一种晶片成膜用加热盘的加热管定位装置的制作方法

1.本实用新型涉及加热盘技术领域，具体而言，涉及一种晶片成膜用加热盘的加热管定位装置。


背景技术：

2.如今，半导体器件已深入到现代生活的方方面面。而诸如计算机、移动电话之类的大多数电子产品的核心部件、如处理器、存储器等都含有半导体器件。半导体器件已在现代信息化设备中扮演至关重要的角色。用于半导体器件制造的一个重要工艺设备是化学气相沉积设备，其作用是，通过cvd工艺在半导体晶片上沉积所需要的薄膜。当晶片进入反应腔或镀膜结束后，会通过加热装置的升降机构中的升降销将晶片顶起来，以便机械手取出反应腔中的晶片。
3.目前，通常采用铝合金浇筑或压铸形成的加热盘，加工和安装工艺复杂，造成加工成本大大提高。
4.如何发明一种晶片成膜用加热盘的加热管定位装置来改善这些问题，成为了本领域技术人员亟待解决的问题。


技术实现要素：

5.为了弥补以上不足，本实用新型提供了一种晶片成膜用加热盘的加热管定位装置，旨在改善加热盘加工安装工艺复杂造成的加工成本提高问题。
6.本实用新型是这样实现的：
7.本实用新型提供一种晶片成膜用加热盘的加热管定位装置包括加热盘和定位组件。
8.所述加热盘包括加热管和基座，所述加热管固定安装于所述基座，所述定位组件包括弧形杆、移动杆、固定筒和夹块，所述移动杆固定连接于所述弧形杆两端，所述移动杆和所述弧形杆转动连接于所述基座，所述固定筒套接固定于所述移动杆外表面，所述夹块固定连接于所述固定筒，所述加热管位于所述夹块和所述基座之间。
9.在本实用新型的一种实施例中，所述基座包括上盘体和下盘体，所述加热管固定安装于所述下盘体，所述上盘体固定连接于所述下盘体。
10.在本实用新型的一种实施例中，所述上盘体和所述下盘体中间部位设有中心孔，所述下盘体靠近所述中心孔开设有固定槽。
11.在本实用新型的一种实施例中，所述弧形杆固定于所述固定槽，所述下盘体固定连接有固定环。
12.在本实用新型的一种实施例中，所述下盘体固定连接有限位环，所述加热管位于所述固定环和所述限位环之间。
13.在本实用新型的一种实施例中，所述固定环、所述限位环和所述中心孔为同轴心设置，所述下盘体设有移动槽。
14.在本实用新型的一种实施例中，所述移动杆滑动连接于所述移动槽，所述夹块为钩型设计。
15.在本实用新型的一种实施例中，所述移动杆包括第一杆体和第二杆体，所述第一杆体固定连接于所述弧形杆一端，所述第二杆体固定连接于所述弧形杆另一端。
16.在本实用新型的一种实施例中，所述第一杆体和所述第二杆体长度相同，所述夹块开设有螺纹孔。
17.在本实用新型的一种实施例中，所述螺纹孔转动连接有锁紧螺母，所述弧形杆和所述夹块相互垂直设置。
18.本实用新型的有益效果是：本实用新型通过上述设计得到的一种晶片成膜用加热盘的加热管定位装置，使用时，通过固定筒调节夹块之间的距离，方便加热管进行固定，将加热管放置在基座上，通过转动弧形杆，转动夹块，使得夹块对加热管进行定位固定，该晶片成膜用加热盘的加热管定位装置通过转动弧形杆，驱动夹块对加热管的固定，有效避免加热盘加工安装工艺复杂造成的成本提高的问题，便于拆卸安装，方便操作。
附图说明
19.为了更清楚地说明本实用新型实施方式的技术方案，下面将对实施方式中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本实用新型的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。
20.图1是本实用新型实施方式提供的晶片成膜用加热盘的加热管定位装置结构示意图；
21.图2为本实用新型实施方式提供的加热盘结构示意图；
22.图3为本实用新型实施方式提供的俯视图结构示意图；
23.图4为本实用新型实施方式提供的下盘体和弧形杆结构示意图；
24.图5为本实用新型实施方式提供的弧形杆和移动杆结构示意图。
25.图中：100
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加热盘；110
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加热管；130
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基座；131
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上盘体；132
‑ꢀ
下盘体；133
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固定环；134
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限位环；135
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中心孔；136
‑
固定槽；137
‑ꢀ
移动槽；300
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定位组件；310
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弧形杆；330
‑
移动杆；331
‑
第一杆体； 333
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第二杆体；340
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固定筒；350
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夹块；360
