电子部件供给装置、电子部件安装装置及电子部件供给方法与流程

本发明涉及电子部件供给装置、电子部件安装装置及电子部件供给方法。

背景技术：

电子部件安装装置将从电子部件供给装置供给的电子部件安装于基板。作为电子部件供给装置的供给方式，已知使用载料带的供给方式。载料带包含：对电子部件进行保持的基带、及以将电子部件覆盖的方式与基带接合的外封带。在向电子部件安装装置的安装头供给电子部件时，电子部件供给装置使用剥离机构从基带将外封带剥离(参照专利文献1及专利文献2)。

专利文献1：国际公开第2014/016980号

专利文献2：国际公开第2016/117091号

在使用剥离机构从基带将外封带剥离时，剥离机构和保持于基带的电子部件有可能接触。其结果，电子部件的品质有可能降低。

技术实现要素：

本发明的方式的目的在于，提供能够对电子部件的品质的降低进行抑制，从基带将外封带顺利地剥离的电子部件供给装置、电子部件安装装置及电子部件供给方法。

按照本发明的第1方式，提供一种电子部件供给装置，其具有：输送机构，其对载料带进行输送，该载料带包含对电子部件进行保持的基带以及以将所述电子部件覆盖的方式与所述基带接合的外封带；剥离部件，其能够进入至所述基带和所述外封带之间；以及驱动装置，其在所述剥离部件的前端部进入至所述基带和所述外封带之间后，使所述剥离部件移动，以使得所述外封带的至少一部分和所述基带分离。

按照本发明的第2方式，提供具有第1方式的电子部件供给装置的电子部件安装装置。

按照本发明的第3方式，提供一种电子部件供给方法，其包含下述步骤：输出使载料带输送的控制信号，该载料带包含对电子部件进行保持的基带以及以将所述电子部件覆盖的方式与所述基带接合的外封带；以及在剥离部件的前端部进入至被输送的所述载料带的所述基带和所述外封带之间后，输出使所述剥离部件移动的控制信号，以使得所述外封带的至少一部分和所述基带分离。

发明的效果

根据本发明的方式，提供能够对电子部件的品质的降低进行抑制，从基带将外封带顺利地剥离的电子部件供给装置、电子部件安装装置及电子部件供给方法。

附图说明

图1是示意地表示本实施方式所涉及的电子部件安装装置的一个例子的俯视图。

图2是示意地表示本实施方式所涉及的电子部件供给装置的一个例子的侧视图。

图3是示意地表示本实施方式所涉及的载料带的一个例子的俯视图。

图4是示意地表示本实施方式所涉及的载料带的一个例子的剖视图。

图5是示意地表示本实施方式所涉及的带式供给器的一个例子的侧视图。

图6是将本实施方式所涉及的带式供给器的一部分放大的图。

图7是示意地表示通过本实施方式所涉及的链轮进行移动的载料带的一个例子的侧视图。

图8是示意地表示本实施方式所涉及的链轮及检测装置的一个例子的侧视图。

图9是示意地表示本实施方式所涉及的光学传感器的一个例子的斜视图。

图10是示意地表示本实施方式所涉及的剥离机构的一个例子的斜视图。

图11是表示本实施方式所涉及的控制装置的一个例子的功能框图。

图12是表示本实施方式所涉及的电子部件供给方法的一个例子的流程图。

图13是示意地表示本实施方式所涉及的剥离机构的动作的一个例子的侧剖视图。

图14是示意地表示本实施方式所涉及的剥离机构的动作的一个例子的俯视图。

图15是示意地表示本实施方式所涉及的剥离机构的动作的一个例子的俯视图。

图16是示意地表示本实施方式所涉及的剥离机构的动作的一个例子的正视图。

标号的说明

1…电子部件安装装置，2…基座部件，3…基板输送装置，3b…输送带，3g…引导部件，3h…保持部件，4…吸嘴，5…安装头，6…安装头移动装置，6x…x轴驱动装置，6y…y轴驱动装置，7…吸嘴移动装置，10…带式供给器，11…载料带，11t…端面，12…基带，13…外封带，14…收容部，15…非收容部，15t…端部，15u…边界，16…链轮孔，17…粘接材料，18…粘接材料，20…主框架，21…入口，22…引导部件，30…输送机构，31…驱动电动机，31a…输出齿轮，32…动力传递机构，32a…第1齿轮，32b…第2齿轮，32c…第3齿轮，33…链轮，33a…齿轮，33b…圆板部，33p…链轮销，34…链轮，34a…齿轮，35…狭缝板，36…狭缝，37…驱动电动机，37a…输出齿轮，38…传递齿轮，39…链轮，40…剥离机构，41…剥离部件，41a…一端部，41b…另一端部，41t…前端部，42…驱动装置，43…引导部件，44…表面，44a…倾斜面，44b…平面，45…开口，46…开口，50…控制装置，50a…运算处理装置，50b…存储装置，50c…输入输出接口，51…位置数据取得部，52…速度数据取得部，53…尺寸数据取得部，54…距离数据取得部，55…控制部，56…尺寸数据存储部，57…距离数据存储部，60…检测装置，70…电动机驱动装置，80…光学传感器，81…射出部，82…受光部，83…支撑部件，100…电子部件供给装置，101…脚轮，102…台车，103…带盘保持架，104…带盘，105…供给器收容器，301…第1输送机构，302…第2输送机构，ax…旋转轴，c…电子部件，dm…安装位置，fm…基准位置，p…基板，sm…供给位置。

具体实施方式

下面，一边参照附图，一边对本发明所涉及的实施方式进行说明，但本发明并不限定于此。下面进行说明的实施方式的结构要素能够适当组合。另外，有时不使用一部分的结构要素。

在下面的说明中，对xyz正交坐标系进行设定，一边参照该xyz正交坐标系一边对各部的位置关系进行说明。将平行于规定面内的x轴的方向设为x轴方向，将平行于规定面内的与x轴正交的y轴的方向设为y轴方向，将平行于与x轴及y轴正交的z轴的方向设为z轴方向。另外，将以x轴为中心的旋转或倾斜方向设为θx方向，将以y轴为中心的旋转或倾斜方向设为θy方向，将以z轴为中心的旋转或倾斜方向设为θz方向。在本实施方式中，设为规定面平行于水平面，z轴方向是铅垂方向。此外，规定面也可以相对于水平面倾斜。

