其特征在于，所述开关串联支路为树型支路，所述开关并联支路的每个开关堆叠器件的射频输入端与所述开关串联支路的每个分支电路的射频输入端相互连接，所述开关并联支路的每个开关堆叠器件与所述开关串联支路的每个分支电路一一对应，所述开关并联支路的每个开关堆叠器件的输出端接地，所述开关串联支路的输出端为主开关堆叠器件的输出端与所述天线连接。

3.根据权利要求1所述的射频开关的开关核，其特征在于，所述开关并联支路为树型支路，所述开关串联支路的每个开关堆叠器件的射频输入端与所述开关并联支路的每个分支电路的射频输入端相互连接，所述开关串联支路的每个开关堆叠器件与所述开关并联支路的每个分支电路一一对应，所述开关并联支路的输出端为主开关堆叠器件的输出端接地，所述开关串联支路的每个开关堆叠器件的输出端与所述天线连接。

4.根据权利要求1所述的射频开关的开关核，其特征在于，所述开关并联支路和所述开关串联支路均为树型支路，所述开关串联支路的每个分支电路的射频输入端与所述开关并联支路的相应的分支电路的射频输入端相互连接。

5.根据权利要求1至4任一项所述的射频开关的开关核，其特征在于，上一级开关堆叠器件的开关器件数量大于下一级子开关堆叠器件的开关器件数量。

6.根据权利要求1至4任一项所述的射频开关的开关核，其特征在于，每个堆叠器件中的输入端的开关器件和输出端的开关器件的电容大于每个堆叠器件的其余开关器件的电容。