技术特征：
技术总结
一种MEMS谐振器配备有基底、在由第一轴线和第二轴线形成的水平平面中悬置在基底上方的移动结构，移动结构具有彼此平行并且沿着第二轴线延伸的第一臂和第二臂，第一臂和第二臂通过第一横向接合元件和第二横向接合元件在第一臂和第二臂的相应的端部处耦合以形成内部窗口。第一电极结构定位在窗口外部并且电容性耦合至移动结构。第二电极结构定位在窗口内部。第一电极结构和第二电极结构的一个电极结构引起挠曲臂以谐振频率沿着第一水平轴线在相反方向上的振荡运动，并且另一个电极结构具有检测振荡的功能。悬置结构在窗口中具有悬置臂。附接装置在窗口中居中地耦合至悬置元件并且接近第二电极结构。
技术研发人员：G·加特瑞;A·托齐奥;C·瓦尔扎希纳
受保护的技术使用者：意法半导体股份有限公司
技术研发日：2018.05.24
技术公布日：2018.12.04