技术总结
本实用新型提供一种抑制横波效应的薄膜体声波谐振器，包括顶电极、压电层和底电极构成的层状结构，以及基板；底电极和基板之间设有反射界面；所述的层状结构的外轮廓为一条曲线和至少一条直线线段连接而成的封闭线型。本实用新型所述的层状结构的外轮廓只有一个曲线面，其它均为平面，从而形成一个非对称的几何图形，使得形成的横向驻波在反射回来时均不在同一位置，从而分散和抵消；本实用新型通过限定层状结构的形状，从而达到抑制横向驻波的目的，没有增加新的工艺，控制了器件的制作成本，使产品开发之效益最大化。
技术研发人员：廖珮淳;林瑞钦;赵俊武
受保护的技术使用者：武汉衍熙微器件有限公司
技术研发日：2018.01.19
技术公布日：2018.09.14