X射线分析装置以及X射线检测器的更换时期判定方法与流程

本发明涉及一种具备朝试样照射x射线的x射线光源、检测照射到试样之后的x射线的x射线检测器、以及对所述x射线检测器施加电压的电压施加部的x射线分析装置以及x射线检测器的更换时期判定方法。

背景技术：

波长色散型荧光x射线装置等x射线分析装置中配备有朝试样照射x射线的x射线光源以及检测照射到试样之后的x射线的x射线检测器。作为x射线光源，例如使用x射线管。此外，作为x射线检测器，例如使用比例计数管或闪烁计数器。

x射线管具备丝极及靶材，对丝极与靶材之间施加高压。由此，从丝极朝靶材放出热电子，通过该热电子撞击至靶材而产生x射线。丝极、靶材是有寿命的，因此，若x射线管达到更换时期，则要更换为新的x射线管(例如参考下述专利文献1)。

同样地，比例计数管、闪烁计数器等x射线检测器也会随着使用而劣化，因此要定期更换。例如比例计数管是在所封入的氩气中设置有由钨丝构成的芯线的构成，随着氩气的劣化、芯线的脏污等，需要进行更换。此外，闪烁计数器具备闪烁器及光电倍增管，随着这些零件的劣化，需要进行更换。

以往，x射线光源、x射线检测器的更换时期是以它们的使用时间为基准。即，采用如下构成：对使用时间进行累计、记录，若该使用时间超过一定时间，则判定为更换时期。

【现有技术文献】

【专利文献】

【专利文献1】日本专利特开平5-283192号公报

技术实现要素：

【发明要解决的问题】

然而，在根据使用时间来判定x射线检测器的更换时期的情况下，有时无法判定恰当的更换时期。例如，在不是x射线检测器自身的劣化而是对x射线检测器施加电压的电路侧发生了劣化的情况下等，即便x射线检测器未到更换时期，有时也会被判定为更换时期。如此，在无法判定x射线检测器的恰当的更换时期的情况下，有对无须更换的x射线检测器进行更换或者在更换之前x射线检测器发生故障的担忧。

本发明是鉴于上述实情而成，其目的在于提供一种能够判定x射线检测器的恰当的更换时期的x射线分析装置以及x射线检测器的更换时期判定方法。

【解决问题的技术手段】

(1)本发明的x射线分析装置具备x射线光源、x射线检测器、电压施加部、数据获取部及更换时期判定部。所述x射线光源朝试样照射x射线。所述x射线检测器检测照射到试样之后的x射线。所述电压施加部对所述x射线检测器施加电压。所述数据获取部根据来自所述x射线检测器的检测信号来获取具有试样固有的波峰的波高分布曲线的数据。所述更换时期判定部根据通过测定标准试样而由所述数据获取部获取到的波高分布曲线的数据中包含的波峰来判定所述x射线检测器的更换时期。

根据这种构成，可以利用如下内容来判定x射线检测器的更换时期：在对x射线检测器施加有一定电压的情况下测定标准试样，由此获取到的波高分布曲线的数据中包含的波峰会随着x射线检测器的劣化而发生变化。具体而言，对x射线检测器施加一定电压而测定同一标准试样时的波峰的位置会随着x射线检测器的劣化而朝低能量侧移动。通过利用这种特性，能够判定x射线检测器的恰当的更换时期。

(2)所述x射线分析装置可还具备电压调整部，所述电压调整部以通过测定标准试样而由所述数据获取部获取到的波高分布曲线的数据中所包含的波峰的位置达到一定的基准位置的方式调整所述电压施加部施加至所述x射线检测器的电压。在该情况下，所述更换时期判定部可根据经所述电压调整部调整后的电压值来判定所述x射线检测器的更换时期。

根据这种构成，以通过测定标准试样获取到的波高分布曲线的数据中所包含的波峰达到一定的基准位置的方式调整施加至x射线检测器的电压。此时，x射线检测器越是劣化，便需要调整为越高的电压值，因此，根据调整后的电压值，可以判定x射线检测器的恰当的更换时期。

(3)所述更换时期判定部可通过将经所述电压调整部调整后的电压值与阈值进行比较来判定所述x射线检测器的更换时期。

根据这种构成，在以波峰达到一定的基准位置的方式调整施加至x射线检测器的电压时将该电压值与阈值进行比较，由此，能够实时判定x射线检测器的恰当的更换时期。

(4)所述x射线分析装置可还具备历史存储部，所述历史存储部存储经所述电压调整部调整后的电压值的历史。在该情况下，所述更换时期判定部可根据所述历史存储部中存储的电压值的历史来判定所述x射线检测器的更换时期。

