弹性波装置、高频前端电路以及通信装置的制作方法

文档序号:18745497发布日期:2019-09-21 02:17阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种弹性波装置,具备:

压电体;

IDT电极,设置在所述压电体上;以及

第一电介质膜,设置在所述压电体上,覆盖所述IDT电极,

所述IDT电极具有:第一汇流条以及第二汇流条,彼此相互对置;多个第一电极指,一端与所述第一汇流条连接;以及多个第二电极指,一端与所述第二汇流条连接,且与所述多个第一电极指相互交替插入,

所述IDT电极具有交叉区域,在将弹性波传播方向设为第一方向并将与弹性波传播方向正交的方向设为第二方向时,所述交叉区域是所述第一电极指和所述第二电极指在所述第一方向上相互重叠的部分,

所述交叉区域具有:中央区域,位于所述第二方向上的所述第一电极指以及所述第二电极指的中央;第一边缘区域,在所述第二方向上,配置在所述中央区域的所述第一汇流条侧的外侧;以及第二边缘区域,在所述第二方向上,配置在所述中央区域的所述第二汇流条侧的外侧,

设置有:第一缝隙区域,在所述第二方向上配置在所述第一边缘区域的所述第一汇流条侧的外侧;以及第二缝隙区域,在所述第二方向上配置在所述第二边缘区域的所述第二汇流条侧的外侧,

作为弹性波而使用洛夫波,

在所述第一边缘区域以及所述第二边缘区域中,在所述第一电介质膜中设置有质量附加膜,

在所述第一电介质膜中,将位于所述IDT电极与所述质量附加膜之间的部分的膜厚设为T1,并将位于所述第一电介质膜的与所述压电体侧相反侧的面与所述质量附加膜之间的部分的膜厚设为T2,此时,T1/(T1+T2)<0.5。

2.根据权利要求1所述的弹性波装置,其中,

所述第一边缘区域以及所述第二边缘区域的声速与所述中央区域的声速相比为低速,所述第一缝隙区域以及所述第二缝隙区域的声速与所述第一边缘区域以及所述第二边缘区域的声速相比为高速。

3.根据权利要求1或2所述的弹性波装置,其中,

还具备:第二电介质膜,设置在所述第一电介质膜上,

在所述第一电介质膜中,0.24≤T1/(T1+T2)≤0.49。

4.根据权利要求3所述的弹性波装置,其中,

在所述第一电介质膜中,0.32≤T1/(T1+T2)≤0.44。

5.根据权利要求1~4中的任一项所述的弹性波装置,其中,

所述质量附加膜将Ti作为主成分。

6.根据权利要求1~5中的任一项所述的弹性波装置,其中,

所述第一电介质膜由氧化硅构成。

7.根据权利要求3或4所述的弹性波装置,其中,

所述第二电介质膜由氮化硅构成。

8.根据权利要求1~7中的任一项所述的弹性波装置,其中,

还具备:第二电介质膜,设置在所述第一电介质膜上,

在将由所述IDT电极的电极指间距规定的波长设为λ的情况下,所述第二电介质膜的厚度为0.005λ以上且0.015λ以下。

9.一种高频前端电路,具备:

权利要求1~8中的任一项所述的弹性波装置;以及

功率放大器。

10.一种通信装置,具备:

权利要求9所述的高频前端电路;以及

RF信号处理电路。

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