一种窄间隙等离子体放电装置的制作方法

文档序号:19594273发布日期:2020-01-03 10:50阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种窄间隙等离子体放电装置,由等离子体发生器和外部电源组成,其特征在于:所述等离子体发生器由内高压电极、外接地电极、石英管、放电通道、支撑件、进气口、内高压电极上的排气孔和出气口组成;所述内高压电极为空心的圆柱形金属管;所述外接地电极覆盖在所述石英管外表面;所述内高压电极、所述外接地电极从所述石英管内外分别引出导线与所述外部电源的两极连接;所述进气口由所述石英管引出;所述出气口在所述石英管底部;所述外部电源为等离子体专用电源。

2.一种如权利要求1所述的窄间隙等离子体放电装置,其特征在于:所述等离子体发生器采用石英管玻璃材质的圆柱体结构;所述内高压电极垂直插入所述石英管内,并被所述石英管底部的所述出气口卡住,同时所述内高压电极通过所述支撑件与所述石英管固定,而使所述内高压电极处于所述石英管中心位置并且被固定住,同时确保所述内高压电极与所述石英管的内壁之间处处等间距;所述内高压电极靠近所述出气口处加工许多小孔,即所述内高压电极上的排气孔,这样所述放电通道发生放电过程中产生的等离子体就可以通过所述内高压电极上的排气孔,然后从所述出气口排出;所述放电通道是所述内高压电极与所述石英管构成的圆环间隙;在探究或运用窄间隙等离子体放电装置时,若需通入外界气体,则可以从所述进气口将气体通入所述放电通道。

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