根据这种构成，可以存储好以波峰达到一定的基准位置的方式调整施加至x射线检测器的电压时的电压值的历史，根据该历史来预测x射线检测器的更换时期。由此，能够预先确认x射线检测器的更换时期而进行更换的准备，因此，能在恰当的时间可靠地更换x射线检测器。

(5)所述更换时期判定部可根据通过测定标准试样而由所述数据获取部获取到的波高分布曲线的数据中所包含的波峰的位置的变化来判定所述x射线检测器的更换时期。

根据这种构成，通过测定标准试样获取到的波高分布曲线的数据中所包含的波峰的位置会随着x射线检测器的劣化而发生变化。此时，x射线检测器越是劣化，波峰的位置的变化程度越大，因此，根据波峰的位置的变化，可以判定x射线检测器的恰当的更换时期。

(6)所述更换时期判定部可将通过测定标准试样而由所述数据获取部获取到的波高分布曲线的数据中包含的波峰的位置的变化量与阈值进行比较，由此来判定所述x射线检测器的更换时期。

根据这种构成，通过将随着x射线检测器的劣化而发生变化的波峰的位置的变化量与阈值进行比较，能够实时判定x射线检测器的恰当的更换时期。

(7)所述x射线分析装置可还具备历史存储部，所述历史存储部存储通过测定标准试样而由所述数据获取部获取到的波高分布曲线的数据中包含的波峰的位置的历史。在该情况下，所述更换时期判定部可根据所述历史存储部中存储的波峰的位置的历史来判定所述x射线检测器的更换时期。

根据这种构成，可以存储好随着x射线检测器的劣化而发生变化的波峰的位置的历史，根据该历史来预测x射线检测器的更换时期。由此，能够预先确认x射线检测器的更换时期而进行更换的准备，因此，能在恰当的时间可靠地更换x射线检测器。

(8)所述更换时期判定部可根据通过测定标准试样而由所述数据获取部获取到的波高分布曲线的数据中包含的波峰的一定区间内的面积值的变化来判定所述x射线检测器的更换时期。

根据这种构成，通过测定标准试样获取到的波高分布曲线的数据中所包含的波峰的一定区间内的面积值会随着x射线检测器的劣化而发生变化。此时，x射线检测器越是劣化，面积值的变化程度越大，因此，根据面积值的变化，可以判定x射线检测器的恰当的更换时期。

(9)所述更换时期判定部可将通过测定标准试样而由所述数据获取部获取到的波高分布曲线的数据中包含的波峰的一定区间内的面积值的变化量与阈值进行比较，由此来判定所述x射线检测器的更换时期。

根据这种构成，通过将随着x射线检测器的劣化而发生变化的波峰的一定区间内的面积值与阈值进行比较，能够实时判定x射线检测器的恰当的更换时期。

(10)所述x射线分析装置可还具备历史存储部，所述历史存储部存储通过测定标准试样而由所述数据获取部获取到的波高分布曲线的数据中包含的波峰的一定区间内的面积值的历史。在该情况下，所述更换时期判定部可根据所述历史存储部中存储的波峰的面积值的历史来判定所述x射线检测器的更换时期。

根据这种构成，可以存储好随着x射线检测器的劣化而发生变化的波峰的一定区间内的面积值的历史，根据该历史来预测x射线检测器的更换时期。由此，能够预先确认x射线检测器的更换时期而进行更换的准备，因此，能在恰当的时间可靠地更换x射线检测器。

(11)本发明的x射线检测器的更换时期判定方法是判定x射线分析装置中的x射线检测器的更换时期的方法，所述x射线分析装置具备朝试样照射x射线的x射线光源、检测照射到试样之后的x射线的x射线检测器以及对所述x射线检测器施加电压的电压施加部，该x射线检测器的更换时期判定方法包含数据获取步骤以及更换时期判定步骤。在所述数据获取步骤中，根据来自所述x射线检测器的检测信号来获取具有试样固有的波峰的波高分布曲线的数据。在所述更换时期判定步骤中，根据通过测定标准试样而在所述数据获取步骤中获取到的波高分布曲线的数据中包含的波峰来判定所述x射线检测器的更换时期。