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锁紧螺母。
具体实施方式
26.为使本实用新型实施方式的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施方式中的附图，对本实用新型实施方式中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施方式是本实用新型一部分实施方式，而不是全部的实施方式。基于本实用新型中的实施方式，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施方式，都属于本实用新型保护的范围。
27.因此，以下对在附图中提供的本实用新型的实施方式的详细描述并非旨在限制要求保护的本实用新型的范围，而是仅仅表示本实用新型的选定实施方式。基于本实用新型中的实施方式，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施方式，都属于本实用新型保护的范围。
28.应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。
29.在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的设备或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。
30.此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。
31.在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
32.在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
33.实施例
34.请参阅图1
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5，本实用新型提供一种晶片成膜用加热盘的加热管定位装置包括加热盘100和定位组件300。
35.其中，定位组件300固定安装于加热盘100，定位组件300用于方便加热盘100加工安装，有利于减小成本，加热盘100用于提高温度，为晶片成膜提供有力条件。
36.请参阅图1
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4，加热盘100包括加热管110和基座130，加热管 110固定安装于基座130，基座130用于对加热管110进行定位，方便晶片均匀受热，便于晶片成膜。
37.在一些具体的实施方案中，基座130包括上盘体131和下盘体 132，加热管110固定安装于下盘体132，上盘体131固定连接于下盘体132，上盘体131和下盘体132中间部位设有中心孔135，下盘体132靠近中心孔135开设有固定槽136，下盘体132固定连接有固定环133，固定环133焊接固定于下盘体132，下盘体132固定连接有限位环134，限位环134焊接固定于下盘体132，加热管110位于固定环133和限位环134之间，固定环133、限位环134和中心孔 135为同轴心设置，便于晶片受热均匀，下盘体132设有移动槽137。
38.请参阅图1和图3
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5，定位组件300包括弧形杆310、移动杆330、固定筒340和夹块350，移动杆330固定连接于弧形杆310两端，移动杆330焊接固定于弧形杆310，移动杆330和弧形杆310转动连接于基座130，固定筒340套接固定于移动杆330外表面，夹块350固定连接于固定筒340，夹块350焊接固定于固定筒340，加热管110 位于夹块350和基座130之间。
39.在一些具体的实施方案中，弧形杆310固定于固定槽136，移动杆330滑动连接于移动槽137，夹块350为钩型设计，便于进行固定，移动杆330包括第一杆体331和第二杆体333，第一杆体331固定连接于弧形杆310一端，弧形杆310焊接固定于第一杆体331，第二杆体333固定连接于弧形杆310另一端，弧形杆310另一端焊接固定于第二杆体333，第一杆体331和第二杆体333长度相同，夹块350开设有螺纹孔，螺纹孔转动连接有锁紧螺母360，方便调节夹块350之间的距离，弧形杆310和夹块350相互垂直设置，通过转动弧形杆 310带动夹块350转动，移动杆330在移动槽137内进行移动，由于夹块350为钩型设计，将加热管110进行固定，弧形杆310在固定槽 136内进行固定。
40.该晶片成膜用加热盘的加热管定位装置的工作原理：通过固定筒 340调节夹块350之间的距离，方便加热管110进行固定，将加热管 110放置在基座130上，通过转动弧形杆310带动夹块350转动，移动杆330在移动槽137内进行移动，由于夹块350为钩型设计，将加热管110进行固定，弧形杆310和夹块350相互垂直设置，弧形杆 310在固定槽136内固定。
41.需要说明的是，加热管110具体的型号规格需根据该装置的实际规格等进行选型确定，具体选型计算方法采用本领域现有技术，故不再详细赘述。
42.加热管110的供电及其原理对本领域技术人员来说是清楚的，在此不予详细说明。
43.以上所述仅为本实用新型的优选实施方式而已，并不用于限制本实用新型，对于本领域的技术人员来说，本实用新型可以有各种更改和变化。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。