[电子部件安装装置]

图1是示意地表示本实施方式所涉及的电子部件安装装置1的一个例子的俯视图。电子部件安装装置1将电子部件c安装于基板p。电子部件安装装置1具有：基座部件2；基板输送装置3，其对基板p进行输送；电子部件供给装置100，其供给电子部件c；安装头5，其具有吸嘴4；安装头移动装置6，其使安装头5移动；以及吸嘴移动装置7，其使吸嘴4移动。

基座部件2对基板输送装置3、电子部件供给装置100、安装头5、安装头移动装置6及吸嘴移动装置7进行支撑。

基板输送装置3将基板p输送至安装位置dm。安装位置dm规定于基板输送装置3的输送路径。基板输送装置3具有：输送带3b，其对基板p进行输送；引导部件3g，其对基板p进行引导；以及保持部件3h，其对基板p进行保持。输送带3b通过致动器的工作而移动，将基板p在x轴方向输送。另外，通过未图示的升降机构，保持部件3h、基板p和输送带3b在上下方向移动。基板p在移动至x轴方向的安装位置dm后，通过升降机构而上升，被输送带3b和引导部件3g夹持。安装头5向配置于安装位置dm的基板p的表面安装电子部件c。

电子部件供给装置100将电子部件c供给至供给位置sm。电子部件供给装置100包含多个带式供给器10。带式供给器10对多个电子部件c进行保持。电子部件供给装置100将多个电子部件c中的至少1个电子部件c供给至供给位置sm。电子部件供给装置100配置于基板输送装置3的+y侧及－y侧这两侧。此外，电子部件供给装置100也可以配置于基板输送装置3的+y侧及－y侧中的一侧。

安装头5将从电子部件供给装置100供给的电子部件c通过吸嘴4保持而安装于基板p。安装头5具有多个吸嘴4。安装头5能够在从电子部件供给装置100供给电子部件c的供给位置sm和配置有基板p的安装位置dm之间进行移动。供给位置sm和安装位置dm在xy平面内规定于不同的位置。安装头5通过吸嘴4对供给至供给位置sm的电子部件c进行保持，在移动至安装位置dm后，向配置于安装位置dm的基板p对电子部件c进行安装。

安装头移动装置6能够将安装头5在x轴方向及y轴方向的各个方向进行移动。安装头移动装置6具有：x轴驱动装置6x，其将安装头5在x轴方向移动；以及y轴驱动装置6y，其将安装头5在y轴方向移动。x轴驱动装置6x及y轴驱动装置6y各自包含致动器。x轴驱动装置6x与安装头5连结。通过x轴驱动装置6x的工作，安装头5在x轴方向移动。y轴驱动装置6y经由x轴驱动装置6x而与安装头5连结。通过y轴驱动装置6y的工作，x轴驱动装置6x在y轴方向移动，由此安装头5在y轴方向移动。

吸嘴4将电子部件c能够装卸地保持。吸嘴4是对电子部件c进行吸附保持的吸引吸嘴。在吸嘴4的前端部设置开口。吸嘴4的开口与真空系统连接。在吸嘴4的前端部和电子部件c接触的状态下，实施来自设置于吸嘴4的前端部的开口的吸引动作，由此电子部件c吸附保持于吸嘴4的前端部。通过将来自开口的吸引动作解除，从而从吸嘴4将电子部件c放开。此外，吸嘴4也可以是将电子部件c夹着而保持的抓持吸嘴。

吸嘴移动装置7能够使吸嘴4在z轴方向及θz方向的各个方向移动。吸嘴移动装置7设置于多个吸嘴4的各个吸嘴。吸嘴移动装置7支撑于安装头5。吸嘴4经由吸嘴移动装置7而支撑于安装头5。

在本实施方式中，吸嘴4通过安装头移动装置6及吸嘴移动装置7，能够在x轴、y轴、z轴及θz这4个方向移动。由于吸嘴4移动，因此保持于吸嘴4的电子部件c也能够在x轴、y轴、z轴及θz这4个方向移动。此外，吸嘴4也可以是能够在x轴、y轴、z轴、θx、θy及θz这6个方向移动。

在电子部件安装装置1设定基准位置fm。安装头移动装置6及吸嘴移动装置7以基准位置fm为基准，对安装头5的位置进行调整。

[电子部件供给装置]

接下来，对电子部件供给装置100进行说明。图2是示意地表示本实施方式所涉及的电子部件供给装置100的一个例子的侧视图。在本实施方式中，电子部件供给装置100是电气驱动方式的电子部件供给装置。带式供给器10是电动式带式供给器。

电子部件供给装置100具有：台车102，其支撑于脚轮101；带盘保持架103，其支撑于台车102；带盘104，其支撑于带盘保持架103；供给器收容器105，其支撑于台车102；以及带式供给器10，其支撑于供给器收容器105。

台车102通过脚轮101能够在地面移动。带盘保持架103将带盘104能够旋转地保持。在带盘104卷绕有载料带11。多个电子部件c保持于载料带11。在本实施方式中，带盘104包含第1带盘104r和第2带盘104l。

供给器收容器105将多个带式供给器10能够装卸地保持。带式供给器10在供给器收容器105中在x轴方向配置多个。从带盘104向带式供给器10供给载料带11。带式供给器10将从带盘104供给的载料带11在y轴方向移动。通过带式供给器10而使载料带11进行移动，由此将保持于载料带11的多个电子部件c中的特定的电子部件c输送至供给位置sm。

在本实施方式中，带式供给器10是能够使从第1带盘104r及第2带盘104l各自供给的载料带11进行移动的双带式供给器。此外，带式供给器10也可以不是双带式供给器。

[载料带]

接下来，对载料带11进行说明。图3是示意地表示本实施方式所涉及的载料带11的一个例子的俯视图。图4是示意地表示本实施方式所涉及的载料带11的一个例子的剖视图。

如图3及图4所示，载料带11包含：基带12，其对电子部件c进行保持；以及外封带13，其以将保持于基带12的电子部件c覆盖的方式与基带12接合。

基带12对多个电子部件c进行保持。基带12由例如纸或合成树脂这样的柔软材料形成。基带12具有：收容部14，其对电子部件c进行收容；非收容部15，其与收容部14相邻；以及链轮孔16。