【发明的效果】

根据本发明，可以利用如下内容来判定x射线检测器的恰当的更换时期：在对x射线检测器施加有一定电压的情况下测定标准试样，由此获取到的波高分布曲线的数据中包含的波峰会随着x射线检测器的劣化而发生变化。

附图说明

图1为表示本发明的第1实施方式所涉及的x射线分析装置的构成例的框图。

图2为表示波高分布曲线的一例的图。

图3为表示判定检测器的更换时期时的数据处理装置所进行的处理的一例的流程图。

图4为表示在本发明的第2实施方式所涉及的x射线分析装置中判定检测器的更换时期时的数据处理装置所进行的处理的一例的流程图。

图5为表示在本发明的第3实施方式所涉及的x射线分析装置中判定检测器的更换时期时的数据处理装置所进行的处理的一例的流程图。

图6为表示在本发明的第4实施方式所涉及的x射线分析装置中判定检测器的更换时期时的数据处理装置所进行的处理的一例的流程图。

图7为表示在本发明的第5实施方式所涉及的x射线分析装置中判定检测器的更换时期时的数据处理装置所进行的处理的一例的流程图。

图8为表示在本发明的第6实施方式所涉及的x射线分析装置中判定检测器的更换时期时的数据处理装置所进行的处理的一例的流程图。

具体实施方式

1.第1实施方式

图1为表示本发明的第1实施方式所涉及的x射线分析装置的构成例的框图。该x射线分析装置例如为波长色散型荧光x射线装置，利用分光晶体(未图示)将通过对试样s照射x射线而产生的荧光x射线分光来进行测定。该x射线分析装置例如具备x射线管1、x射线高压电路2、检测器3、检测器高压电路4、前置放大器5、mca(multichannelanalyzer(多道分析器))6、控制电路7、数据处理装置8及存储部9等。

x射线管1是朝试样s照射x射线的x射线光源的一例。由x射线高压电路2对x射线管1施加高压。照射到试样s之后的x射线作为从试样s产生的荧光x射线而由检测器3加以检测。检测器3例如为比例计数管或闪烁计数器等x射线检测器，由检测器高压电路4施加高压。检测器高压电路4构成了对检测器3施加电压的电压施加部。

检测器3以电脉冲的形式输出x射线的检测信号。该电脉冲的波高与所检测的x射线的能量成比例。从检测器3输出的电脉冲由前置放大器5加以放大并被输入至mca6。mca6将输入的电脉冲的能量划分输出至各通道，由此生成波高分布曲线的数据。

x射线高压电路2、检测器高压电路4及mca6分别经由控制电路7与数据处理装置8连接。控制电路7控制x射线高压电路2及检测器高压电路4，由此来调整施加至x射线管1及检测器3的电压。此外，mca6中生成的波高分布曲线的数据从控制电路7输入至数据处理装置8。

数据处理装置8例如由包含cpu(centralprocessingunit(中央处理单元))的个人计算机构成。数据处理装置8通过由cpu执行程序来作为数据获取部81及更换时期判定部82等而发挥功能。数据获取部81经由控制电路7获取根据来自检测器3的检测信号而由mca6生成的波高分布曲线的数据。更换时期判定部82根据由数据获取部81获取到的波高分布曲线的数据来判定检测器3的更换时期。

存储部9例如由硬盘构成，存储与检测器3被使用的时间相关的信息(时间信息)、这时施加到检测器3的高压的数据、数据获取部81所获取到的波高分布曲线的数据等。时间信息例如可为检测器3被使用的日期时间的信息，也可为检测器3被使用的时间的累计值等。

图2为表示波高分布曲线的一例的图。该波高分布曲线是根据来自例如作为检测器3的比例计数管的检测信号而由mca6生成，以将横轴设为能量、将纵轴设为计数数的曲线(所谓的脉冲高度分布曲线)表示。如图2所示，波高分布曲线成为具有作为测定对象的试样s固有的波峰的曲线。

在波高分布曲线的低能量侧，有时会测量到电性噪声(所谓的放大噪声)。此外，在波高分布曲线的高能量侧，有时会测量到高阶射线等干扰射线。为了去除这种噪声、干扰射线，设定能量的低能级ll及高能级ul，使用它们之间的一定区间ll～ul的数据来进行分析。具体而言，根据一定区间ll～ul内的波峰的面积值(图2中施有影线的部分的面积值)来制作校准曲线，使用该校准曲线来进行分析。

