一种薄膜体声波谐振器的制作方法

技术总结
本实用新型提供一种薄膜体声波谐振器，包括从下到上依次设置的基底、底电极、压电层和顶电极，其中基底与底电极之间设有反射界面，底电极、压电层和顶电极中，至少有一层的形状与其它层不同。本实用新型在不额外增加工艺层数的前提下，通过增加一个凸块或缺块从而调整上电极、压电层或下电极的形状，从而让横向波的能量衰减，降低横向波的反射能量，提高Q值。

技术研发人员：廖珮淳
受保护的技术使用者：武汉衍熙微器件有限公司
技术研发日：2018.02.05
技术公布日：2018.09.14