收容部14对电子部件c进行收容。收容部14包含有在基带12设置的凹部。在多个收容部14各自对电子部件c进行收容。在1个收容部14对1个电子部件c进行收容。此外，也可以在1个收容部14对多个电子部件c进行收容。

收容部14在基带12的长度方向即y轴方向隔着间隔而设置多个。在本实施方式中，多个收容部14在基带12的长度方向以等间隔设置。

非收容部15不收容电子部件c。非收容部15包含有在收容部14的开口的周围配置的基带12的上表面。

非收容部15在基带12的长度方向即y轴方向与收容部14相邻。非收容部15在基带12的长度方向配置于相邻的收容部14之间。非收容部15在基带12的长度方向隔着间隔而设置多个。在本实施方式中，多个非收容部15在基带12的长度方向以等间隔设置。

后面记述的链轮(33、34、39)的链轮销插入至链轮孔16。链轮孔16在基带12的长度方向即y轴方向隔着间隔而设置多个。在本实施方式中，多个链轮孔16在基带12的长度方向以等间隔设置。

收容部14和链轮孔16在基带12的宽度方向即x轴方向配置。在本实施方式中，链轮孔16与收容部14相比配置于+x侧。

外封带13将电子部件c覆盖。外封带13由例如合成树脂这样的柔软材料形成。外封带13以覆盖收容部14的开口，不覆盖链轮孔16的方式，与基带12的上表面接合。外封带13对电子部件c从收容部14脱落的情况进行抑制。

外封带13通过粘接材料17及粘接材料18而与基带12接合。粘接材料17及粘接材料18设置于基带12的上表面和外封带13的下表面之间。粘接材料17处于收容部14的－x侧，设置为在y轴方向延伸。粘接材料18处于收容部14的+x侧，设置为在y轴方向延伸。粘接材料18在x轴方向，设置于收容部14和链轮孔16之间。

在载料带11的宽度方向即x轴方向，外封带13的尺寸小于基带12的尺寸。粘接材料17沿外封带13的－x侧的端部而在y轴方向延伸。外封带13的下表面的－x侧的端部和基带12的上表面通过粘接材料17接合。粘接材料18沿外封带13的+x侧的端部而在y轴方向延伸。外封带13的下表面的+x侧的端部和基带12的上表面通过粘接材料18接合。

[带式供给器]

接下来，对带式供给器10进行说明。图5是示意地表示本实施方式所涉及的带式供给器10的一个例子的侧视图。图6是将本实施方式所涉及的带式供给器10的一部分放大的图。

带式供给器10使从带盘104供给的载料带11以收容部14的间隔断续地移动，从基带12将外封带13的至少一部分剥离，将保持于外封带13被剥离的基带12的电子部件c输送至供给位置sm。

如图5及图6所示，带式供给器10具有：主框架20；输送机构30，其支撑于主框架20，对载料带11进行输送；剥离机构40，其支撑于主框架20，从载料带11的基带12将外封带13的至少一部分剥离；以及控制装置50，其对输送机构30及剥离机构40进行控制。

主框架20具有：从带盘104供给的载料带11的入口21；以及引导部件22，其对由输送机构30输送的载料带11进行引导。供给至入口21的载料带11一边被引导部件22引导，一边输送至剥离机构40。在图5所示的例子中，入口21设置于主框架20的－y侧的端部。剥离机构40与入口21相比配置于+y侧。另外，剥离机构40与入口21相比配置于+z侧。

输送机构30对载料带11进行输送。输送机构30将供给至入口21的载料带11输送至剥离机构40。另外，输送机构30将在剥离机构40中外封带13的至少一部分被剥离后的基带12输送至供给位置sm。

输送机构30在载料带11的长度方向对载料带11进行输送。输送机构30的输送方向和载料带11的长度方向一致。输送机构30的输送方向是y轴方向。

载料带11通过输送机构30向+y方向输送。在下面的说明中，将载料带11被输送的+y方向适当地称为输送方向下游侧，将与输送方向下游侧相反的方向适当地称为输送方向上游侧。

输送机构30包含：第1输送机构301，其经由入口21而被供给载料带11；以及第2输送机构302，其与第1输送机构301相比配置于输送方向下游侧。第1输送机构301将从入口21供给的载料带11输送至第2输送机构302。第2输送机构302对从第1输送机构301输送的载料带11进行输送。

如图5所示，第1输送机构301具有：驱动电动机37，其支撑于主框架20；传递齿轮38，其与在驱动电动机37的输出轴固定的输出齿轮37a连结；以及链轮39，其与传递齿轮38连结。

驱动电动机37产生用于对载料带11进行输送的动力。驱动电动机37基于从电动机驱动装置70供给的电流而工作。电动机驱动装置70包含驱动电路，被控制装置50控制。在本实施方式中，驱动电动机37是步进电动机。

传递齿轮38将由驱动电动机37产生的动力传递至链轮39。链轮39在支撑有载料带11的状态下，进行旋转以将载料带11向+y方向输送。链轮39支撑于主框架20，以平行于x轴的旋转轴为中心旋转。链轮39基于经由传递齿轮38传递的驱动电动机37的动力而旋转。

链轮39具有插入至载料带11的链轮孔16的链轮销。通过向链轮孔16插入链轮39的链轮销，从而载料带11支撑于链轮39。在链轮销插入至链轮孔16的状态下，通过链轮39进行旋转，从而将保持电子部件c的载料带11向+y方向输送。

如图5及图6所示，第2输送机构302具有：驱动电动机31，其支撑于主框架20；动力传递机构32，其与固定于驱动电动机31的输出轴的输出齿轮31a连结；以及链轮33及链轮34，其与动力传递机构32连结。

驱动电动机31产生用于对载料带11进行输送的动力。驱动电动机31基于从电动机驱动装置70供给的电流而工作。在本实施方式中，驱动电动机31是步进电动机。

动力传递机构32将由驱动电动机31产生的动力分别传递至链轮33及链轮34。动力传递机构32包含：第1齿轮32a，其与输出齿轮31a连结；第2齿轮32b，其以第1齿轮32a的旋转轴为中心能够与第1齿轮32a一起旋转；以及第3齿轮32c，其与第2齿轮32b连结。