在本实施方式中，通过测定波高分布曲线上出现固有波峰的标准试样而由数据获取部81获取波高分布曲线的数据，更换时期判定部82根据该波高分曲线的数据中包含的波峰来判定检测器3的更换时期。作为标准试样，例如使用硅、氧化镁或碳酸钙等。

这种检测器3的更换时期的判定利用了如下内容：在对检测器3施加有一定电压的情况下测定标准试样，由此获取到的波高分布曲线的数据中包含的波峰会随着检测器3的劣化而发生变化。具体而言，对检测器3施加一定电压而测定同一标准试样时的波峰的位置会随着检测器3的劣化而向低能量侧(图2中的左侧)移动。通过利用这种特性，能够判定检测器3的恰当的更换时期。

图3为表示判定检测器3的更换时期时的数据处理装置8所进行的处理的一例的流程图。在本实施方式中，一方面通过定期或不定期地测定标准试样而由数据获取部81获取基于标准试样的波高分布曲线的数据，另一方面根据该数据来实时判定检测器3的更换时期。此时，由检测器高压电路4对检测器3施加高压(步骤s101)，控制电路7以获取到的波高分布曲线的数据中包含的波峰的位置达到一定的基准位置的方式控制检测器高压电路4(步骤s102、s103)。

即，若图2所示那样的波峰的位置未处于横轴方向上的一定的基准位置(步骤s102中为“否”)，则控制电路7控制检测器高压电路4，由此，以波峰的位置达到基准位置的方式调整施加至检测器3的电压(步骤s103)。在该情况下，控制电路7构成如下电压调整部：以波高分布曲线的数据中包含的波峰的位置达到一定的基准位置的方式调整检测器高压电路4施加至检测器3的电压。

在调整施加至检测器3的电压时，检测器3越是劣化，便需要调整为越高的电压值。因此，在本实施方式中，通过由更换时期判定部82根据经控制电路7调整后的电压值来判定检测器3的更换时期，能够判定检测器3的恰当的更换时期。具体而言，更换时期判定部82将经控制电路7调整后的电压值与阈值进行比较(步骤s104)，由此判定检测器3的更换时期。

即，若经控制电路7调整后的电压值为阈值以上(步骤s104中为“是”)，则更换时期判定部82判定为检测器3的更换时期(步骤s105)，并将该判定结果通知给用户(步骤s106)。如此，在以波峰达到一定的基准位置的方式调整施加至检测器3的电压时将该电压值与阈值进行比较，由此，能够实时判定检测器3的恰当的更换时期。再者，判定结果的通知可以通过对显示部(未图示)的显示或者来自扬声器(未图示)的语音等来进行。

2.第2实施方式

图4为表示在本发明的第2实施方式所涉及的x射线分析装置中判定检测器3的更换时期时的数据处理装置8所进行的处理的一例的流程图。在本实施方式中，根据通过定期或不定期地测定标准试样而存储在存储部9中的检测器高压的历史来判定检测器3的更换时期。此时，存储部9作为存储经控制电路7调整后的电压值的历史的历史存储部而发挥功能。

具体而言，在用户进行了用于确认检测器3的更换时期的操作的情况下(步骤s201中为“是”)，读出存储部9中存储的检测器高压的历史(步骤s202)。此时读出的检测器高压是测定同一标准试样时施加至检测器3的电压值的历史。

在以定期或不定期地测定标准试样获取到的波高分布曲线的数据中包含的波峰的位置达到一定的基准位置的方式调整了施加至检测器3的电压的情况下，存储部9中作为历史存储的电压值(检测器高压)会随着检测器3的劣化而发生变化。因此，在本实施方式中，更换时期判定部82根据存储部9中存储的检测器高压的历史来预测检测器3的更换时期(步骤s203)。

即，根据存储部9中存储的检测器高压的历史和各检测器高压被施加至检测器3时的时间信息(检测器3被使用的日期时间或者检测器3被使用的时间的累计值)来预测检测器3的更换时期。例如，在施加至检测器3的电压与检测器3的使用时间成比例地升高的情况下，可以使用该比例的关系来预测检测器3的更换时期。

