一种直流转换脉冲偏压电源水冷装置的制作方法

文档序号:20899987发布日期:2020-05-26 18:48阅读:487来源:国知局
一种直流转换脉冲偏压电源水冷装置的制作方法

本实用新型涉及电源散热技术领域,具体为一种直流转换脉冲偏压电源水冷装置。



背景技术:

目前,偏压电源是真空电弧离子镀及其它真空物理气相沉积设备中一个重要组件,在镀膜工艺流程中为工件提供负(或正)偏压,偏压电源工作于二级高频变换模式,单极脉冲方式输出。电源的电压调整通过改变高频变换电路的电源电压来实现,调压电路具有1%的稳率,偏压电源的内部要设置散热装置。

现有技术技术的偏压电源大多采用风冷进行散热,散热的效果不好,而使用水冷散热时,水经过细管吸收热量后再回流进入水箱内,之后再旋环出时水吸收的热量没有完全散出,导致水冷的效果减弱。因此,我们提出一种直流转换脉冲偏压电源水冷装置。



技术实现要素:

本实用新型的目的在于提供一种直流转换脉冲偏压电源水冷装置,通过在外壳的内部上端固定有第一毛细管,并在左侧的进风网右侧的外壳内部固定第二毛细管,第一毛细管吸收设备工作的热量后再流至第二毛细管处,可以由进风网处进入的冷风将第二毛细管内的水较为充分的降温,热量散热较完全的水可以保持较好的水冷效果,解决了背景技术中所提出的问题。

为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种直流转换脉冲偏压电源水冷装置,包括外壳和水箱,所述水箱固定在外壳的左侧上端内壁上,所述外壳的左侧中部设置有进风网;

所述水箱右侧的外壳内壁上固定有第一毛细管,所述进风网右侧的外壳内壁上固定有第二毛细管,且第一毛细管的左侧和第二毛细管的上端均与水箱的内部连通,外壳的左侧下端内部固定有水泵,第二毛细管的下端与水泵的出口连通,第一毛细管的右侧通过导管与水泵的进口连通,所述外壳的右侧中部设置有排风网,排风网左侧的外壳内部固定有风扇。

作为本实用新型的一种优选实施方式,所述水箱的左侧下端连接有出水口,出水口贯穿至外壳外部。

作为本实用新型的一种优选实施方式,所述第一毛细管和第二毛细管均通过管夹固定在外壳的内壁上,导管贴附固定在外壳的后端内壁上。

作为本实用新型的一种优选实施方式,所述水箱的右侧上端连接有加水口,加水口贯穿至外壳上端,且加水口和出水口上均旋接固定有密封盖。

作为本实用新型的一种优选实施方式,所述水泵和风扇均与偏压电源的控制面板电性连接。

与现有技术相比,本实用新型的有益效果如下:

1.本实用新型的直流转换脉冲偏压电源水冷装置,通过在外壳的内部上端固定有第一毛细管,并在左侧的进风网右侧的外壳内部固定第二毛细管,第一毛细管吸收设备工作的热量后再流至第二毛细管处,可以由进风网处进入的冷风将第二毛细管内的水较为充分的降温,热量散热较完全的水可以保持较好的水冷效果。

2.本实用新型的直流转换脉冲偏压电源水冷装置,通过在水箱的左侧下端连接有出水口,出水口贯穿至外壳外部,在需要更换水箱内部的冷却水时,可以方便经过出水口将水箱内部的水排出。

附图说明

通过阅读参照以下附图对非限制性实施例所作的详细描述,本实用新型的其它特征、目的和优点将会变得更明显:

图1为本实用新型直流转换脉冲偏压电源水冷装置的整体结构示意图;

图2为本实用新型直流转换脉冲偏压电源水冷装置的第一毛细管结构示意图。

图中:1、外壳;2、水箱;3、第一毛细管;4、第二毛细管;5、进风网;6、排风网;7、加水口;8、出水口;9、密封盖;10、水泵;11、导管;12、风扇。

具体实施方式

为使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解,下面结合具体实施方式,进一步阐述本实用新型。

在本实用新型的描述中,需要理解的是,术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本实用新型和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本实用新型的限制。