链轮33及链轮34各自在支撑有载料带11的状态下，进行旋转以将载料带11向+y方向输送。链轮33及链轮34各自支撑于主框架20，以平行于x轴的旋转轴为中心旋转。

链轮33及链轮34各自与动力传递机构32连结。链轮33及链轮34各自基于经由动力传递机构32传递的驱动电动机31的动力而旋转。链轮33具有与动力传递机构32的第3齿轮32c连结的齿轮33a。链轮34具有与动力传递机构32的第3齿轮32c连结的齿轮34a。驱动电动机31工作，第3齿轮32c旋转，由此链轮33和链轮34同步地旋转。

链轮33及链轮34各自具有插入至载料带11的链轮孔16的链轮销。通过向链轮孔16插入链轮33的链轮销，从而载料带11支撑于链轮33。通过向链轮孔16插入链轮34的链轮销，从而载料带11支撑于链轮34。在链轮销插入至链轮孔16的状态下，链轮33及链轮34各自旋转，由此将保持电子部件c的载料带11向+y方向输送。

图7是示意地表示通过本实施方式所涉及的链轮33进行移动的载料带11的一个例子的侧视图。如图7所示，链轮33具有：圆板部33b；以及链轮销33p，其设置于圆板部33b的外缘部。

链轮销33p在链轮33的旋转方向隔着间隔而设置多个。链轮销33p各自配置于载料带11的链轮孔16。如图7所示，在链轮33设置的多个链轮销33p中的至少一部分的链轮销33p配置于载料带11的链轮孔16。在链轮孔16配置有链轮销33p的状态下，链轮33以旋转轴为中心进行旋转，由此载料带11在y轴方向移动。

链轮34及链轮39是与链轮33同等的构造。省略关于链轮34及链轮39的省略。

链轮33及链轮34各自通过步进电动机即驱动电动机31的步进动作而断续地旋转。驱动电动机31进行步进动作，以使得将在收容部14配置的电子部件c依次配置于供给位置sm。同样地，链轮39通过步进电动机即驱动电动机37的步进动作，与链轮33及链轮34同步而断续地旋转。

如图5及图6所示，链轮33与链轮34相比配置于输送方向下游侧。链轮33的外形及尺寸和链轮34的外形及尺寸相等。链轮33和链轮34在y轴方向配置。供给位置sm规定于链轮33和链轮34之间。z轴方向上的链轮33的旋转轴的位置和链轮34的旋转轴的位置相等。在链轮33和链轮34之间，基带12以基带12的上表面平行于xy平面的方式支撑于链轮33及链轮34。

带式供给器10具有对链轮33的旋转方向的位置及速度进行检测的检测装置60。具有多个狭缝的狭缝板35固定于链轮33。狭缝板35与链轮33一起旋转。检测装置60对在链轮33固定的狭缝板35的狭缝进行检测，对链轮33的旋转方向的位置及速度进行检测。

图8是示意地表示本实施方式所涉及的链轮33及检测装置60的一个例子的侧视图。狭缝板35固定于链轮33。狭缝板35是圆板状的部件。狭缝板35与链轮33一起旋转。链轮33的旋转轴ax和狭缝板35的中心一致。狭缝板35能够以旋转轴ax为中心进行旋转。

狭缝板35具有在旋转方向设置的多个狭缝36。具有不同的狭缝宽度的多个狭缝36设置于狭缝板35。狭缝宽度是指旋转方向上的狭缝36的尺寸。在本实施方式中，在将狭缝36的总数设为n的情况下，设置比总数n少的数量的m种类的狭缝宽度的狭缝36。不同的狭缝宽度的狭缝36在旋转方向随机地设置。

检测装置60对链轮33的旋转方向的位置进行检测。检测装置60包含光传感器，对固定于链轮33的狭缝板35的狭缝36光学地检测，对链轮33的旋转方向的位置进行检测。检测装置60具有：射出部，其射出检测光而将检测光照射至狭缝板35；以及受光部，其对经由狭缝板35从射出部射出的检测光的至少一部分进行受光。

通过链轮33及狭缝板35旋转，从而检测装置60对多个狭缝36依次进行检测。检测装置60根据多个(例如3个或4个)狭缝36的狭缝宽度的组合，对狭缝板35的旋转方向的位置进行检测。通过对狭缝板35的旋转方向的位置进行检测，从而对链轮33的旋转方向的位置进行检测。

另外，检测装置60对链轮33的旋转方向的位置的每单位时间的变化量进行检测，由此能够对链轮33的旋转方向的速度进行检测。表示链轮33的旋转方向的位置及速度的检测装置60的检测数据输出至控制装置50。

载料带11通过链轮33的旋转而向输送方向输送。链轮33的旋转方向的速度和载料带11的输送方向的速度实质上相等。控制装置50基于由检测装置60检测出的链轮33的旋转方向的速度，能够对载料带11的输送方向的速度进行检测。

此外，检测装置60可以对链轮34的旋转方向的位置及速度进行检测，也可以对链轮33及链轮34两者的旋转方向的位置及速度进行检测。

另外，如图5所示，检测装置60还设置于第1输送机构301的链轮39。设置于链轮39的检测装置60对链轮39的旋转方向的位置及速度进行检测。控制装置50基于由检测装置60检测出的链轮39的旋转方向的速度，能够对载料带11的输送方向的速度进行检测。

另外，如图5及图6所示，带式供给器10具有对输送机构30的输送方向上的载料带11的位置进行检测的光学传感器80。光学传感器80能够对输送机构30的输送方向上的载料带11的端面11t进行检测。

图9是示意地表示本实施方式所涉及的光学传感器80的一个例子的斜视图。如图6及图9所示，光学传感器80具有：射出部81，其射出检测光；以及受光部82，其配置于能够对从射出部81射出的检测光的至少一部分进行受光的位置。射出部81与由输送机构30输送的载料带11相比配置于－z侧。受光部82与由输送机构30输送的载料带11相比配置于+z侧。射出部81及受光部82各自支撑于主框架20。如图6所示，在本实施方式中，受光部82经由支撑部件83而支撑于主框架20。射出部81和受光部82的相对位置是固定的。另外，射出部81及受光部82和主框架20的相对位置是固定的。此外，也可以是射出部81与载料带11相比配置于+z侧，受光部82与载料带11相比配置于－z侧。