更换时期判定部82得到的检测器3的更换时期的预测结果通过对显示部(未图示)的显示或者来自扬声器(未图示)的语音等而通知给用户(步骤s204)。由此，能够预先确认检测器3的更换时期而进行更换的准备，因此，能在恰当的时间可靠地更换检测器3。

3.第3实施方式

图5为表示在本发明的第3实施方式所涉及的x射线分析装置中判定检测器3的更换时期时的数据处理装置8所进行的处理的一例的流程图。在本实施方式中，一方面通过定期或不定期地测定标准试样而由数据获取部81获取基于标准试样的波高分布曲线的数据，另一方面根据该数据来实时判定检测器3的更换时期。此时，由检测器高压电路4对检测器3施加高压(步骤s301)，并确认获取到的波高分布曲线的数据中包含的波峰的位置(步骤s302)。

检测器3越是劣化，波高分布曲线的数据中包含的波峰的位置朝低能量侧(图2中的左侧)变化的程度越大。因此，在本实施方式中，通过由更换时期判定部82根据波高分布曲线的数据中包含的波峰的位置的变化来判定检测器3的更换时期，能够判定检测器3的恰当的更换时期。具体而言，更换时期判定部82将波高分布曲线的数据中包含的波峰的位置的变化量与阈值进行比较(步骤s303)，由此判定检测器3的更换时期。

即，若波峰的位置的变化量为阈值以上(步骤s303中为“是”)，则更换时期判定部82判定为检测器3的更换时期(步骤s304)，并将该判定结果通知给用户(步骤s305)。如此，通过将随着检测器3的劣化而发生变化的波峰的位置的变化量与阈值进行比较，能够实时判定检测器3的恰当的更换时期。再者，判定结果的通知可以通过对显示部(未图示)的显示或者来自扬声器(未图示)的语音等来进行。

4.第4实施方式

图6为表示在本发明的第4实施方式所涉及的x射线分析装置中判定检测器3的更换时期时的数据处理装置8所进行的处理的一例的流程图。在本实施方式中，根据通过定期或不定期地测定标准试样而存储于存储部9的波高分布曲线的数据中包含的波峰的位置的历史来判定检测器3的更换时期。此时，存储部9作为存储波高分布曲线的数据中所包含的波峰的位置的历史的历史存储部而发挥功能。

具体而言，在用户进行了用于确认检测器3的更换时期的操作的情况下(步骤s401中为“是”)，读出存储部9中存储的波高分布曲线的数据中包含的波峰的位置的历史(步骤s402)。此时读出的波峰的位置是测定同一标准试样时获得的波高分布曲线的数据中包含的波峰的位置的历史。

通过定期或不定期地测定标准试样获取到的波高分布曲线的数据中所包含的波峰的位置会随着检测器3的劣化而发生变化。因此，在本实施方式中，将随着检测器3的劣化而发生变化的波峰的位置的历史存储在存储部9中，更换时期判定部82根据该历史来预测检测器3的更换时期(步骤s403)。

即，根据存储于存储部9的波高分布曲线的数据中所包含的波峰的位置的历史和获取到各波高分布曲线的数据时的时间信息(检测器3被使用的日期时间或者检测器3被使用的时间的累计值)来预测检测器3的更换时期。例如，在波高分布曲线的数据中包含的波峰的位置的变化量与检测器3的使用时间成比例地增大的情况下，可以使用该比例的关系来预测检测器3的更换时期。

更换时期判定部82得到的检测器3的更换时期的预测结果通过对显示部(未图示)的显示或者来自扬声器(未图示)的语音等而通知给用户(步骤s404)。由此，能够预先确认检测器3的更换时期而进行更换的准备，因此，能在恰当的时间可靠地更换检测器3。

5.第5实施方式

图7为表示在本发明的第5实施方式所涉及的x射线分析装置中判定检测器3的更换时期时的数据处理装置8所进行的处理的一例的流程图。在本实施方式中，一方面通过定期或不定期地测定标准试样而由数据获取部81获取基于标准试样的波高分布曲线的数据，另一方面根据该数据来实时判定检测器3的更换时期。此时，由检测器高压电路4对检测器3施加高压(步骤s501)，并确认获取到的波高分布曲线的数据中包含的波峰的一定区间ll～ul内的面积值(图2中施有影线的部分的面积值)(步骤s502)。

