1.一种具有改进的品质因数的tf-saw谐振器,包括:
-载体衬底,
-压电层,在所述载体衬底上或上方,所述压电层具有厚度t,
-电极结构,包括idt结构,所述电极结构在所述压电层上,所述idt结构具有节距p和金属化率η,
其中:
-所述压电层是包括压电材料的薄膜,
-所述节距p和所述金属化率η被选取以使所述品质因数q最大化。
2.根据前一权利要求所述的tf-saw谐振器,其中p和η取决于所述压电层的所述厚度t。
3.根据前述权利要求之一所述的tf-saw谐振器,其中所述压电材料包括linbo3或litao3。
4.根据前述权利要求之一所述的tf-saw谐振器,还包括在所述载体衬底与所述压电层之间的中间层,
其中所述中间层中的声速小于所述压电层中的声速。
5.根据前述权利要求之一所述的tf-saw谐振器,还包括在所述载体衬底与所述压电层之间的tcf层。
6.根据前述权利要求之一所述的tf-saw谐振器,还包括电荷减少层。
7.根据前述权利要求之一所述的tf-saw谐振器,其中p和η取决于t,但是与所述谐振器的外部电环境无关。
8.一种rf滤波器,包括两个或更多根据前述权利要求之一所述的tf-saw谐振器,其中p和η针对每个谐振器单独地被选取。
9.一种制造tf-saw谐振器的方法,包括步骤:
-提供载体衬底,
-利用晶片键合与薄膜处理或者薄膜层沉积技术,在所述载体衬底上或上方沉积包括压电材料的压电层,
-在所述压电层上构造包括idt结构的电极结构,所述idt结构具有被选取以使品质因数q最大化的节距p和金属化率η。
10.根据前一权利要求所述的方法,其中p和η考虑所述压电层的厚度t而被选取,但是与所述谐振器的外部电环境无关。
11.根据两项前述权利要求之一所述的方法,包括:局部修整所述压电层的厚度t。