载料带11具有端面11t。卷绕于带盘104的载料带11的长度有限。如图9所示，在非收容部15中设置载料带11，形成端面11t。端面11t设置于载料带11的输送方向下游侧。载料带11的端面11t包含输送方向上的非收容部15的端部15t。另外，载料带11的端面11t包含与基带12的非收容部15的端部15t配置于同一平面内的外封带13的端部。

光学传感器80对由输送机构30输送的载料带11的端面11t的位置进行检测。输送机构30以载料带11的端面11t经过射出部81和受光部82之间的检测光的光路的方式对载料带11进行输送。通过输送机构30，载料带11的端面11t与光学传感器80的检测光的光路相比从输送方向上游侧向输送方向下游侧移动。在从射出部81射出检测光的状态下，载料带11的端面11t经过检测光的光路前的受光部82的检测光的受光状态和载料带11的端面11t经过检测光的光路后的受光部82的检测光的受光状态是不同的。在载料带11的端面11t经过检测光的光路前，在射出部81和受光部82之间不存在载料带11。受光部82以第1受光量对从射出部81射出的检测光进行受光。在载料带11的端面11t经过检测光的光路后，在射出部81和受光部82之间存在载料带11。从射出部81射出的检测光的至少一部分被载料带11遮挡，受光部82以比第1受光量小的第2受光量对从射出部81射出的检测光进行受光。光学传感器80的检测数据输出至控制装置50。

控制装置50基于光学传感器80的受光部82的检测光的受光状态，能够对载料带11的端面11t经过检测光的光路的时刻进行检测。另外，控制装置50基于光学传感器80的受光部82的检测光的受光状态，能够对输送机构30的输送方向上的载料带11的端面11t的位置进行检测。控制装置50将由光学传感器80的受光部82受光的检测光的受光量从第1受光量变化为第2受光量的时刻，判定为是载料带11的端面11t经过检测光的光路的时刻。另外，控制装置50在由光学传感器80的受光部82受光的检测光的受光量从第1受光量变化为第2受光量时，判定为载料带11的端面11t位于检测光的光路。

向输送机构30输送的载料带11的速度由检测装置60检测。控制装置50基于由光学传感器80检测出的载料带11的端面11t的位置和由检测装置60检测出的载料带11的速度，能够对载料带11的端面11t经过检测光的光路后的载料带11的端面11t的输送方向上的位置进行计算。

在图9中，输送方向上的非收容部15的尺寸d是已知数据。尺寸d是指对载料带11的端面11t进行规定的非收容部15的端部15t和与该非收容部15相邻的收容部14的边界15u之间的输送方向上的距离。端部15t对输送方向下游侧的非收容部15的端部进行规定，边界15u对输送方向上游侧的非收容部15的端部进行规定。尺寸d能够使用测量夹具或测量装置进行测量。

控制装置50基于由光学传感器80检测出的载料带11的端面11t的位置、由检测装置60检测出的载料带11的速度和作为已知数据的非收容部15的尺寸d，能够对边界15u经过光学传感器80的检测光的光路的时刻进行计算。控制装置50基于载料带11的端面11t的位置、载料带11的速度和非收容部15的尺寸d，能够对非收容部15的边界15u经过检测光的光路后的非收容部15的边界15u的输送方向上的位置进行计算。

接下来，对剥离机构40进行说明。图10是示意地表示本实施方式所涉及的剥离机构40的一个例子的斜视图。如图10所示，剥离机构40具有：剥离部件41，其能够进入至基带12和外封带13之间；驱动装置42，其将剥离部件41在z轴方向移动；以及引导部件43，其对载料带11进行引导。

引导部件43支撑于主框架20。载料带11被引导部件43的表面44引导。表面44包含：倾斜面44a，其朝向+y方向而向+z方向倾斜；以及平面44b，其与输送方向下游侧的倾斜面44a的端部连接，平行于xy平面。

在倾斜面44a的一部分形成开口45。光学传感器80对在开口45上经过的载料带11的端面11t进行检测。射出部81与开口45相比配置于－z侧。受光部82与开口45相比配置于+z侧。受光部82经由支撑部件83而支撑于主框架20。此外，受光部82也可以经由支撑部件83而支撑于引导部件43。从射出部81射出的检测光经过开口45。受光部82配置于能够对从射出部81射出、经过开口45的检测光进行受光的位置。

剥离部件41与光学传感器80相比配置于输送方向下游侧。另外，如图5及图6等所示，剥离部件41在输送方向，配置于链轮33和链轮34之间。供给位置sm与剥离部件41相比规定于输送方向下游侧。

剥离部件41具有朝向输送方向上游侧的前端部41t。前端部41t包含剥离部件41的刃尖。剥离部件41的前端部41t尖锐。x轴方向上的剥离部件41的尺寸朝向输送方向下游侧逐渐地变大。另外，z轴方向上的剥离部件41的尺寸朝向输送方向下游侧逐渐地变大。x轴方向上的剥离部件41的尺寸表示剥离部件41的宽度。z轴方向上的剥离部件41的尺寸表示剥离部件41的厚度。剥离部件41的前端部41t能够进入至基带12和外封带13之间。

剥离部件41在z轴方向能够位移。剥离部件41在y轴方向不位移。对z轴方向上的剥离部件41的位置进行调整，通过输送机构30使载料带11向+y方向移动，由此剥离部件41的前端部41t能够从载料带11的端面11t进入至基带12和外封带13之间。此外，剥离部件41也可以在y轴方向位移。

驱动装置42在剥离部件41的前端部41t进入至基带12和外封带13之间后，使剥离部件41移动，以使得外封带13的至少一部分和基带12分离。驱动装置42例如包含诸如螺线管的致动器。此外，驱动装置42作为致动器也可以包含压电元件。

