技术特征：
技术总结
本发明实施例公开了一种电子束聚焦装置。所述电子束聚焦装置，包括：束流导轨，形成了供电子束通过束流通道；2n+1个磁极组，安装在所述束流导轨上，且分布在所述束流通道的不同位置，其中，第n个磁极组，用于对所述电子束进行第一方向的聚焦；第n+1个磁极组，用于对所述电子束进行第二方向的聚焦，所述第二方向垂直于所述第一方向；n为正整数。
技术研发人员：张力戈;黄江;樊明武;余调琴;李海军;丁宙;左晨;杨军;熊永前;齐伟;赵龙;曹磊;胡桐宁
受保护的技术使用者：华中科技大学
技术研发日：2019.03.27
技术公布日：2019.08.27