检测器3越是劣化，波高分布曲线的数据中包含的波峰的位置朝低能量侧(图2中的左侧)变化的程度越大。随着这种波峰的位置的变化，一定区间ll～ul内的波峰的面积值也会发生变化。因此，在本实施方式中，通过由更换时期判定部82根据波高分布曲线的数据中包含的波峰的一定区间ll～ul内的面积值的变化来判定检测器3的更换时期，能够判定检测器3的恰当的更换时期。具体而言，更换时期判定部82将波高分布曲线的数据中包含的波峰的一定区间ll～ul内的面积值的变化量与阈值进行比较(步骤s503)，由此判定检测器3的更换时期。

即，若一定区间ll～ul内的波峰的面积值的变化量为阈值以上(步骤s503中为“是”)，则更换时期判定部82判定为检测器3的更换时期(步骤s504)，并将该判定结果通知给用户(步骤s505)。如此，通过将随着检测器3的劣化而发生变化的波峰的一定区间ll～ul内的面积值的变化量与阈值进行比较，能够实时判定检测器3的恰当的更换时期。再者，判定结果的通知可以通过对显示部(未图示)的显示或者来自扬声器(未图示)的语音等来进行。

6.第6实施方式

图8为表示在本发明的第6实施方式所涉及的x射线分析装置中判定检测器3的更换时期时的数据处理装置8所进行的处理的一例的流程图。在本实施方式中，根据通过定期或不定期地测定标准试样而存储于存储部9的波高分布曲线的数据中所包含的波峰的一定区间ll～ul内的面积值(图2中施有影线的部分的面积值)的历史来判定检测器3的更换时期。此时，存储部9作为存储波高分布曲线的数据中包含的波峰的一定区间ll～ul内的面积值的历史的历史存储部而发挥功能。

具体而言，在用户进行了用于确认检测器3的更换时期的操作的情况下(步骤s601中为“是”)，读出存储于存储部9的波高分布曲线的数据中所包含的波峰的一定区间ll～ul内的面积值的历史(步骤s602)。此时读出的波峰的面积值是测定同一标准试样时获得的波高分布曲线的数据中包含的波峰的面积值的历史。

通过定期或不定期地测定标准试样获取到的波高分布曲线的数据中包含的波峰的一定区间ll～ul内的面积值会随着检测器3的劣化而发生变化。因此，在本实施方式中，将随着检测器3的劣化而发生变化的波峰的一定区间ll～ul内的面积值的历史存储在存储部9中，更换时期判定部82根据该历史来预测检测器3的更换时期(步骤s603)。

即，根据存储于存储部9的波高分布曲线的数据中包含的波峰的一定区间ll～ul内的面积值的历史和获取到各波高分布曲线的数据时的时间信息(检测器3被使用的日期时间或者检测器3被使用的时间的累计值)来预测检测器3的更换时期。例如，在波高分布曲线的数据中包含的波峰的一定区间ll～ul内的面积值的变化量与检测器3的使用时间成比例地增大的情况下，可以使用该比例的关系来预测检测器3的更换时期。

更换时期判定部82得到的检测器3的更换时期的预测结果通过对显示部(未图示)的显示或者来自扬声器(未图示)的语音等而通知给用户(步骤s604)。由此，能够预先确认检测器3的更换时期而进行更换的准备，因此，能在恰当的时间可靠地更换检测器3。

7.变形例

在以上的实施方式中，对如下构成进行了说明：分别在x射线分析装置中自动进行数据获取步骤、更换时期判定步骤及电压调整步骤，所述数据获取步骤是根据来自检测器3的检测信号来获取具有试样固有的波峰的波高分布曲线的数据，所述更换时期判定步骤是根据通过测定标准试样而在数据获取步骤中获取到的波高分布曲线的数据中包含的波峰来判定检测器3的更换时期，所述电压调整步骤是以通过测定标准试样而在数据获取步骤中获取到的波高分布曲线的数据中包含的波峰的位置达到一定的基准位置的方式调整检测器高压电路4施加至检测器3的电压。但并不限于这种构成，数据获取步骤、更换时期判定步骤及电压调整步骤中的至少1方也可由用户手动进行。

此外，本发明不限于波长色散型荧光x射线装置，也能运用于x射线衍射装置等其他x射线分析装置。

符号说明

1x射线管

2x射线高压电路

3检测器

4检测器高压电路

5前置放大器

6mca

7控制电路

8数据处理装置

9存储部

81数据获取部

82更换时期判定部。