驱动装置42在剥离部件41的前端部41t进入至基带12和外封带13之间后，在交叉于平面44b及与平面44b相对的基带12的下表面的z轴方向使剥离部件41移动，以使得外封带13的至少一部分从基带12分离。驱动装置42在外封带13的下表面和剥离部件41接触的状态下，在z轴方向使剥离部件41移动。

在平面44b的一部分形成开口46。剥离部件41及驱动装置42的至少一部分配置于开口46。另外，在图10中省略了图示，但链轮33的链轮销的一部分及链轮34的链轮销的一部分配置于开口46。链轮33与剥离部件41相比配置于输送方向下游侧。链轮34与剥离部件41相比配置于输送方向上游侧。供给位置sm在链轮33和链轮34之间，与剥离部件41相比规定于输送方向下游侧。

[控制装置]

接下来，对控制装置50进行说明。图11是表示本实施方式所涉及的控制装置50的一个例子的功能框图。控制装置50具有：运算处理装置50a，其包含诸如cpu(centralprocessingunit)这样的微处理器；存储装置50b，其包含诸如rom(readonlymemory)或闪存存储器这样的非易失性存储器及诸如ram(randomaccessmemory)这样的易失性存储器；以及输入输出接口50c。

光学传感器80、检测装置60、输送机构30的电动机驱动装置70及剥离机构40的驱动装置42各自与控制装置50的输入输出接口50c连接。光学传感器80的检测数据及检测装置60的检测数据输出至控制装置50。控制装置50将用于使载料带11输送的控制信号输出至电动机驱动装置70。另外，控制装置50将用于使剥离部件41移动的控制信号输出至驱动装置42。

运算处理装置50a具有：位置数据取得部51、速度数据取得部52、尺寸数据取得部53、距离数据取得部54和控制部55。存储装置50b具有：尺寸数据存储部56和距离数据存储部57。

位置数据取得部51取得对输送方向上的载料带11的端面11t的位置进行表示的位置数据。输送方向上的载料带11的端面11t的位置由光学传感器80检测。位置数据取得部51经由输入输出接口50c，从光学传感器80取得载料带11的端面11t的位置数据。

速度数据取得部52取得对向输送机构30输送的载料带11的速度(输送速度)进行表示的速度数据。向输送机构30输送的载料带11的速度由检测装置60检测。速度数据取得部52经由输入输出接口50c，从检测装置60取得载料带11的速度数据。

尺寸数据取得部53取得对输送方向上的非收容部15的尺寸d进行表示的尺寸数据。如参照图9说明所述，尺寸d是指对载料带11的端面11t进行规定的非收容部15的端部15t和与该非收容部15相邻的收容部14的边界15u之间的输送方向上的距离。尺寸d使用测量夹具或测量装置而预先测量，存储于存储装置50b的尺寸数据存储部56。尺寸数据取得部53从尺寸数据存储部56取得非收容部15的尺寸数据。

距离数据取得部54取得对输送方向上的光学传感器80的检测光的光路和剥离部件41的前端部41t之间的距离l进行表示的距离数据。剥离部件41与光学传感器80相比配置于输送方向下游侧。距离l是能够将电子部件供给装置100的设计数据或要素数据导出的已知数据，存储于距离数据存储部57。距离数据取得部54从距离数据存储部57取得光学传感器80的检测光的光路和剥离部件41的前端部41t之间的距离数据。

控制部55基于由位置数据取得部51取得的载料带11的端面11t的位置数据、由速度数据取得部52取得的载料带11的速度数据、由尺寸数据取得部53取得的非收容部15的尺寸数据，对使剥离部件41移动的驱动装置42进行控制。控制部55基于位置数据、速度数据和尺寸数据而生成对驱动装置42进行控制的控制信号，经由输入输出接口50c而输出至驱动装置42。另外，控制部55生成对输送载料带11的驱动电动机31及驱动电动机37进行控制的控制信号，经由输入输出接口50c而输出至电动机驱动装置70。

本实施方式中，控制部55基于由位置数据取得部51取得的载料带11的端面11t的位置数据、由速度数据取得部52取得的载料带11的速度数据、由尺寸数据取得部53取得的非收容部15的尺寸数据、由距离数据取得部54取得的光学传感器80的检测光的光路和剥离部件41的前端部41t之间的距离数据，对驱动装置42进行控制。

[电子部件供给方法]

接下来，对本实施方式所涉及的电子部件c的供给方法进行说明。图12是表示本实施方式所涉及的电子部件c的供给方法的一个例子的流程图。图13是示意地表示本实施方式所涉及的剥离机构40的动作的一个例子的侧剖视图。图14及图15各自是示意地表示本实施方式所涉及的剥离机构40的动作的一个例子的俯视图。

卷绕有载料带11的带盘104装载于带盘保持架103。载料带11的固有数据存储于存储装置50b。作为载料带11的固有数据，至少表示非收容部15的尺寸d的尺寸数据存储于存储装置50b的尺寸数据存储部56。尺寸数据取得部53从尺寸数据存储部56取得非收容部15的尺寸数据(步骤s10)。

另外，对输送方向上的光学传感器80的检测光的光路和剥离部件41的前端部41t之间的距离l进行表示的距离数据存储于距离数据存储部57。距离数据取得部54从距离数据存储部57取得距离数据(步骤s20)。

载料带11的端面11t经由入口21供给至带式供给器10。控制部55将使载料带11输送的控制信号输出至电动机驱动装置70，以使得将经由入口21供给至带式供给器10的载料带11输送至剥离机构40(步骤s30)。

电动机驱动装置70基于控制信号，对驱动电动机37进行驱动。通过驱动电动机37的工作，链轮39进行旋转，将载料带11的端面11t输送至光学传感器80输送。

另外，电动机驱动装置70基于控制信号，对驱动电动机31进行驱动。通过驱动电动机31的工作，链轮33及链轮34各自进行旋转。

检测装置60对链轮39的旋转速度及链轮33的旋转速度进行检测。链轮39的旋转速度及链轮33的旋转速度示出由输送机构30输送的载料带11的速度。速度数据取得部52从检测装置60取得载料带11的速度数据(步骤s40)。