在本实用新型的描述中,需要说明的是,除非另有明确的规定和限定,术语“安装”、“相连”、“设置”应做广义理解,例如,可以是固定相连、设置,也可以是可拆卸连接、设置,或一体地连接、设置。对于本领域的普通技术人员而言,可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

请参阅图1-2,本实用新型提供一种技术方案:一种直流转换脉冲偏压电源水冷装置,包括外壳1和水箱2,所述水箱2固定在外壳1的左侧上端内壁上,所述外壳1的左侧中部设置有进风网5;

所述水箱2右侧的外壳1内壁上固定有第一毛细管3,所述进风网5右侧的外壳1内壁上固定有第二毛细管4,且第一毛细管3的左侧和第二毛细管4的上端均与水箱2的内部连通,外壳1的左侧下端内部固定有水泵10,第二毛细管4的下端与水泵10的出口连通,第一毛细管3的右侧通过导管11与水泵10的进口连通,所述外壳1的右侧中部设置有排风网6,排风网6左侧的外壳1内部固定有风扇12。

本实施例中(请参阅图1和图2)通过在外壳1的内部上端固定有第一毛细管3,并在左侧的进风网5右侧的外壳1内部固定第二毛细管4,第一毛细管3吸收设备工作的热量后再流至第二毛细管4处,可以由进风网5处进入的冷风将第二毛细管4内的水较为充分的降温,热量散热较完全的水可以保持较好的水冷效果。

其中,所述水箱2的左侧下端连接有出水口8,出水口8贯穿至外壳1外部。

本实施例中(请参阅图1)通过在水箱2的左侧下端连接有出水口8,出水口8贯穿至外壳1外部,在需要更换水箱2内部的冷却水时,可以方便经过出水口8将水箱2内部的水排出。

其中,所述第一毛细管3和第二毛细管4均通过管夹固定在外壳1的内壁上,导管11贴附固定在外壳1的后端内壁上。

本实施例中(请参阅图1)通过使第一毛细管3和第二毛细管4均通过管夹固定在外壳1的内壁上。

其中,所述水箱2的右侧上端连接有加水口7,加水口7贯穿至外壳1上端,且加水口7和出水口8上均旋接固定有密封盖9。

本实施例中(请参阅图1)通过在水箱2上端设置加水口7,可以从加水口7向水箱2内加入冷却水,且密封盖9可以密封住加水口7和出水口8。

其中,所述水泵10和风扇12均与偏压电源的控制面板电性连接。

本实施例中(请参阅图1)通过使水泵10和风扇12均与偏压电源的控制面板电性连接,在偏压电源工作时,就可以同时启动风扇12和水泵10进行水冷工作。

需要说明的是,本实用新型为一种直流转换脉冲偏压电源水冷装置,包括外壳1、水箱2、第一毛细管3、第二毛细管4、进风网5、排风网6、加水口7、出水口8、密封盖9、水泵10、导管11、风扇12,部件均为通用标准件或本领域技术人员知晓的部件,其结构和原理都为本领域技术人员可通过技术手册得知或通过常规实验方法获知,工作时,使偏压电源的各设备备固定安装在外壳1的内部,在设备工作的同时风扇12和水泵10被启动,风扇12在排风网6向右侧吹出空气,水泵10工作时使水箱2内的冷却水从右侧上端流至第一毛细管3内,然后将外壳1内部的热量吸收去,之后再通过导管11和水泵10进入第二毛细管4内,外界的冷风从进风网5进入外壳1内部,同时将第二毛细管4内的冷却水降温,之后再进入水箱2内部,完成循环,通过旋转打开加水口7上的密封盖9,可以向水箱2内部加入冷却水,通过旋转打开出水口8上的密封盖9,可以将水箱2内部的冷却水排出,方便对其进行更换。

以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点,对于本领域技术人员而言,显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节,而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下,能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此,无论从哪一点来看,均应将实施例看作是示范性的,而且是非限制性的,本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定,因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。

此外,应当理解,虽然本说明书按照实施方式加以描述,但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案,说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见,本领域技术人员应当将说明书作为一个整体,各实施例中的技术方案也可以经适当组合,形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。

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