技术总结
本实用新型提出一种基于键合的薄膜体声波谐振器，其包括：衬底，设置在所述衬底上的第一金属柱和第二金属柱；以及设置于所述第一金属柱和所述第二金属柱之间的压电薄膜堆叠结构，其中，所述压电薄膜堆叠结构包括第一电极、压电层和第二电极，所述压电层位于所述第一电极和所述第二电极之间，且所述第一电极和所述第二电极相对设置，所述第一电极还与所述第一金属柱电连接，所述第二电极还与所述第二金属柱电连接。本实用新型基于键合的薄膜体声波谐振器能够保证空腔内牺牲层材料的清洁程度，提高基于键合的薄膜体声波谐振器的性能。
技术研发人员：不公告发明人
受保护的技术使用者：杭州左蓝微电子技术有限公司
技术研发日：2018.11.13
技术公布日：2019.04.19