通过链轮39的旋转，从入口21供给至带式供给器10的载料带11的端面11t输送至光学传感器80。光学传感器80对载料带11的端面11t的位置进行检测。

图13(a)示意地表示输送至输送机构30的载料带11的端面11t配置于光学传感器80的检测光的光路时的状态。输送机构30对载料带11进行输送，以使得载料带11的端面11t经过射出部81和受光部82之间的检测光的光路。载料带11的端面11t与光学传感器80的检测光的光路相比从输送方向上游侧向输送方向下游侧移动。光学传感器80对由输送机构30输送的载料带11的端面11t的位置进行检测。在从射出部81射出检测光的状态下，载料带11的端面11t经过检测光的光路前的受光部82的检测光的受光状态和载料带11的端面11t经过检测光的光路后的受光部82的检测光的受光状态不同。光学传感器80的检测数据输出至控制装置50。

位置数据取得部51基于光学传感器80的受光部82的检测光的受光状态，取得载料带11的端面11t经过光学传感器80的检测光的光路的时刻。另外，位置数据取得部51基于光学传感器80的受光部82的检测光的受光状态，取得对输送机构30的输送方向上的载料带11的端面11t的位置进行表示的位置数据(步骤s50)。

控制部55基于由位置数据取得部51取得的载料带11的端面11t的位置数据和由速度数据取得部52取得的载料带11的速度数据，对载料带11的端面11t经过光学传感器80的检测光的光路后的载料带11的端面11t的输送方向上的位置进行计算。

另外，控制部55基于由位置数据取得部51取得的载料带11的端面11t的位置数据、由速度数据取得部52取得的载料带11的速度数据、由距离数据取得部54取得的光学传感器80的检测光的光路和剥离部件41的前端部41t之间的距离数据，在载料带11的端面11t经过光学传感器80的检测光的光路后，到达剥离部件41的前端部41t的时刻进行计算。

图13(b)示意地表示输送至输送机构30的载料带11的端面11t到达剥离部件41的前端部41t时的状态。对z轴方向上的剥离部件41的位置进行调整，以使得剥离部件41的前端部41t进入至由输送机构30输送的载料带11的基带12和外封带13之间。剥离部件41与载料带11的端面11t相比配置于输送方向下游侧。剥离部件41的前端部41t朝向输送方向上游侧。因此，通过由输送机构30向输送方向下游侧输送载料带11，从而剥离部件41的前端部41t能够进入至基带12和外封带13之间。

在下面的说明中，将剥离部件41的前端部41t进入至基带12和外封带13之间前的z轴方向上的剥离部件41的位置适当地称为初始位置。

控制部55在剥离部件41的前端部41t进入至由输送机构30输送的载料带11的基带12和外封带13之间后，将使剥离部件41移动的控制信号输出至驱动装置42，以使得外封带13的至少一部分从基带12分离(步骤s60)。

图13(c)示意地表示进入至基带12和外封带13之间的剥离部件41开始移动时的状态。如图13(c)所示，驱动装置42在外封带13和剥离部件41接触的状态下，使剥离部件41向+z方向移动，以使得外封带13的至少一部分从基带12分离。

如上所述，控制部55基于由位置数据取得部51取得的载料带11的端面11t的位置数据、由速度数据取得部52取得的载料带11的速度数据、由距离数据取得部54取得的距离数据，能够对载料带11的端面11t到达剥离部件41的前端部41t的时刻进行计算。因此，控制部55能够在剥离部件41的前端部41t进入至基带12和外封带13之间后，将使剥离部件41开始向+z方向的移动的控制信号输出至驱动装置42。

在本实施方式中，驱动装置42在剥离部件41的前端部41t进入至非收容部15的端部15t后，到达收容部14前，开始剥离部件41的移动。

控制部55基于由位置数据取得部51取得的载料带11的端面11t的位置数据、由速度数据取得部52取得的载料带11的速度数据、由尺寸数据取得部53取得的非收容部15的尺寸数据，对载料带11的端面11t经过光学传感器80的检测光的光路后的非收容部15和收容部14的边界15u的输送方向上的位置进行计算。

另外，控制部55基于由位置数据取得部51取得的载料带11的端面11t的位置数据、由速度数据取得部52取得的载料带11的速度数据、由尺寸数据取得部53取得的非收容部15的尺寸数据、由距离数据取得部54取得的距离数据，在载料带11的端面11t经过光学传感器80的检测光的光路后，对非收容部15和收容部14的边界15u到达剥离部件41的前端部41t的时刻进行计算。由此，控制部55能够在剥离部件41的前端部41t进入至基带12和外封带13之间后，剥离部件41的前端部41t到达收容部14(边界15u)前，将使剥离部件41开始向+z方向的移动的控制信号输出至驱动装置42。

在本实施方式中，驱动装置42使剥离部件41从初始位置起向+z方向以规定量移动。规定量例如规定为大于或等于1[mm]而小于或等于3[mm]。在下面的说明中，将从初始位置起以规定量向+z方向移动时的z轴方向上的剥离部件41的位置适当地称为规定位置。

驱动装置42在将剥离部件41从初始位置移动至规定位置后，将剥离部件41停止于规定位置。即，驱动装置42在将剥离部件41从初始位置起向+z方向以规定量移动后，将该剥离部件41的z轴方向的位置维持在规定位置。驱动装置42在将剥离部件41从初始位置起向+z方向移动后，将剥离部件41维持在规定位置，以使得在通过输送机构30实现的载料带11的输送中，剥离部件41持续支撑外封带13的至少一部分。

如图14所示，在x轴方向，剥离部件41与粘接材料17和粘接材料18的中心相比配置于－x侧。如图14所示，从载料带11的端面11t与剥离部件41的前端部41t相比配置于输送方向上游侧的状态起，载料带11向输送方向下游侧移动，在剥离部件41的前端部41t进入至基带12和外封带13之间后，剥离部件41向+z方向以规定量移动。由此，如图15所示，外封带13从基带12被局部地剥离。在本实施方式中，在通过粘接材料18实现的基带12和外封带13的接合被维持的状态下，通过粘接材料17实现的基带12和外封带13的接合被解除。

