一种对水路流量实时监测的电极冷却装置的制作方法

1.本实用新型涉及一种对水路流量实时监测的电极冷却装置，属于电极冷却装置技术领域。


背景技术：

2.如图1所示，现有的电极冷却装置在运行过程中，会出现单腔或多腔水流量小、水路堵死的现象，无法对冷却水路进行实时监控，冷却水路发生故障时，电极冷却装置无法侦测。当设备继续运行时，会加载高功率射频，在不降温的情况下电极会持续升温，使得电极温度无法恒温，导致产品均匀性差、出现糊胶等现象；严重时直接导致产品报废、腔体和石英件等工艺套件损坏。


技术实现要素：

3.本实用新型所要解决的技术问题是针对上述现有技术提供一种对水路流量实时监测的电极冷却装置，对冷却水路进行实时监测，监测到冷却水路发生故障时，控制设备停止工作，避免产品事故的发生，减少生产成本损失。
4.本实用新型解决上述问题所采用的技术方案为：一种对水路流量实时监测的电极冷却装置，包括多组水路监测单元，多组所述水路监测单元并列布置，多组所述水路监测单元进口并联后通过出水总管与冷水机出口连通，多组所述水路监测单元出口并联后通过进水总管与冷水机进口连接；所述水路监测单元上分别设置腔体压力传感器，且所述腔体压力传感器分别通过对应的第一连接管与主机连接，所述第一连接管还与水路监测单元连接；所述主机通过信号线与特气柜连接，所述特气柜通过第二连接管与进水总管连通。
5.所述水路监测单元包括腔体，所述腔体上包括进水支管和出水支管，所述进水支管之间相互连通，所述出水支管之间相互连通，所述进水总管与任一出水支管连接，所述出水总管与任一进水支管连接；所述出水支管上设置第一水流量传感器，且所述第一水流量传感器设于第一连接管和对应的出水支管连接处。
6.所述信号线与特气柜连接处设有排气压力传感器，所述进水总管上设有第二水流量传感器，且所述第二水流量传感器设于第二连接管和进水总管连接处。
7.与现有技术相比，本实用新型的优点在于：一种对水路流量实时监测的电极冷却装置，第一水流量传感器分别对对应的腔体内的水流量进行实时检测，当第一水流量传感器检测到对应的腔体流量异常时，第一水流量传感器将检测结果反馈于主机，使得主机终止对应的腔体执行工艺程序，避免了腔体真空异常的情况发生，提高了产品质量。当排风压力传感器检测到特气柜排风异常时，整机会停止执行工艺程序，提前阻止了产品事故的发生，减少了生产成本的损失。
附图说明
8.图1为现有的电极冷却装置的示意图；
9.图2为本实用新型实施例一种对水路流量实时监测的电极冷却装置的示意图
10.图中1主机、2信号线、3腔体、4腔体压力传感器、5第一水流量传感器、6出水支管、7进水支管、8冷水机、9特气柜、10排风压力传感器、11第二水流量传感器、12进水总管、13出水总管、14第一连接管、15第二连接管。
具体实施方式
11.以下结合附图实施例对本实用新型作进一步详细描述。
12.如图2所示，本实施例中的一种对水路流量实时监测的电极冷却装置，包括主机1和4组水路监测单元，4组水路监测单元并列布置，4组水路监测单元进口并联后通过出水总管13与冷水机8的出口连通，4组水冷监测单元出口并联后通过进水总管12与冷水机8的进口连通。水路监测单元上分别设置腔体压力传感器4，腔体压力传感器4分别通过对应的第一连接管14与主机1连接，第一连接管14还与水路监测单元连接。主机1通过信号线2与特气柜9连接，信号线2与特气柜9连接处设置排风压力传感器10，排风压力传感器10通过第二连接管15与进水总管12连接，进水总管12上设置第二水流量传感器11，且第二水流量传感器11设于第二连接管15和进水总管12连接处。主机1控制冷水机8和特气柜9，冷水机8内的冷却水经出水总管13分别流入4组水路监测单元内，水路监测单元内的冷却水对电极进行冷却，热交换后的冷却水经进水总管12流回冷水机8内。
13.水路监测单元分别包括腔体3，腔体3上分别设有进水支管17和出水支管6，4根进水支管7之间相互连通，4根出水支管6之间相互连通。出水总管13与一进水支管7连接，进水总管12与一出水支管6连接。出水支管6上分别设置第一水流量传感器5，且第一水流量传感器5设于第一连接管14与对应的出水支管6连接处，第一水流量传感器5分别对对应的腔体3中的水流量进行监测，并将检测结果反馈于主机1。
14.使用时，第一水流量传感器分别对对应的腔体内的水流量进行实时检测，当第一水流量传感器检测到对应的腔体流量异常时，第一水流量传感器将检测结果反馈于主机，使得主机终止对应的腔体执行工艺程序，避免了腔体真空异常的情况发生，提高了产品质量。当排风压力传感器检测到特气柜排风异常时，整机会停止执行工艺程序，提前阻止了产品事故的发生，减少了生产成本的损失。
15.除上述实施例外，本实用新型还包括有其他实施方式，凡采用等同变换或者等效替换方式形成的技术方案，均应落入本实用新型权利要求的保护范围之内。


技术特征：
1.一种对水路流量实时监测的电极冷却装置，其特征在于：包括多组水路监测单元，多组所述水路监测单元并列布置，多组所述水路监测单元进口并联后通过出水总管与冷水机出口连通，多组所述水路监测单元出口并联后通过进水总管与冷水机进口连接；所述水路监测单元上分别设置腔体压力传感器，且所述腔体压力传感器分别通过对应的第一连接管与主机连接，所述第一连接管还与水路监测单元连接；所述主机通过信号线与特气柜连接，所述特气柜通过第二连接管与进水总管连通。2.根据权利要求1所述的一种对水路流量实时监测的电极冷却装置，其特征在于：所述水路监测单元包括腔体，所述腔体上包括进水支管和出水支管，所述进水支管之间相互连通，所述出水支管之间相互连通，所述进水总管与任一出水支管连接，所述出水总管与任一进水支管连接；所述出水支管上设置第一水流量传感器，且所述第一水流量传感器设于第一连接管和对应的出水支管连接处。3.根据权利要求1所述的一种对水路流量实时监测的电极冷却装置，其特征在于：所述信号线与特气柜连接处设有排气压力传感器，所述进水总管上设有第二水流量传感器，且所述第二水流量传感器设于第二连接管和进水总管连接处。

技术总结
本实用新型涉及一种对水路流量实时监测的电极冷却装置，属于电极冷却装置技术领域。包括多组水路监测单元，多组所述水路监测单元并列布置，多组所述水路监测单元进口并联后通过出水总管与冷水机出口连通，多组所述水路监测单元出口并联后通过进水总管与冷水机进口连接；所述水路监测单元上分别设置腔体压力传感器，且所述腔体压力传感器分别通过对应的第一连接管与主机连接，所述第一连接管还与水路监测单元连接；所述主机通过信号线与特气柜连接，所述特气柜通过第二连接管与进水总管连通。本申请第一水流量传感器分别对对应的腔体内的水流量进行实时检测，主机终止对应的腔体执行工艺程序，避免了腔体真空异常的情况发生，提高了产品质量。提高了产品质量。提高了产品质量。


技术研发人员：陈礼梅 顾军魏
受保护的技术使用者：江苏新顺微电子股份有限公司
技术研发日：2021.01.26
技术公布日：2021/11/2