驱动装置42在将剥离部件41从初始位置起向+z方向移动后，将剥离部件41配置于规定位置，以使得在输送机构30正在输送载料带11的期间，通过粘接材料18实现的基带12和外封带13的接合被维持，通过粘接材料17实现的基带12和外封带13的接合被解除。由于在z轴方向剥离部件41持续配置于规定位置，因此剥离部件41在通过输送机构30实现的载料带11的输送中，能够持续支撑外封带13的下表面的至少一部分。剥离部件41能够从基带12将外封带13局部地剥离，以使得通过粘接材料18实现的基带12和外封带13的接合被维持，通过粘接材料17实现的基带12和外封带13的接合被解除。

如图15所示，在与剥离部件41相比规定于输送方向下游侧的供给位置sm，外封带13被卷起，从收容部14的开口避开。由此，安装头5在供给位置sm，能够将收容于收容部14的电子部件c通过吸嘴4顺利地保持。

[效果]

如以上说明所述，根据本实施方式，在剥离部件41的前端部41t进入至基带12和外封带13之间后，使剥离部件41移动以使得外封带13的至少一部分和基带12分离，由此从基带12将外封带13的至少一部分剥离。由此，在使用剥离机构40从基带12将外封带13剥离时，对剥离部件41和保持于基带12的电子部件c的接触进行抑制。因此，对由剥离部件41和电子部件c的接触引起的电子部件c的品质的降低进行抑制，从基带12将外封带13顺利地剥离。

另外，在本实施方式中，在剥离部件41的前端部41t进入至基带12和外封带13之间后，在z轴方向上的载料带11的位置被维持的状态下，剥离部件41在z轴方向移动。如上所述，载料带11由柔软材料形成而容易挠曲。因此，如果将载料带11在z轴方向移动，则进入至基带12和外封带13之间的剥离部件41的前端部41t有可能从基带12和外封带13之间脱离，或有可能基带12和外封带13的剥离不能顺利地进行。根据本实施方式，剥离部件41相对于在y轴方向输送的载料带11而在z轴方向移动，由此基带12和外封带13被顺利地剥离。

另外，根据本实施方式，驱动装置42在外封带13的下表面和剥离部件41接触的状态下，剥离部件41向与基带12的下表面交叉的+z方向移动。即，在剥离部件41的前端部41t进入至基带12和外封带13之间后，在支撑有外封带13的状态下向+z方向移动，以使得剥离部件41从保持电子部件c的基带12分离。剥离部件41不使保持电子部件c的基带12向－z方向移动，而是使外封带13向+z方向移动，由此将基带12和外封带13的至少一部分剥离，因此充分地抑制剥离机构41和保持于基带12的电子部件c的接触。因此，对由剥离部件41和电子部件c的接触引起的电子部件c的品质的降低进行抑制，从基带12将外封带13顺利地剥离。

另外，在本实施方式中，剥离部件41的前端部41t进入至基带12和外封带13之间，在剥离部件41从初始位置起向+z方向以规定量移动后，z轴方向上的剥离部件41的位置被维持在规定位置。由此，在剥离部件41从初始位置起向+z方向以规定量移动后，在通过输送机构30实现的载料带11的输送中，剥离部件41能够持续支撑外封带13的下表面的至少一部分。因此，例如如参照图15说明的那样，能够从基带12将外封带13局部地剥离，以使得通过粘接材料18实现的基带12和外封带13的接合被维持，通过粘接材料17实现的基带12和外封带13的接合被解除。另外，通过对z轴方向上的剥离部件41的位置进行调整，从而能够将外封带13从基座部件12整体地剥离，以使得例如通过粘接材料17实现的基带12和外封带13的接合及通过粘接材料18实现的基带12和外封带13的接合的两者被解除。如上所述，通过对z轴方向上的剥离部件41的规定位置进行调整，从而对基带12和外封带13的剥离状态进行调整。

另外，在本实施方式中，在剥离部件41的前端部41t进入至非收容部15的端部15t后，到达收容部14和非收容部15的边界15u前，开始剥离部件41的移动。由此，对收容于收容部14的电子部件c和剥离部件41的接触充分地进行抑制。

此外，在上述的实施方式中，设为光学传感器80与剥离部件41相比配置于输送方向上游侧，基于光学传感器80的检测光的光路和剥离部件41的前端部41t之间的距离l，对载料带11的端面11t到达剥离部件41的前端部41t的时刻进行计算，对开始剥离部件41的移动的定时进行调整。在输送方向，光学传感器80的检测光的光路的位置和剥离部件41的前端部41t的位置可以实质上相等。即，距离l可以实质上为零。在该情况下，不考虑距离l，就能够决定开始剥离部件41的移动的定时。

此外，在上述的实施方式中，剥离部件41可以在x轴方向倾斜地移动。图16是示意地表示本实施方式所涉及的剥离机构40的动作的一个例子的正视图。在图16中，在剥离部件41的前端部41t进入至基带12和外封带13之间后，驱动装置42可以将x轴方向上的剥离部件41的一端部41a从初始位置起向+z方向以第1距离h1移动，将剥离部件41的另一端部41b从初始位置起向+z方向以不同于第1距离h1的第2距离h2移动，以使得载料带11的宽度方向即x轴方向上的外封带13的一端部和基带12分离，外封带13的另一端部和基带12不分离。另外，可以是在剥离部件41的一端部41a从初始位置起向+z方向以第1距离h1移动，剥离部件41的另一端部41b从初始位置起向+z方向以第2距离h2移动后，该剥离部件41的位置被维持。在x轴方向上的外封带13的一端部(－x侧的端部)通过粘接材料17而与基带12接合，x轴方向上的外封带13的另一端部(+x侧的端部)通过粘接材料18而与基带12接合的状态下，将x轴方向上的剥离部件41的一端部41a(－x侧的端部)从初始位置起向+z方向以第1距离h1移动，将剥离部件41的另一端部41b(+x侧的端部)从初始位置起向+z方向以比第1距离h1短的第2距离h2移动，由此在通过粘接材料18实现的外封带13的另一端部和基带12的接合被维持的状态下，能够将通过粘接材料17实现的外封带13的一端部和基带12的接合解除。

此外，在上述的实施方式中，也可以在剥离部件41的前端部41t进入至基带12和外封带13之间后，在基带12和剥离部件41接触的状态下，将剥离部件41向－z方向移动，以使得外封带13的至少一部分和基带12分离。在该情况下，也能够将外封带13的至少一部分和基带12剥离。